中山大学集成电路学院扩散氧化炉采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]1701号
项目名称	中山大学集成电路学院扩散氧化炉采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	扩散氧化炉	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-12-03 23:46	采购结束时间	2022-12-09 12:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后180天交货	经办人	王老师	经办人电话	84115085-808
送货地址	广东省深圳市光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、“★”标注的技术参数为废标条款，如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
扩散氧化炉	1台		详情请进入系统查看
"扩散氧化炉"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 ★兼容8寸及以下晶圆集成电路的热处理工艺 非常重要 是 2 ★工作温度覆盖600℃~1150℃ 非常重要 是 3 上管：扩散工艺 重要 否 4 下管：氧化工艺 重要 否 5 恒温区长度及精度：s±0.5℃/200mm（800℃~1200℃） 非常重要 是 6 单点温度稳定性：≤±1℃/24h（1000℃） 重要 否 7 温度斜变能力：最大升温速率≥15℃/min，最大降温速率≥5℃/min； 非常重要 是 8 气路系统：由质量流量计控制，气体至少包括：氧气、氮气、氩气 重要 否 9 配备自动进出舟 重要 否 10 电气控制系统采用PLC+上位机的结构，实现对真空扩散炉的控制，包括对电机、温度、质量流量计和电磁阀/气动阀等进行控制 ； 上位机监控软件具有的人机对话界面，能手动控制气体流量、电机、温度，或按工艺编辑的数据自动运行 ； 全套软件可在全中文环境下操作，提供全面操作提示，操作人员可以观察各种工艺参数 重要 否 11 上位机监控系统可对设备的开机时间、操作人员、工艺步骤、气体流量、工艺时间、炉温变化趋势等各项参数如实记录，并图文显示 ； 各项参数每隔一段时间周期自动记录一次，工艺完成后作为历史记录可以调出查看或通过外接打印机打印出； 可存储工艺温度曲线≥100条，对于不同的炉管，根据工艺需要，可以直接调入相应的成熟工艺曲线运行； 工艺过程中如有新的变化和要求，可对工艺参数的下一步进行在线修改 ； 工艺中遇到瞬间停电、跳闸等情况时，自动存储当前状况，重新起动后，工艺从断点处继续执行 重要 否 12 配置清单：1．一体炉1台；2．操控屏1个；3．工艺腔体1个；4．气体系统1套；5．电源线1根；6．说明书1套 重要 是

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