中标
宽禁带半导体功率器件研发平台（ZB22000153）成交结果公告
功率器件研发平台共焦磁控溅射镀膜机离子束刻蚀机RH2035化合物半导体和金属薄膜蒸镀双温霍尔测试系统半导体薄膜电学性能测试环境标志产品强制节能产品国产设备进口设备原材料燃料规范编制免税进口产品免税货品氧化铝氧化钛氧化锆氮化钽氮化钛薄膜的溅射沉积磁控靶系统磁控溅射靶样品台系统多基片原位替换加热功能工作气路质量流量控制器氩气氧气氮气搅拌装置直流溅射电源射频溅射电源匹配器真空测量系统真空计薄膜规台阶仪真空获得系统控制温度镀膜工艺真空释放磁控溅射镀膜主机系统一体机架辅助设施冷水机空压机光刻胶掩膜物理刻蚀反应离子束刻蚀射频离子源等离子体桥式冷态电子中和器工件台水冷工作台安全报警系统真空刻蚀腔体束闸分子泵抽速真空泵超高真空气动插板阀电源系统工艺气路水冷工件供货安装调试安装并调试技术培训售后服务设备安装验收仪器设备整机软件器材保险功能检测仪器的使用与维护系统应用维保方案XX标包质疑函刻蚀系统刻虫机高子束刻蚀机商子束刻地机电子白板一体机高真空磁控减射薄膜沉积系统高真空控减射薄膜沉积系统高真空控溅射薄膜沉积系统高真空磁控溅射系统控减射磁控溅射PVD磁控溅射沉积系统共焦磁控减射镀膜机
金额
146.1万元
项目地址
安徽省
发布时间
2023/02/02
公告摘要
项目编号ahzj-202316100019
预算金额65万元
招标公司合肥工业大学
招标联系人李老师
招标代理机构安徽中技工程咨询有限公司
代理联系人王婧0551-65149581
中标公司比亚迪半导体股份有限公司
中标联系人-
中标公司杭州邦齐州科技有限公司
中标联系人-
中标公司江京过世威纳科技有限公司
中标联系人-
中标公司中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司64.9万元
中标联系人-
中标公司湖北江钛科技有限公司19.9万元
中标联系人-
中标公司北京创世威纳科技有限公司61.3万元
中标联系人-
公告正文
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合肥工业大学宽禁带半导体功率器件研发平台采购项目中标结
果公告
一、项目编号：AHZJ-202316100019
二、项目名称：合肥工业大学宽禁带半导体功率器件研发平台采购项目
三、中标信息
第一包：
供应商名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
供应商地址：沈阳市浑南新区新源街1号
中标金额：人民币649000元
第二包：
供应商名称：北京创世威纳科技有限公司
供应商地址：北京市怀柔区迎宾南路11号五幢二层2213室
中标金额：人民币613000元
第三包：
供应商名称：湖北江钛科技有限公司
供应商地址：武汉市汉南区纱帽街紫薇轩7-14号1-2层(2035)
中标金额：人民币199000元
四、主要标的信息
| 货物类（第一包） | 货物类（第二包） | 货物类（第三包） |
| 名称：共焦磁控溅射镀膜机 | 名称：离子束刻蚀机品牌：创世威纳 | 名称：双温霍尔测试系统品牌：德国PhysTech |
| 品牌：沈阳科仪规格型号：JGP-450数量：1单价：649000元 | 规格型号：DISC-RIBE-150C数量：1单价：614000元 | GmbH规格型号：RH2035数量：1台单价：199000元 |
五、评审专家名单：尹成龙陈景意王甦朱晓光吴春艳
六、代理服务收费标准及金额：详见招标文件，由成交供应商支付。金额：第
一包：6815元；第二包：6437元；第三包：2090元。
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其他补充事宜
1、中标供应商业绩：见附件
2、若供应商对上述结果有异议,可在成交公告发布之日起七个工作日内以
书面形式向安徽中技工程咨询有限公司提出质疑(异议),质疑材料递交地址：合
肥市合作化南路27号,联系电话：0551-65149581-874、871
若供应商对质疑处理意见有异议，可在规定时间内以书面形式向相关主管
部门提出投诉。
3、质疑提起的条件及不予受理的情形
根据相关法律法规，现将质疑提起的条件及不予受理的情形告知如下：
3.1质疑应以书面形式实名提出，书面质疑材料应当包括以下内容：
3.1.1质疑人的名称、地址、邮编、联系人及联系电话；
3.1.2采购人名称、项目名称、项目编号、包别号（如有）；
3.1.3被质疑人名称；
3.1.4具体的质疑事项、基本事实及必要的证明材料；
3.1.5明确的请求及主张；
3.1.6必要的法律依据；
3.1.7提起质疑的日期。
质疑人为法人或者其他组织的，应当由法定代表人或其委托代理人（需有
委托授权书）签字并加盖公章。
3.2有下列情形之一的，不予受理：
3.2.1提起质疑的主体不是参与该政府采购项目活动的供应商；
3.2.2提起质疑的时间超过规定时限的；
3.2.3质疑材料不完整的；
3.2.4质疑事项含有主观猜测等内容且未提供有效线索、难以查证的；
3.2.5对其他供应商的投标文件详细内容质疑，无法提供合法来源渠道的；
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：合肥工业大学，，
地址：安徽省合肥市屯溪路，，193号，
联系方式：李老师，0551-62901145，，
2.采购代理机构信息
名称：安徽中技工程咨询有限公司
地址：合肥市合作化南路，，27号，
联系方式：王婧0551-65149581\582\583-8，，71
3.项目联系方式
项目联系人：王婧
电话：0551-65149581\582\583-8，，71
十、附件
