功能： 该样品台主要是进行纳米级厚度薄膜的面内和面外结构信息的测试。 1. 样品台组成： 1.1 样品台有四个自由度：防空气散射刀口上下移动方向X，光束遮挡器上下移动方向Y，样品台整体上下移动方向Z，面内旋转方向Phi； 1.2 样品台的四个自由度均可自动位移，无需手动操作。 2. 样品台位移范围： 2.1 防空气散射刀口X方向：0-15mm，精度5μm； 2.2 光束遮挡器Y方向：-5~10mm，精度5μm； 2.3 样品台整体上下移动方向Z：0~100mm，精度5μm； 2.4 面内旋转方向Phi：0~360°，精度0.1°； 3. 样品测试方式： 3.1 最大的样品尺寸：直径10cm； 3.2 最小样品尺寸：直径1cm； 3.3 最大样品厚度：2mm。 4. 通讯： 4.1 样品台的每个自由度都有其对应的DB9接口，通过com口进行通讯； 4.2 通过控制盒可以控制X、Y、Z和Phi四个自由度的移动。 5. 提供样品台设计方案。 6. 合同签订后20天内到货。

1、质保期3年。 2、供应商应为用户方使用人员提供免费现场培训，其中包括讲解产品的原理和结构、产品的使用以及维护保养、故障排除等内容，直至操作人员能够熟练独立的操作使用。 3、供应商应提供及时周到的售后服务响应。如果设备出现故障，供应商应在接到通知后12小时内做出响应，72小时内到达现场。 4、供应商应能提供正常的技术、备品备件服务。能常年优惠供应相关零配件和耗材。