公告摘要
项目编号cb100522021000001
预算金额38.5万元
招标公司中央民族大学
招标联系人-
中标联系人-
公告正文
高真空薄膜材料制备仪
申购单号:CB100522021000001 成交总额:******
申购主题:中央民族大学高真空薄膜材料制备仪采购项目 送货时间:合同签订后10天内送达
采购单位:中央民族大学 安装要求:免费上门安装(含材料费)
竞价开始时间:2021-06-04 17:05:05 收货地址:******
竞价截至时间:2021-06-08 16:00:00
币种:人民币
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:(1)质保期: 壹 年; (2)履约金及质保金:合同签订前,中标人应先缴纳合同总金额5%的履约保证金,验收合格后自行转为质保金,质保期满后,如无质量、服务投诉和索赔,该款项无息返还。
质疑说明:如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果:
采购项:高真空薄膜材料制备仪 数量:1.0套
品牌: 布劳恩 型号: PROvap
单项预算:0.00 成交总价:385000.00
成交单价:385000.00 成交供应商:布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司
质保及售后服务: 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;培训时间:设备交验后2天技术培训,每学期一次技术培训;服务时限:报修后2小时响应,4小时到达客户现场;商品承诺:原厂全新未拆封正品
技术参数: 功能要求:1、实现腔室真空度<2×10-7mabr 2、全自动化样品制备控制系统 3、金属蒸发温度:1800℃ 4、温控有机源,温度范围:50-600℃,温控精度:±0.1℃ 技术参数: 1、系统控制平台 1.1、基于PLC系统的全自动控制平台,有手动和自动两种操作模式。 1.2、频率范围:1到6.5 MHz;频率分辨率:±0.03Hz在测量周期为0.10秒时;频率稳定度:±2ppm,0-50摄氏度;测量/更新率:1至10 Hz; 1.3、★镀膜过程可实现从抽真空开始到镀膜工艺结束全自动化操作,期间包括蒸发源切换、共蒸等。可自动控制预蒸镀时间,功率,以及在镀膜速率上可实现完全自动控制。基片挡板、蒸发源挡板可自动打开关闭。 1.4、★速度精度:0.01Angstrom/s;膜厚精度:0.015Angstrom,膜厚不均匀性<±3%。 2、高真空镀膜系统及腔室,数量各一件: 2.1. ★方形主腔室内部尺寸不少于:400x400x500mm(宽x 深x高),容积:不少于80L; 2.2. 电控柜集成于镀膜腔室下方,整体尺寸不超过850×850×1000mm(长×宽×高):。 3、镀膜系统真空系统,数量:一套: 3.1、前级泵:旋页泵,抽速不少于:12 m3/h; 3.2、★全磁悬浮分子泵:抽速不少于1100l/s(N2),包括控制系统; 3.3、★极限真空度:<2×10-7mabr,可实现13分钟内从大气压到达4×10-6mabr; 4、 温控有机蒸发源,二件: 4.1、温度范围:50-600℃,K型热电偶,含挡板; 4.2、★温控精度:±0.1k,600℃降至50℃时间<60min; 4.3、控制模式:功率模式、温度模式、温度-功率模式; 5、 金属蒸发源,两件: 5.1、功率:2000w,温度1800℃; 5.2、含一个晶闸管及两个变压器,蒸发舟之间通过PLC切换; 6、蒸发源挡板:开合式电磁气动挡板,高度可调,数量:四个; 7、晶振探头:用于测量镀膜厚度,定位灵活,高度可调,水冷,含10个备用晶振片,数量:两个;
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