项目名称：高温真空无氧烘箱
项目编号：GY202308217
公告开始日期：2023-11-28 09:08:44
公告截止日期：2023-12-01 10:00:00
采购单位：新一代半导体材料研究院
预算总价：￥497000
收货地址：山东大学新一代半导体大楼
采购商品：高温真空无氧烘箱
采购数量：1
计量单位：台
品牌：真萍
型号：MOLZK-32D1
技术参数及配置要求：1.能够一次性放进50片晶圆；
2. 最大升温速率大于等于8℃/min；
3．降温速率:400℃-80℃，≤2h
4. 极限真空度：≤200pa；
5. 配氧含量检测仪，氧含量指标：≤50ppm（常温下），≤20ppm（高温下）；
6. 洁净度：class100级（6寸晶圆平放，加热5小时，0.3um颗粒增长≤100颗）；
7. 长期使用最高温度为450℃。
预算单价：497000详情请访问原网页！