紫外接近接触式光刻机等设备采购采购更正公告（第一次）

招标

紫外接近接触式光刻机磁控溅射镀膜系统

金额

项目地址

广东省

发布时间

2024/11/12

公告摘要

项目编号zjzb-2024-20488

预算金额-

招标公司广东工业大学

招标联系人张老师020-39340032

招标代理机构中捷通信有限公司

代理联系人谢梦蓝15692015808

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：ZJZB-2024-20488

原公告的采购项目名称：紫外接近接触式光刻机等设备采购

首次公告日期：2024年11月07日

二、更正信息：

更正事项：采购文件

更正原因：

参数调整

更正内容：

1、招标文件“第二章采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“5.★分辨率：≤0.8mm（i线，光刻胶厚度1mm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0mm（i线，光刻胶厚度1mm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“5.★分辨率：≤0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

2、招标文件“第二章采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5mm；背面套刻精度：±1mm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5μm；背面套刻精度：±1μm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

3、招标文件“第二章采购需求”中“附表二：磁控溅射镀膜系统”的以下内容：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10^-9 mbar l s^-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10^-9 mbar l s^-1，第一次维护前开启次数可达20万次。”

更正为：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10^-9 mbar 1 s^-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10^-9 mbar 1 s^-1，第一次维护前开启次数可达20万次。”

其他内容不变

更正日期：2024年11月12日

三、其他补充事项

1.更正公告为原采购公告、原采购文件不可分割的部分，原采购公告、原采购文件相应条款与本公告有不一致之处，以本公告为准。请供应商务必按照更正后的内容编制投标/响应文件，本公告发布，视同书面通知所有潜在供应商。

4.本项目采取线上投标方式，线上流程如下：

（1）供应商访问广东省政府采购网（http://www.gdgpo.gov.cn/），从“政府采购供应商”处登录广东省政府采购综合管理系统并找到项目采购电子交易系统菜单，点击进入系统进行投标。（供应商如果没有广东政府采购网账号的需要提前注册，没有CA的需要提前办理，用以制作标书和开标时解密）

（2）供应商进入系统后，依次点击“项目电子交易→应标→项目投标”菜单，选择“未参与项目”选择要投标项目，点击进入项目详情页面。在投标项目详情页面，填写联系人、联系方式；若存在联合体投标，输入供应商名称关键字，查找并关联其他联合体供应商。信息确认无误后，点击“确认参与”完成参与并获取采购文件。

（3）供应商根据采购文件要求，使用投标客户端制作电子投标文件并上传完成网上投标。具体步骤详见智慧采购云平台项目电子交易系统资料下载的操作指南中的供应商指南。

5.需要落实的政府采购政策：

《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库【2014】68号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《商品包装政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2020〕123号）、《快递包装政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2020〕123号）等。