中标
飞秒激光微加工系统（ZBZXHB2021037）成交结果公告
金额
96万元
项目地址
四川省
发布时间
2021/06/21
公告摘要
公告正文
| 成交供应商： | 酷乃特光电科技（上海）有限公司 |
|---|
| 成交金额： | 960000.0 |
|---|
| 选标理由： | 无 |
|---|
飞秒激光微加工系统（ZBZXHB2021037）成交结果公告
| 项目名称 | 飞秒激光微加工系统 | 项目编号 | ZBZXHB2021037 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2021-06-21 | 公告截止日期 | |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 请查看比选文件 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后180个工作日内 |
| 预算 | 987000.0 | ||
| 收货地址 | 一环路南一段24号四川大学望江校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 飞秒激光微加工系统 | 1 | 套 | 其他仪器 |
| 品牌 | - |
|---|---|
| 型号 | - |
| 技术参数及配置要求 | 1.1本套设备整套系统主要由双工位设计主机，三维精密位移台和扫描振镜等组件构成。 1.2工位1采用聚焦物镜+三维精密位移平台可实现在晶体、玻璃、陶瓷等样品上刻写波导及三维光子器件的应用，激光光斑质量好，能量稳定，冷加工热效应小，加工精度高。 1.3工位2使用扫描振镜+场镜聚焦在半导体、陶瓷、金属等材料上实现高速精密划线、精密打孔、精密切割、精密焊接、微结构制作等加工应用； 1.4整套系统工作台全密封设计，采用防尘设计消除粉尘等对激光器及光路污染。 1.5整套系统配备吸尘及氮气吹扫系统。 1.6△整套飞秒激光微加工系统统的光路设计和光学元件均为双波长设计，系统兼容倍频激光517nm，可以实现两种波长的激光微加工应用。 1.7△负责集成客户已有的激光器及其它光学设备及器件到系统中。 1.8整套系统为模块化配置，预留好其它功能扩展性接口，方便以后升级改造或扩展，后期可以为用户提供四光楔螺旋扫描加工头模块升级服务。 1.9 ★ 系统带有基于高精度测距位移传感器的自动对焦功能，可自动对焦到样品表面。 2. 三维精密位移平台 1、 X行程：＞100mm 2、△ X分辨率：1nm 3、★ X定位精度：≤±300nm 4、 X重复定位精度：≤±75nm 5、 X最大速度：≥350mm/s 6、 X最大载重量：12kg 7、 y行程：＞100mm 8、 △ y分辨率：1nm 9、 ★ y定位精度：≤±300nm 10、y重复定位精度：≤±75nm 11、 y最大速度：≥350mm/s 12、 y最大载重量：12kg 13、△Z行程：≥20mm， Z轴为垂直升降台 14、△Z分辨率：10nm 15、 ★ Z定位精度：≤0.5um 16、 Z重复定位精度：≤0.15um 17、 Z最大速度：≥10mm/s 18、 Z最大载重量：20kg 19、 ★ 三维位移平台带3轴pso功能 3. 扫描振镜 1、最大扫描角度：±15° 2、波长覆盖：1035nm 3、通光口径：10 mm 4、重复精度：≤2μrad 5、最大扫描速度：≥2000mm/s 6、带一套专用的振镜控制板卡和软件,可导入二维图形文件直接加工 4. 聚焦光学元件 1、物镜 5X, 0.14NA, f=40mm，工作距离： 34mm 2、物镜 10X, 0.28NA, f=20mm，工作距离： 33.5mm 3、物镜 20X, 0.42NA, f=10mm，工作距离： 20mm 4、物镜 50X, 0.55NA, f=4mm， 工作距离： 13mm 5、F=100mm 石英场镜 5. 机器视觉监测模块 1、LED同轴照明，可实时成像 2、相机分辨率：2048 x 2048 3、感光区域尺寸 ：10.8 mm x 10.8 mm 4、△帧速：60.0 fps 5、接口： USB 3.0/网口 6、成像分辨率：<2um（20X物镜） 7、△两套机器视觉成像系统，每个工位各一套。 6. 激光功率实时监视模块 1、用于实时测量和显示激光运行功率 2、探头感应面积：？12.7mm 3、功率测量范围：2 mW - 50 W 4、测量波长范围：190 nm - 20 μm 5、测量分辨率：100μW。 6、接口形式：USB接口/网口 7. 控制软件及功能 1、 G代码/C语言；带图形文件导入、编辑并直接加工的扫描振镜软件； 2、操作界面具备加工图形的编辑窗口，可对导入的图纸进行在线的增删或修改；对于用于工艺试样的图纸，软件提供基本的绘图功能，可在软件中做直接绘图 3、软件可根据加工要求，对图纸不同图层的加工元素编辑不同的加工参数；对加工工艺参数具备编辑、存档、导入功能； 4、 针对新品、新工艺开发，软件提供加工演示功能，即在激光器不出光的情况下，控制设备各部件参照设定参数加工，以便操作人员确定加工可能性 5、具有端口监测错误诊断，设备开机软件执行初始化，对设备激光器、平台及各I/O端口执行初检；加工过程，对激光器、平台及I/O端口执行实时监测，保证运行稳定无故障； 5、 在发现运行故障时，对应在界面“信息输出区”显示错误信息，便于排查 7、 加工系统软件可实现对平台、振镜、I/O端口做独立控制，从而实现多种加工模式 8、 软件提供激光功率监测和显示，机器视觉监视系统控制 9、软件具备加工参数数据库，数据存储、计算分析、图文显示等功能。 8. 其它 1、 ★系统配备专用的波导样品夹具：可装夹块状玻璃，晶体专门设计的夹具。 2、 系统安装在大理石结构上，配备真空吸盘、真空泵，加工粉尘集尘系统。 3、 配备吹气模块，吹、吸结合高效集尘，可通过软件自动控制启停和吹吸气。 4、 激光扩束模块，激光光斑扩束至~10mm直径，含机械快门，响应速度<20ms，最高可承受功率50W 5、 高稳定性二维调整架、笼式系统集成 6、 高反射率反射镜，覆盖1035nm和517nm波长，反射率>98% 7、 △系统含1030nm波长电控激光衰减器：衰减范围：5%-95%，衰减精度：0.1% 8、 ★系统带急停开关，系统工作状态指示灯等工业安全防护装置 9. ★ 原厂需要在国内驻有原厂售后服务工程团队，提供便捷的原厂安装和售后服务。 ★为强制指标，不允许负偏离 |
| 售后服务 | 服务年限:12月;服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1. 培训要求： 供货方负责提供设备使用及产品技术供培训服务，对设备的日常运行和维护，进行详细讲解。培训时间不少于1个工作日2. 售后服务响应要求：售后服务响应要求：对用户的问题反馈和帮助寻求，供货方承诺在2小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在24小时或其它无法迅速解决的问题应在72小时解决或提出明确的解决方案。; |
公告来源：
https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/06/21/20KQ62E15MRC6D79.shtml
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