中标
8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉评标结果公示公告(1)
金额
-
项目地址
安徽省
发布时间
2024/05/14
公告摘要
项目编号0709-244035614022
预算金额-
招标联系人-
招标代理机构中国仪器进出口集团有限公司
代理联系人-
公告正文

8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉评标结果公示公告(1)

2024-05-14   机电产品招标投标电子交易平台
项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉
招标项目编号:0709-244035614022
招标范围:设备名称:立式合金炉 设备数量:1台 设备用途:用于器件加工中的合金工艺。 设备名称:立式氧化炉 设备数量:2台 设备用途:用于器件加工中的高温氧化工艺。 设备名称:立式退火炉 设备数量:2台 设备用途:用于器件加工中的高温退火工艺。
招标机构:中国仪器进出口集团有限公司
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间:2024-04-24 09:30
公示开始时间:2024-05-14 15:24
评标公示截止时间:2024-05-15 17:00
中标候选人名单:
候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区
1北京北方华创微电子装备有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中国
2中国电子科技集团公司第四十八研究所中国电子科技集团公司第四十八研究所中国
3Tokyo?Electron?LimitedTokyo?Electron?Limited日本

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