1.招标文件
2.主要中标标的承诺函
3.投标业绩承诺函
4.无重大违法记录声明函、无不良信用记录声明函
5.中小企业声明函
合肥工业大学招标与采购管理中心
公开招标
（货物类）
大线
OFTECHNOLOGY
www.hfut.edu.cn
项目名称：合肥工业大学宽禁带半导体功率器件研发平台采购项目
项目编号：AHZJ-202316100019
采购人：合肥工业大学
采购代理机构：安徽中技工程咨询有限公司
2023年1月
目录
第一章投标邀请（招标公告）1
第二章投标人须知5
第三章采购需求29
第四章评标方法和标准（综合评分法）37
第五章政府采购合同（仅供参考）42
第六章投标文件格式49
第七章政府采购供应商质疑函范本72
第一章投标邀请（招标公告）
项目概况
合肥工业大学宽禁带半导体功率器件研发平台采购招标项目的潜在投标人应在“安徽省智能采购云平台”（以下简称“徽智采”平台，网址：http://www.ahhzc.com/）获取招标文件，并于2023年2月2日9点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：AHZJ-202316100019
项目名称：合肥工业大学宽禁带半导体功率器件研发平台采购项目
预算金额：第一包65万元；第二包62万元；第三包20万元
最高限价：第一包65万元；第二包62万元；第三包20万元
采购需求：本项目分三包；
第一包共焦磁控溅射镀膜机1套，用于化合物半导体和金属薄膜蒸镀；
第二包离子束刻蚀机1套，用于化合物衬底、金属、介质层等刻蚀；
第三包双温霍尔测试系统1套（进口），用于半导体薄膜电学性能测试。具体详见附件。
合同履行期限：合同签订后150个日历日完成安装调试。供应商应保证在要求时间内完成全部货物的供货、安装、调试和培训工作,符合国家标准、行业规范和合同等相关文件的要求。
本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：第一包及第二包申请人须为中小微企业、监狱企业或残疾人福利性单位。
3.本项目的特定资格要求：无
4.投标人不得存在以下不良信用记录情形之一：
（1）投标人被人民法院列入失信被执行人的；
（2）投标人被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单的；
（3）投标人被政府采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单的，以及存在《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十九条规定的行政处罚记录。
5.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。
三、获取招标文件
时间：2023年1月13日至2023年1月20日，每天上午9:00至12:00，下午13：30至17:00（北京时间，法定节假日除外）
地点：电子交易系统“安徽省智能采购云平台”（以下简称“徽智采”平台，网址：http://www.ahhzc.com/）
方式：在线发售招标文件，有意参加的潜在投标人首先须在电子交易系统“安徽省智能采购云平台”（以下简称“徽智采”平台，网址：http://www.ahhzc.com/）及手机“中招互连”APP中完成注册（注①），之后在PC端安装“投标管家”（注②），通过APP扫描在“投标管家”登录，交纳招标文件费用，方可下载本项目招标文件。
售价：0元，招标文件售后不退。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
时间：2023年2月2日9点30分（北京时间）
地点：采用远程电子递交方式，无需递交纸质文件，电子文件请通过“投标管家”于投标文件提交截止时间之前上传，提交截止时间后上传的投标文件不予接受。网上递交的投标文件应电子签章、加密，“投标管家”提供二维码扫描电子签章、加密功能。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.本项目落实节能环保、中小微型企业扶持等相关政府采购政策。
2.本次招标公告同时在中国政府采购网、安徽省智能采购云平台上发布。
3.投标人应合理安排招标文件获取时间，特别是网络速度慢的地区防止在系统关闭前网络拥堵无法操作。如果因计算机及网络故障造成无法完成招标文件获取，责任自负。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人
采购人：合肥工业大学
地址：安徽省合肥市屯溪路193号
联系人：李老师
电话：0551-62901145
2.采购代理机构
采购代理机构：安徽中技工程咨询有限公司
地址：合肥市合作化南路27号
联系人：袁倪、陈振、王婧
电话：15212799182
网址：https://www.ahhzc.com/
邮箱：3018479@qq.com
3.项目联系方式
项目联系人：袁倪、陈振、王婧
电话：15212799182
八、其他事项说明
1.投标人应合理安排招标文件获取时间，特别是网络速度慢的地区防止在系统关闭前网络拥堵无法操作。如果因计算机及网络故障造成无法完成招标文件获取，责任自负。
2.注①：注册步骤如下（以下两项均须注册完成）：
“徽智采”平台注册：
登录“徽智采”平台（网址：http://www.ahhzc.com/），点击“用户注册”，按照要求填写完善企业信息并上传相关附件，我司将对上传信息及附件进行审核，审核通过即完成平台的注册。具体注册操作详见“徽智采”平台首页“帮助专区”，同时须在PC下载安装“安徽中技投标管家”客户端（下载链接见“徽智采”平台首页“工具下载”）。
