中标信息

成交供应商：	南京杰谱智能科技有限公司
选择理由：	满足项目要求，总价最低。
质疑投诉说明：	如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。

项目名称	紫外光刻机采购	项目编号	TYLGJJCG2023-0149
项目编号	TYLGJJCG2023-0149
公告发布日期	2023/10/20 16:46	报价截止时间	2023/10/23 16:46
报价截止时间	2023/10/23 16:46
采购单位	太原理工大学	付款条款	货到验收合格后,一次性支付全款。
付款条款	货到验收合格后,一次性支付全款。
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务	否	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算	￥199,500.00	成交金额	￥198,550.00
成交金额	￥198,550.00
送货/施工/服务期限	合同生效之日起30日内
送货/施工/服务地址	山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区

   采购清单
1

采购内容		是否进口	计量单位	采购数量	售后服务	分项报价
紫外光刻机		否	套	1	免费上门安装调试培训，免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换，以及光刻机的安装和调试，都由供应商负责。	￥198,550.00
品牌及型号	飞诚光电（FC-25S型）   魔技纳米科技（MN-UV-Smart(Standard)）
技术参数要求	1.曝光面积：4英寸 2.曝光波长：365nm3.★分辨力：0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围：X：15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸： 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式：定时（倒计时方式） 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程： 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚：400 μm（SU8胶，用户提供检测条件） 16.光源平行性：2.5 o 17.曝光能量密度：>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性：±2.5%（ Φ100mm范围）； 21.曝光光源：紫外LED； 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。