CB119872019001250

2019-12-20 11:05:02

2019-12-27 00:00:00

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博蕴通,纳博莱特

40000.00

南京博蕴通仪器科技有限公司

一、概述 1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。 2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计控制器安装在同一面板上。 3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。 4．该气路采用高精度气体质量流量计，气路内部全采用不锈钢管，耐腐蚀性好。 5． 所有箱体内接头采用不锈钢卡套连接，气密性好，耐压高。 二、技术参数： 气路通道： 8 气路流量控制：采用质量流量计。 箱体外形尺寸：600X600X600mm 质量流量计技术参数： 接 口： Φ6 显 示： LED 工作环境温度: 5~45℃ 流量控制器： 采用质子流量控制器 参数请查看后面 不锈钢管：Φ6外X Φ4内 压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格 截 止 阀 ：Φ6 流量控制：PLC智能控制 质量流量计技术参数： 产品名称: 质量流量控制器 产品描述 : 普通型，模拟电路 产品详细描述: 普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。 主要指标: ？ 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程） ？ 准确度：±1% F.S ？ 线性：0.5% F.S ？ 重复精度：±0.2% F.S ？ 响应时间：1S ？ 气压降：<0.01MPa ？ 最大压力：3MP ？ 工作环境温度：5～45℃ ？ 输入输出信号：0～+5.00V ？ 电源：+15V 50mA -15V 50mA ？ 外形尺寸：158*30*110 ？ 重量：0.9 Kgg 三、供气系统的配置： 1、质子流量计：8个 2、机械压力表（量程-0.1~0.15MPa）：1个 3、不锈钢截止阀门：5个 4、不锈钢穿板接头：5个 5、不锈钢阀门接头：2个 6、不锈钢钢瓶接头: 5个 7、聚四氟乙烯管：25M 8、混气罐 Dia80X140MM：1个 9、炉架：1台

1.0

GX-8

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