手机“中招互连”APP注册：
完成平台注册及客户端安装后，在手机应用商店中下载“中招互连”APP，按照要求填写注册信息，同时在APP线上完成CA证书的办理（购买单位证书请注意选择“安徽中技电子招标投标系统”），具体下载及注册操作详见“徽智采”平台首页“CA办理”。
注②：“投标管家”的服务功能
应答人完成手机“中招互连”APP的注册，并通过扫码登录PC端“安徽中技投标管家”后方可电子投标，“安徽中技投标管家”为应答人提供的在线服务有：缴纳招标文件费用、下载招标文件、制作应答文件、扫码电子签章、扫码加密投标文件、递交投标文件、网上开标、扫码解密投标文件等。
注册审核人：谢琼
审核时间：每个工作日9:30-11:00,13:30-16:00（北京时间）
联系电话：13866184647
系统操作指导人：谢琼
联系电话：13866184647
第二章投标人须知
一、投标人须知前附表
注：本表是本项目的具体要求，是对投标人须知的具体补充和修改，如有不一致，以本表为准。
二、投标人须知正文
1.适用范围
1.1本招标文件仅适用于本次公开招标所述的货物项目采购。
2.定义
2.1货物：是指各种形态和种类的物品，包括原材料、燃料、设备、产品等。
2.2时限（年份、月份等）计算：系指从开标之日向前追溯X年/月（“X”为“一”及以后整数）起算。
2.3业绩：业绩系指符合本招标文件规定的与最终用户签订的合同或招标文件要求的相关证明。投标人与其关联公司（如母公司、控股公司、分公司、子公司、同一法定代表人的公司等）之间签订的合同，均不予认可。
除非本招标文件中另有规定，否则业绩均为已供货（安装）完毕的业绩，业绩时间均以合同签订之日为追溯节点。
3.采购人、采购代理机构及投标人
3.1采购人：是指依法开展政府采购活动的国家机关、事业单位、团体组织。本项目的采购人见投标人须知前附表。
3.2采购代理机构：是指从事采购代理业务的社会中介机构。本项目的采购代理机构见投标人须知前附表。
3.3政府采购监督管理部门：各级人民政府指定的有关部门依法履行与政府采购活动有关的监督管理职责。本项目的政府采购监督管理部门见投标人须知前附表。
3.4投标人：是指向采购人提供货物、工程或者服务的法人、非法人组织或者自然人。分支机构不得参加政府采购活动，但银行、保险、石油石化、电力、电信等特殊行业除外。本项目的投标人及其投标货物须满足以下条件：
3.4.1在中华人民共和国境内注册，能够独立承担民事责任，有生产或供应能力的本国投标人。
3.4.2具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条关于投标人条件的规定，遵守本项目采购人本级和上级财政部门政府采购的有关规定。
3.4.3以采购代理机构认可的方式获得了本项目的招标文件。
3.4.4若投标人须知前附表中写明允许采购进口产品，投标人应保证所投产品可履行合法报通关手续进入中国关境内。
若投标人须知前附表中未写明允许采购进口产品，如投标人所投产品为进口产品，其投标将被认定为投标无效。
3.4.5若投标人须知前附表中写明专门面向中小企业采购的，如投标人提供的货物非中小企业制造的，其投标将被认定为投标无效。
3.5若投标人须知前附表中允许联合体投标，对联合体规定如下：
3.5.1两个以上投标人可以组成一个投标联合体，以一个投标人的身份投标。
3.5.2联合体各方均应符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件。
3.5.3采购人根据采购项目对投标人的特殊要求，联合体中至少应当有一方符合相关规定。
3.5.4联合体各方应签订联合体协议，明确约定联合体各方承担的工作和相应的责任，并将联合体协议作为投标文件的一部分提交。
3.5.5大中型企业、其他自然人、法人或者非法人组织与小型、微型企业组成联合体共同参加投标，联合体协议中应写明小型、微型企业的协议合同金额占到联合体协议投标总金额的比例。
3.5.6联合体中有同类资质的投标人按照联合体分工承担相同工作的，应当按照资质等级较低的投标人确定资质等级。
3.5.7以联合体形式参加政府采购活动的，联合体各方不得再单独参加或者与其他投标人另外组成联合体参加本项目投标，否则相关投标将被认定为投标无效。
3.5.8对联合体投标的其他资格要求见投标人资格。
3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动。否则其投标将被认定为投标无效。
3.7为本项目提供过整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参加本项目上述服务以外的其他采购活动。否则其投标将被认定为投标无效。
4.资金来源
4.1本项目的采购人已获得足以支付本次招标后所签订的合同项下的资金。
4.2项目预算金额和分项（或分包）最高限价见投标邀请。
4.3资金来源：详见投标人须知前附表。
5.投标费用
不论投标的结果如何，投标人应承担所有与准备和参加投标有关的费用。
6.适用法律
本项目采购人、采购代理机构、投标人、评标委员会的相关行为均受《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条例》及本项目本级和上级财政部门、政府采购监督管理部门的政府采购有关规定的约束，其权利受到上述法律法规的保护。
7.招标文件构成
7.1招标文件包括下列内容：
第一章投标邀请（招标公告）
第二章投标人须知
第三章采购需求
第四章评标方法和标准
第五章政府采购合同
第六章投标文件格式
第七章政府采购供应商质疑函范本
7.2招标文件中有不一致的，有澄清的部分以最终的澄清更正内容为准。
7.3现场考察及相关事项见投标人须知前附表。
