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感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统

感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统1套

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价格一律不因市场调价政策而调整。乙方除非因甲方需求改变或经甲方同意，且不得增加任何费用。

3、乙方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，乙方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经甲方同意乙方不得向社会公开。

1. 反应室模块

（1）反应腔室采用6061航空铝材，暴露在等离子体部分的表面做了100%硬质阳极化处理，带观察窗口；

（2）正下方抽气。

2. 射频电源

（1）两套射频电源；

（2）#Source功率不低于2000W，带自动匹配器的射频电源；

（3）#Bias功率不低于500W，带自动匹配器的射频电源。

3. 基底电极（下电极）

（1）下电极直径大于150mm，6英寸基片可单片装载，石英或陶瓷基片卡环，卡环力度可调， 6寸完整基片直接与背氦直接接触，更小基片或者碎片可以托盘装载；

（2）可自动切换的背氦冷却系统与电加热系统，实现下电极80-300摄氏度范围调节；

（3）温度稳定性：±1%；

（4）预留接口，后期可升级至用于8英寸工艺的下电极。

4. 真空及气路系统

（1）预真空室和工艺腔室拥有独立的真空检测及显示系统，具有真空度自动稳定和控制功能；

（2）工艺腔室用抗腐蚀分子泵：分子泵抽速不低于1300L/s，；抗腐蚀干泵：抽速不低于110m³/h   ，具有可关闭的氮气吹扫功能；

（3）预真空室采用干泵（不可与主腔室共用），抽速不低于30m3/h；

（4）极限真空度(在12小时以内)                 ？￡5′10^-6Torr；

（5）工艺真空规，满量程100mTorr；

（6）自动调压节流阀：口径200mm，位置模式/压力模式可任意切换；

（7）气路配置：每路气体配独立MFC流量计，最大量程可选，可实现流量控制和流量偏差报警。

（8）气路采用EP级内抛光不锈钢管。

5. 机台占地要求：长度≤1800mm，宽度≤900mm。

6. 控制系统

（1）计算机检测和控制系统1套，采用windows操作系统；

（2）控制系统应能检测相关部件的运行状态；

（3）免费升级软件。

350

2024.1

合计

350万