1. 项目名称：LNOI快速可调、超高Q值微环滤波器芯片加工
2.成交供应商名称：松山湖材料实验室微加工与器件平台
3.成交供应商地址：广东省 东莞市松山湖国际创新创业社区A1栋
4.成交金额(币种)：19.000万元
5. 付款方式： 合同签订后7个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后7个工作日之内支付合同金额70%。
6.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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开展LNOI快速可调、超高Q值微环滤波器芯片相关工艺的开发和芯片的制备，具体包括（1）薄膜铌酸锂材料上的EBL光刻工艺、（2）高精度加厚金电极的电镀工艺、（3）铌酸锂/金属薄膜的蚀刻工艺、（4）芯片的划切和抛光工艺。该项目由我方提供晶圆和芯片设计版图，具体要求如下：完成上述四种工艺的开发调试，并完成不少于10片滤波器芯片的制备打样，芯片最小加工线宽小于等于100nm，金电极厚度超过1微米且侧壁陡直，芯片抛光后表面及侧壁粗糙度均方根小于等于3nm。 |
合同签订之日起1个月内 |
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华中科技大学武汉光电国家研究中心
2023年08月18日