7.4原则上采购人、采购代理机构不要求投标人提供样品。除仅凭书面方式不能准确描述采购需求，或者需要对样品进行主观判断以确认是否满足采购需求等特殊情况除外。
如需提供样品，对样品相关要求见采购需求，对样品的评审方法及评审标准见招标文件第四章。
7.5投标人应认真阅读招标文件所有的事项、格式、条款和技术规范等。
8.招标文件的澄清与修改
8.1投标人如对招标文件内容有疑问，应在供应商须知前附表规定的时间以书面形式（如传真、邮件等）通知采购人或采购代理机构。采购人对需要做出澄清的问题，以澄清和修改通知的方式予以答复。
8.2采购人可主动或在解答投标人提出的问题时对招标文件进行澄清或者修改。采购代理机构将在中国政府采购网、安徽省智能采购云平台以发布更正公告的方式澄清或者修改招标文件，更正公告的内容作为招标文件的组成部分，对投标人起约束作用。投标人应主动上网查询。采购代理机构不承担投标人未及时关注相关信息引发的相关责任。
8.3任何人或任何组织向投标人提供的任何书面或口头资料，未经采购代理机构在网上发布或书面通知，均作无效处理，不得作为招标文件的组成部分。采购代理机构对投标人由此而做出的推论、理解和结论概不负责。
8.4对于没有提出疑问又参与了本项目投标的投标人将被视为完全认同本招标文件（含更正公告的内容）。
9.投标范围及投标文件中标准和计量单位的使用
9.1项目有分包的，投标人可对招标文件其中某一个或几个分包货物进行投标，除非在投标人须知前附表中另有规定。
9.2投标人应当对所投分包招标文件中“采购需求”所列的所有内容进行投标，如仅响应所投包别中的部分内容，其所投包别的投标将被认定为投标无效。
9.3无论招标文件中是否要求，投标人所投货物及伴随的服务和工程均应符合国家强制性标准。
9.4投标人与采购代理机构之间与投标有关的所有往来通知、函件和投标文件均用中文表述。投标人随投标文件提供的证明文件和资料可以为其它语言，但必须附中文译文。翻译的中文资料与外文资料出现差异时，以中文为准。
9.5除招标文件中有特殊要求外，投标文件中所使用的计量单位，应采用中华人民共和国法定计量单位。
10.投标文件构成
10.1投标人应完整地按招标文件提供的投标文件格式及要求编写投标文件，具体内容详见本项目第六章投标文件格式的相关内容。
10.2上述文件应按照招标文件规定的格式填写、签署和盖章。
11.证明投标标的的合格性和符合招标文件规定的技术文件
11.1投标人应提交证明文件，证明其投标内容符合招标文件规定。该证明文件是投标文件的一部分。
11.2上款所述的证明文件，可以是文字资料、图纸和数据，它包括：
11.2.1货物主要技术指标和性能的详细说明；
11.2.2货物从买方开始使用至招标文件规定的保质期内正常、连续地使用所必须的备件和专用工具清单，包括备件和专用工具的货源及现行价格；
11.2.3对照招标文件技术规格，逐条说明所提供货物及伴随的工程和服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应，或申明与技术规格条文的偏差和例外。
11.3投标人应注意采购人在采购需求中提供的工艺、材料和设备的参考品牌型号或分类号仅起说明作用，并没有任何限制性。投标人在投标文件中可以选用替代品牌型号或分类号，但这些替代要实质上相当于技术规格的要求，是否满足要求，由评标委员会来评判。
11.4本条所指证明文件不包括对招标文件相关部分的文字、图标的复制。
11.5为保证公平公正，除非另有规定或说明，投标人对同一项目投标时，不得同时提供备选投标方案。
12.投标报价
12.1投标人的报价应当包括满足本次招标全部采购需求所应提供的货物，以及伴随的服务和工程。所有投标均应以人民币报价。投标人的投标报价应遵守《中华人民共和国价格法》。
12.2投标人报价超过招标文件规定的预算金额或者分项、分包最高限价，其投标将被认定为投标无效。
12.3投标人应在投标分项报价表上标明投标货物及相关服务的价格（如适用）和总价。未标明的视同包含在投标报价中。
12.4投标报价在合同履行过程中是固定不变的，不得以任何理由予以变更。任何包含价格调整要求的投标，其投标将被认定为投标无效。
12.5评标委员会认为投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的报价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，应当要求其在评标现场合理的时间内提供书面说明，必要时提交相关证明材料；投标人不能证明其报价合理性的，其投标将被认定为投标无效。
12.6采购人不接受具有附加条件的报价。
12.7关于免税进口产品
12.7.1投标人须在投标文件中报出教育免税价；
投标人应报出CIP合肥工业大学的价格；报价中应包含外贸代理费用、惩罚性关税等完成本项目验收合格的一切应有费用。
12.7.2本项目成交价格以人民币结算，投标人自行考虑汇率风险。
12.7.3供货期为外贸合同签订后的最迟发货时间。
12.7.4免费质保期须注明是产品制造商提供或是投标人提供。
12.7.5支付方式：采购人不接受T/T预付，具体付款方式由双方协商。
12.7.6免税进口产品的外贸代理公司由招标人指定。相关外贸代理费用从成交总货款中支出。外贸代理费用支付费率及计算办法如下：
费用计算办法采用差额累进方式。
如：500万元的进口产品外贸代理费用=100*0.60%+（400—100）*0.40%+（500—400）*0.25%=0.60+1.20+0.25=2.05万元。
进口代理费上限和下限：每票进口代理费收取上限（封顶收费）为30000元人民币；下限（保底收费）为3000元人民币。
13.投标保证金
