天津大学 - 竞价公告 (CB100562023000487)
发布时间：2023-06-27 15:47:30 截止时间：2023-06-28 15:57:28
基本信息：
申购主题：膜厚仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：天津市/市辖区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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膜厚仪

1

Filmetrics

F20

技术指标 设备名称：膜厚仪品牌：Filmetrics 型号：F20 1. *波长范围：380-1050nm； 2. 厚度测量范围：15nm-70um； 3. 测量n&k需要的最小厚度：100nm； 4. 准确度：2nm或0.2%（取大值）； 5. *精度：0.02nm； 6. 稳定性：0.05nm； 7. *光斑大小：1.5mm或500um可调； 8. *聚焦镜片：拥有190-1700nm超宽光谱聚焦镜片，增强信号强度； 9. *光纤可通光波长：190-1700nm； 10. *WS-200高精度晶圆移动样品台，兼容4，6，8寸晶圆样品； 11. 认证：CE EMC和欧洲安全指令； 12. *厚度拟合算法：拥有Exact，Robust和FFT三种厚度拟合算法； 13. 材料库：拥有不小于100种不同材料的数据库，可自由导入新材料文件； 14. 原始信号：可实时显示光强原始信息，用于信号聚焦； 15. 反射率模拟：可进行不同镀膜材料的建模，模拟镀膜膜系的反射率曲线； 16. 可提供一套离线模拟软件许可； 17. 投标供货商需有原厂授权文件； 18. 质保期一年，提供本地化技术支持服务，4小时响应，24小时到场； 19. 提供7000埃左右认证标准氧化硅标准片附报告。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）