采购项目名称：更换电子束曝光机的场发射灯丝
采购项目编号：清采比选20240184号
对外联系人：本项目不接受咨询
联系电话：本项目不接受咨询
采购单位：清华大学
物资名称：更换电子束曝光机的场发射灯丝
采购数量：1
计量单位：台
品牌：Raith
型号：174C
技术参数及配置要求：20kV加速电压时，束斑尺寸可达到1.6nm；10kV加速电压，30μm光阑时，束流不小于220pA，并且室温波动不大于2℃条件下，8小时内束流波动不大于0.5%。为达到上述技术指标，供货商可视情况更换光阑等配件，同时需要保证所有配件能够与Raith 150-TWO的其他部件协调工作。总费用包含配件和一直到灯丝更换完成为止的人工费。
单价：￥177000
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