13.1投标人应提交投标人须知前附表中规定的投标保证金，并作为其投标的一部分。投标人未按本招标文件规定提交投标保证金的，其投标将被认定为投标无效。
13.2投标人请注意：
投标保证金缴纳人名称与投标人名称应当一致。除非招标文件另有规定，分公司或子公司代缴投标保证金，视同名称不一致。投标保证金缴纳人名称与投标人名称不一致的，其投标文件将被认定为投标无效。
前次采购失败的，采购代理机构将退还投标人的投标保证金。
（3）采购代理机构投标保证金缴纳账号采用动态虚拟账号（分包项目每一个包别对应一个账号），项目采购失败后，投标保证金缴纳账号将会发生变化，请投标人参与后续采购时，注意勿将投标保证金错交至其他项目虚拟账号或前次公告账号。
（4）凡转账到其他项目虚拟账号或本项目前次公告账号的，投标保证金无效。
13.3有下列情形之一的，投标保证金不予退还：
投标人在投标文件中提供虚假材料的；
除因不可抗力或招标文件认可的情形以外，中标人放弃中标资格的；
（3）除因不可抗力或招标文件认可的情形以外，中标不与采购人签订合同的；
（4）投标人与采购人、其他投标人或者采购代理机构恶意串通的；
（5）投标人在投标有效期内撤销投标文件的；
（6）投标人须知前附表中规定的其他不予退还投标保证金的情形。
14.投标有效期
14.1投标有效期为从投标截止之日算起的日历天数，投标有效期详见投标人须知前附表。
14.2在投标有效期内，投标人的投标保持有效，投标人不得要求撤销或修改其投标文件。投标有效期不满足要求的投标，其投标将被认定为投标无效。
14.3因特殊原因，采购人或采购代理机构可在原投标有效期截止之前，要求投标人延长投标文件的有效期。接受该要求的投标人将不会被要求和允许修正其投标。投标人也可以拒绝延长投标有效期的要求，且不承担任何责任。上述要求和答复都应以书面形式提交。
15.投标文件的制作
15.1本项目要求提供加密电子投标文件，投标文件的制作应满足以下规定：
（1）投标文件由投标人使用安徽中技工程咨询有限公司提供的“安徽省智能采购云平台”（以下简称“徽智采”平台，网址：http://www.ahhzc.com/）制作生成。“投标文件制作工具”可以通过“徽智采”平台下载。投标人应当在互联网络通畅状态下启用最新版投标文件制作工具制作投标文件。
（2）在第六章“投标文件格式”中要求盖投标人电子签章处，投标人均应加盖投标人电子签章。联合体投标的，除联合协议及联合体各成员单位提供的本单位证明材料外，投标文件由联合体牵头人按上述规定加盖联合体牵头人单位电子签章。
（3）投标文件制作完成后，投标人应对投标文件进行文件加密，形成加密的投标文件。采用数字证书加密的，加密时投标文件的所有内容均只能使用同一把数字证书进行加密，否则引起的解密失败责任由投标人自行承担。
（4）投标文件制作的具体方法详见“投标文件制作工具”中的帮助文档。
15.2因投标人自身原因而导致投标文件无法导入电子交易系统电子开标、评标系统，该投标视为无效投标，投标人自行承担由此导致的全部责任。（该投标文件是指解密后的投标文件）。
15.3开标现场提交的其他材料要求详见投标人须知前附表。
16.投标截止及投标文件的递交
16.1投标人应在投标人须知前附表中规定的投标截止时间前，在网上提交加密电子投标文件。
16.2投标人在招标文件规定的投标截止时间前上传了网上加密电子投标文件，但未在规定时间内进行解密的，投标无效。
16.3采购人和采购代理机构有权按本招标文件的规定，延迟投标截止时间。在此情况下，采购人、采购代理机构和投标人受投标截止时间制约的所有权利和义务均应延长至新的截止时间。
17.投标文件的修改、补充与撤回
17.1投标人应当在第一章“投标邀请”规定的投标截止时间前，将加密的投标文件在电子交易系统上传。
17.2投标人应当在投标截止时间前完成投标文件的传输递交（以接收到电子签收凭证为准），并可以补充、修改或者撤回投标文件。投标截止时间前未完成投标文件传输的，视为撤回投标文件。未按规定加密或投标截止时间后送达的投标文件，电子交易系统应当拒收。
17.3投标人在投标人须知前附表规定的解密时间（以电子交易系统解密倒计时为准）内完成电子投标文件的解密工作。
18.开标
18.1开标将在投标人须知前附表规定的时间和地点进行。
18.2开标时，各投标人应在规定时间前（以电子交易系统解密倒计时为准）对本单位的投标文件进行解密。
18.3开标时，采购代理机构将通过网上开标系统公布开标结果，公布内容包括投标人名称、投标价格及招标文件规定的内容。
18.4投标人代表对开标过程和开标记录有疑义，以及认为采购人、采购代理机构相关工作人员有需要回避的情形的，应当场提出询问或者回避申请。
18.5投标人应参加开标，投标人未参加开标的，视同认可开标结果。
19.资格审查及组建评标委员会
19.1采购人或采购代理机构依据法律法规和招标文件中规定的内容，对投标人资格进行审查，未通过资格审查的投标人不进入评标。
19.2采购人或采购代理机构将在投标截止时间后至评审结束前查询投标人的信用记录。投标人存在不良信用记录的，其投标将被认定为投标无效。
19.2.1不良信用记录是指：（1）供应商被人民法院列入失信被执行人；（3）供应商被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单；（3）供应商被政府采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单。
以联合体形式参加投标的，联合体任何成员存在以上不良信用记录的，联合体投标将被认定为投标无效。
19.2.2信用信息查询渠道：中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）、“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）。
