1、招标条件
项目概况:上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目
资金到位或资金来源落实情况:资金来源已落实
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:4197-2340SHJT0002/38
招标项目名称:上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 4197-2340SHJT0002/27 | EPI厚度量测机台 | 1 | 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/28 | 铜OCD量测设备 | 3 | 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/35 | 聚合物去除（铜）;聚合物去除（铝）;晶圆背面清洗机;晶圆回收清洗-BEOL(铜） | 4;1;2;1 | 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/38 | 化学品供液系统 | 1 | 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | |
| 4197-2340SHJT0002/39 | 后道氮氧化硅化学气相沉积机设备;后道等离子氧化硅化学气相沉积机设备 | 1;1 | 要求设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件，并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-10-09
招标文件领购结束时间:2023-10-16
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：北京市海淀区复兴路17号A座
招标文件售价:￥1500/$250
其他说明:各包售价详见公告; 招标文件领购具体时间：上午9：00～11：30，下午13：00～16：30（北京时间）（节假日除外）
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-11-01 10:00
投标文件送达地点:北京市海淀区复兴路17号A座CECOM会议室
开标地点:北京市海淀区复兴路17号A座CECOM会议室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）或中国国际招标网（http://chinabidding.mofcom.gov.cn）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海积塔半导体有限公司
地址:中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号
联系人:李女士
联系方式:86-021-38879600
招标代理机构:中电商务（北京）有限公司
地址:北京市海淀区学院路甲38号1号楼
联系人:刘女士
联系方式:86-010-52207735
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
