江苏大学 - 竞价公告 (CB102992024000363)
发布时间：2024-12-05 08:47:14 截止时间：2024-12-08 08:54:38
基本信息：
申购主题：高真空电子束蒸发镀膜机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后90天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：380000 人民币

收货地址：江苏省/镇江市/京口区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

高真空电子束蒸发镀膜机

1(台)

380000

泰科诺

TEMDS500

1.◆真空腔室：尺寸：L500mm×W500mm×H600mm；SUS304优质不锈钢真空腔室；方箱式；前门水平滑开式，后门为侧开门，便于设备清理维护； 2.真空系统：复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; 3.◆极限真空：6.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）; 4.升压率：设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa；抽速： 5.抽速 从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min（不带手套箱，设备空载）；从大气抽至8.0×10-4Pa≤10min（设备空载，干燥氮气环境）； 6.水冷升降基片台 ① 平板型，基片台尺寸Φ200mm，最大样品尺寸小于Φ200mm；配有基片台挡板；② 旋转转速0～20转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计；③ 升降基片台，可调节范围70mm；蒸发源与基片距离320～390mm。④ 片台间接水冷。⑤ 根据用户需求定制掩膜版2块； 7.蒸发源及电源 ① 电子枪蒸发源：功率10kW；6穴坩埚；②有机蒸发源：最高温度600℃，1组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率），蒸发速率可控；③有机控温蒸发电源：1套（独立PID智能温控蒸发）；采用日本TDK蒸发电源Z+20-10；蒸发源配气动挡板及源间防污隔板。 8.◆膜厚不均匀性：≤5%；有第三方检测报告，测试cu膜，目标厚度100nm，在100*100mm 样片上测量点不少于9 点；9.◆膜厚控制系统 采用Inficon进口SQC-310膜厚仪，配1个Inficon原厂探头（放在基片台附近）；在线测量镀膜过程中膜厚变化，根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率，保证镀膜过程接近匀速稳定； 10.◆控制方式 PLC+触摸屏控制；(具有真空控制相关的软件著作权) 11.报警及保护 对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统 12.配套循环水机和气泵。 13.◆设备生产企业具有产品的商标所有权和使用权。 14.◆设备生产企业通过ISO9001质量管理体系认证（认证范围包括真空镀膜设备）。 15.交货期：20天。 16.提供北京泰科诺科技有限公司原厂一年质保函；

质保1年： 交货期90天；