19.2.3信用信息记录方式：采购人或采购代理机构工作人员将查询网页打印、签字并存档备查。投标人不良信用记录以采购人或采购代理机构查询结果为准。
在本招标文件规定的查询时间之外，网站信息发生的任何变更均不作为资格审查依据。
投标人自行提供的与网站信息不一致的其他证明材料亦不作为资格审查依据。
19.3按照《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条例》及本项目本级和上级财政部门、政府采购监督管理部门的有关规定依法组建的评标委员会，负责本项目评标工作。
20.投标文件符合性审查与澄清
20.1符合性审查是指依据招标文件的规定，从投标文件的有效性和完整性对招标文件的响应程度进行审查，以确定是否对招标文件的实质性要求做出响应。
20.2如一个分包内只有一种产品，不同投标人所投产品为同一品牌的，按如下方式处理：
20.2.1如本项目使用最低评标价法，提供相同品牌产品的不同投标人以其中通过资格审查、符合性审查且报价最低的参加评标；报价相同的，由采购人或者采购人委托评标委员会按照招标文件中评标方法和标准规定的方式确定一个参加评标的投标人；未规定的采取随机抽取方式确定，其他投标将被认定为投标无效。
20.2.2如本项目使用综合评分法，提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，由采购人或者采购人委托评标委员会按照招标文件中评标方法和标准规定的方式确定一个投标人获得中标人推荐资格；未规定的采取随机抽取方式确定，其他同品牌投标人不作为中标候选人。
20.3如一个分包内包含多种产品的，采购人或采购代理机构将在投标人须知前附表中载明核心产品。核心产品超过一种产品的，核心产品中只要有一种产品为相同品牌，即认定为核心产品为相同品牌。多家投标人提供的核心产品品牌相同的，按第20.2款规定处理。
20.4投标文件的澄清
20.4.1为有助于投标文件的审查、评价和比较，在评标期间，评标委员会将以书面方式（询标）要求投标人对其投标文件中含义不明确、对同类问题表述不一致或者有明显文字和计算错误的内容，以及评标委员会认为投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的报价，有可能影响履约的情况作必要的澄清、说明或补正。投标人的澄清、说明或补正应在评标委员会规定的时间内以书面方式进行，并不得超出投标文件范围或者改变投标文件的实质性内容。
如有询标，投标人授权代表（或法定代表人）可通过远程登录的方式接受网上询标，也可凭本人有效身份证明参加询标。因投标人授权代表联系不上、没有及时登录系统等情形而无法接受评标委员会询标的，投标人自行承担相关风险。
20.4.2投标人的澄清、说明或补正将作为投标文件的一部分。
20.4.3评标委员会对投标人提交的澄清、说明或补正有疑问的，可以要求投标人进一步澄清、说明或补正，直至满足评标委员会的要求。
20.5投标文件报价出现前后不一致的，按照下列规定修正：
（1）投标文件中开标一览表内容与投标文件中相应内容不一致的，以开标一览表为准；
（2）大写金额和小写金额不一致的，以大写金额为准；
（3）单价金额小数点或者百分比有明显错位的，以开标一览表的总价为准，并修改单价；
（4）总价金额与按单价汇总金额不一致的，以单价金额计算结果为准。
同时出现两种以上不一致的，按照前款规定的顺序修正。修正后的报价按照第20.4条的规定经投标人确认后产生约束力，投标人不确认的，其投标将被认定为投标无效。
对不同文字文本投标文件的解释发生异议的，以中文文本为准。
21.投标无效
21.1根据本招标文件的规定，评标委员会要审查每份投标文件是否实质上响应了招标文件的要求。投标人不得通过修正或撤销不符合要求的偏离，从而使其投标成为实质上响应的投标。
评标委员会决定投标的响应性只根据招标文件要求和投标文件内容。
无论何种原因，即使投标人投标时携带了证书材料的原件，但投标文件中未提供与之内容完全一致的影印件或复印件的，评标委员会视同其未提供。
21.2如发现下列情况之一的，其投标将被认定为投标无效：
（1）未按招标文件的规定提交投标保证金的；
（2）投标文件未按照招标文件规定要求签署、盖章的；
（3）不具备招标文件中规定的资格要求的；
（4）报价超过招标文件中规定的预算金额或者最高限价的；
（5）投标文件不满足招标文件全部实质性要求的；
（6）投标文件含有采购人不能接受的附加条件的；
（7）法律、法规和招标文件规定的其他无效情形。
22.比较与评价
22.1经符合性审查合格的投标文件，评标委员会将根据招标文件确定的评标方法和标准，对其投标文件作进一步的比较与评价。
22.2评标严格按照招标文件的要求和条件进行。根据实际情况，在投标人须知前附表中规定采用下列一种评标方法，详细评标方法和标准见招标文件第四章：
（1）最低评标价法，是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且投标报价最低的投标人为中标候选人的评标方法。
（2）综合评分法，是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且按照评审因素的量化指标评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。
