公示开始日期

2022.11.14

公示截止日期

2022.11.15

品名

高真空金属有机蒸发镀膜系统

技术参数及配置要求

高真空金属有机蒸发镀膜系统主要由不锈钢真空腔室、旋转、加热、升降基片台、 金属蒸发源及电源、真空系统、水路系统、电气控制系统（含安全保护报警系统）、机架及 控制柜辅件等组成。1. 真空腔室：真空专用优质304不锈钢；尺寸约400×400×H450 mm2. 样品台可加热，加热温度室温-300°；样品片台可旋转，0～30 转／分 连续可调。最大可镀基片尺寸/面积：150*150 mm. 3. 4 组舟式蒸发源（坩埚容量可选择）；蒸发舟位置可调。配 GEN8-180 蒸发电源 1 套，可切换蒸发。4. 2 套有机蒸发束源炉，2 套有机蒸发电源。有机蒸发源带温度显示功能。 蒸发电源还可通过膜厚仪 PID（闭环控制），自动调节蒸发速率，带数显示。5. 进口德国莱宝 MAG1300 分子泵+机械泵真空系统。进口德国莱宝 MAG1300 口径 200 mm, 抽速:1300 L/S; BSV30 机械泵: 9L/S。

数量

1

规格型号

Super(1220/750/900)

金额

495000元

供应商

武汉普迪真空科技有限公司

经办人

王老师

联系电话

15267010239