22.3根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《财政部司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）和《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）的规定，对满足价格扣除条件且在投标文件中提交了《中小企业声明函》、《残疾人福利性单位声明函》或省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件的投标人，其投标报价按照投标人须知前附表中规定的标准扣除后的价格参与评审。对于同时属于小微企业、监狱企业或残疾人福利性单位的，不重复进行投标报价扣除。
接受大中型企业与小微企业组成联合体或者允许大中型企业向一家或者多家小微企业分包的，对于联合协议或者分包意向协议约定小微企业的合同份额占到合同总金额30%以上的，可给予联合体或者大中型企业的投标报价按照投标人须知前附表中规定的标准扣除后的价格参与评审。组成联合体或者接受分包的小微企业与联合体内其他企业、分包企业之间存在直接控股、管理关系的，不享受价格扣除优惠政策。
以联合体形式参加政府采购活动，联合体各方均为中小企业的，联合体视同中小企业。其中，联合体各方均为小微企业的，联合体视同小微企业。
22.4按照<财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》的通知>（财库〔2004〕185号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）、《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》（国办发〔2007〕51号）、《财政部发展改革委生态环境部市场监管总局关于调整优化节能产品环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》（财库[2019]18号）、《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》（财库[2019]19号）等规定。
23.废标
出现下列情形之一，将导致项目废标：
（1）符合专业条件的投标人或者对招标文件做实质性响应的投标人不足规定数量的；
（2）出现影响采购公正的违法、违规行为的；
（3）投标人的报价均超过了采购预算，采购人不能支付的；
（4）因重大变故，采购任务取消的。
24.保密要求
24.1评标将在严格保密的情况下进行。
24.2有关人员应当遵守评标工作纪律，不得泄露评标文件、评标情况和评标中获悉的国家秘密、商业秘密。
25.中标候选人的确定原则及标准
25.1评标委员会依据本项目招标文件所约定的评标方法，对实质上响应招标文件的投标人按下列方法进行排序，确定中标候选人：
（1）采用最低评标价法的，除了算术修正和落实政府采购政策需进行的价格扣除外，不对投标人的投标价格进行任何调整。评标结果按修正和扣除后的投标报价由低到高顺序排列。修正和扣除后的投标报价出现两家或两家以上相同者，则所投产品为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品者优先；若报价相同且所投产品同为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品的，则采取评标委员会抽签方式确定中标候选顺序。
（2）采用综合评分法的，评标结果按评审后得分由高到低顺序排列。得分相同的，按投标报价由低到高顺序排列。得分与投标报价均相同的，则所投产品为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品者优先；若得分与投标报价均相同且所投产品同为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品的，则采取评标委员会抽签方式确定中标候选顺序。
26.确定中标候选人和中标人
26.1评标委员会将根据评标标准，按投标人须知前附表中规定数量推荐中标候选人。
26.2按投标人须知前附表中规定，由评标委员会或采购人确定中标人。
26.3因重大变故采购任务取消时，采购人有权拒绝任何投标人中标，且对受影响的投标人不承担任何责任。
27.编写评标报告
评标报告是根据全体评标委员会成员签字的原始评标记录和评标结果编写的报告，评标报告由评标委员会全体成员签字。对评标结论持有异议的评标委员会成员可以书面方式阐述其不同意见和理由。评标委员会成员拒绝在评标报告上签字且不陈述其不同意见和理由的，视为同意评标结论。
28.中标结果公告
28.1除投标人须知前附表规定由评标委员会直接确定中标人外，在评标结束后2个工作日内，采购代理机构将评标报告送采购人。采购人应当自收到评标报告之日起５个工作日内，在评标报告确定的中标候选人名单中按顺序确定中标人。中标候选人并列的，由采购人或者采购人委托评标委员会按照招标文件规定的方式确定中标人；招标文件未规定的，采取随机抽取的方式确定。
28.2自中标人确定之日起2个工作日内，采购代理机构将在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）上发布中标结果公告。
28.3中标结果公告内容应当包括采购人及其委托的采购代理机构的名称、地址、联系方式，项目名称和项目编号，中标人名称、地址和中标金额，主要中标标的的名称、规格型号、数量、单价、服务要求，中标公告期限、评审专家名单以及投标人须知前附表中约定进行公告的内容。中标公告期限为1个工作日。
29.中标通知书
29.1采购代理机构发布中标公告的同时向中标人发出中标通知书。
29.2中标通知书对采购人和中标人具有同等法律效力。中标通知书发出以后，采购人改变中标结果或者中标人放弃中标，应当承担相应的法律责任。
29.3中标通知书是合同的组成部分。
30.告知招标结果
30.1在公告中标结果的同时，采购代理机构同时以投标人须知前附表规定的形式告知未通过资格审查的投标人未通过的原因；采用综合评分法评审的，还将告知未中标人本人的评审得分和排序。
31.履约保证金
31.1中标人应按照投标人须知前附表规定缴纳履约保证金。
31.2如果中标人没有按照上述履约保证金的规定执行，将视为放弃中标资格。在此情况下，采购人可确定下一中标候选人为中标人，也可以重新开展采购活动。
32.签订合同
32.1采购人与中标人应当自发出中标通知书之日起30日内签订合同。
32.2招标文件、中标人的投标文件及其澄清文件等，均为签订合同的依据。
32.3中标人拒绝与采购人签订合同的，采购人可以按照评审报告推荐的中标候选人名单排序，确定下一中标候选人为中标人，也可以重新开展政府采购活动。
32.4当出现法规规定的中标无效或中标结果无效情形时，采购人可依法与排名下一位的中标候选人另行签订合同，或依法重新开展采购活动。
32.5依据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）规定享受扶持政策获得政府采购合同的，小微企业不得将合同分包给大中型企业，中型企业不得将合同分包给大型企业。
33.中标服务费
33.1本项目中标服务费的收取按投标人须知前附表的规定执行。
34.廉洁自律规定
34.1采购代理机构工作人员不得以不正当手段获取政府采购代理业务，不得与采购人、投标人恶意串通。
34.2采购代理机构工作人员不得接受采购人或者投标人组织的宴请、旅游、娱乐，不得收受礼品、现金、有价证券等，不得向采购人或者投标人报销应当由个人承担的费用。
35.人员回避
投标人认为采购人员及其相关人员有法律法规所列与其他投标人有利害关系的，可以向采购人或采购代理机构书面提出回避申请，并说明理由。
36.质疑的提出与接收
36.1投标人认为招标文件、招标过程和中标结果使自己的权益受到损害的，可以根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条例》和《政府采购质疑和投诉办法》的有关规定，依法向采购人或其委托的采购代理机构提出质疑。
36.2质疑供应商应按照财政部制定的《政府采购供应商质疑函范本》格式（详见招标文件）和《政府采购质疑和投诉办法》的要求，在法定质疑期内以书面形式提出质疑，超出法定质疑期提交的质疑将被拒绝。针对同一采购程序环节的质疑应一次性提出。
36.3采购代理机构质疑函接收部门、联系电话和通讯地址，见投标人须知前附表。
37.需要补充的其他内容
需要补充的其他内容，见投标人须知前附表。
第三章采购需求
前注：
1.根据《关于规范政府采购进口产品有关工作的通知》及政府采购管理部门的相关规定，下列采购需求中标注进口产品的货物均已履行相关论证手续，经核准采购进口产品，但不限制满足招标文件要求的国内产品参与竞争。未标注进口产品的货物均为拒绝采购进口产品。
2.下列采购需求中：如属于《节能产品政府采购品目清单》中政府强制采购的节能产品，则投标人所投产品须具有市场监管总局公布的《参与实施政府采购节能产品认证机构目录》中的认证机构出具的、处于有效期内的节能产品认证证书。
3.下列采购需求中：标注▲的产品（核心产品），投标人在投标文件《主要中标标的承诺函》中填写名称、品牌、规格、型号、数量、单价等信息。
一、采购需求前附表
货物需求
第一包：共焦磁控溅射镀膜机
第二包：离子束刻蚀机
第三包：双温霍尔测试系统
三、报价要求
项目最高限价：详见招标公告。
供应商的投标报价高于或等于本项目的最高限价为无效报价，单项如有最高限价，供应商的报价高于或等于本项目最高限价或单项最高限价均为无效报价。
投标报价为一次性固定报价，包含设备运输、安装、调试、培训、验收等费用，签订合同后，市场价格波动风险、社会干扰、疫情期间等因素产生的费用由投标人自行承担。
四、其他要求
安装调试及售后服务要求
1、中标人供货时提供设备操作说明书、产品检验合格证书、原厂产品保修单等。根据用户要求提供设备安装、调试、验收、培训等服务；
2、仪器设备安装调试所需要的人工、材料、工具等均由中标人负责提供，所需费用包含在投标总报价内；
3、最终验收在用户现场进行，经双方确认符合合同约定标准（包括应满足国家相关技术安全标准）后，用户签署验收合格报告；
4、中标人应对用户相关人员进行免费现场培训。包括仪器设备工作原理、操作要领及步骤、维修维护和保养等各个方面；
5、仪器设备整机自验收合格之日起，国产设备验收合格后3年免费质保期；进口设备验收合格后1年免费质保期（保修期自愿延长不限），终身维修维护；仪器设备故障报修在2小时内响应，24小时内提出解决方案，不能远程解决的，5天内维修人员到达现场；产品常年提供技术支持，所需零部件及配件常年供应；软件终身免费维护及升级；
五、样品要求（本项不适用）
1.投标样品是投标文件的组成部分。投标前，投标人应按招标文件规定准备投标样品。并在样品上标记以下信息：
“某项目第包”（投标人全称）样品；
2.投标时，投标人应提交样品并送达指定地点；投标文件递交截止时间后提交的样品，不予接收。
3.投标样品送达地点：同开标地点
4.投标人未提供样品或提供样品不全的：投标无效/按照评标方法和标准进行扣分。
本项目要求提供的样品如下：
5.投标人提交的样品经评标委员会评审认定不合格的：投标无效/按照评标方法和标准进行扣分
6.中标人的竞标样品将由采购人封存作为履约验收的标准；其余投标人的样品，将在评审结束后退还。
第四章评标方法和标准（综合评分法）
一、总则
本项目将按照招标文件第二章投标人须知的相关要求及本章的规定评标。
二、评标方法
2.1资格审查
依据政府采购相关法律法规规定,由采购人或采购代理机构对投标人进行资格审查。资格审查表如下：