石英和碳化硅耗材一批（XF-WSBX-2400637）采购公告
发布时间：2024-12-16 08:14:03阅读量：8 次

项目名称	石英和碳化硅耗材一批	项目编号	XF-WSBX-2400637
公告开始日期	2024-12-16 08:14:03	公告截止日期	2024-12-23 04:00:00
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	成交后在我参与的项目中查看	联系电话	成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后1个工作日内	到货时间要求	成交后3个工作日内
预算总价	￥ 496,877.95 + + 未公布
收货地址	浙江省杭州市萧山区浙江大学杭州国际科创中心水博园区A03-103
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
碳化硅边界环	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	0200-23002,EDGE RING, 300MM OXIDIZED UNIRING,AMAT Vantage；"功能及用途：在反应腔体中承载硅片，为得到更好的退火均匀性，边界环在反应腔体中需以特定旋转速率旋转。因碳化硅极强的热传导性能才能保证硅片与边界环接触的部分不会被传导热量。 规格：厚度0.1cm*内径29cm*外径33cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m·K)，晶格常数a=3.07？，c=15.117？，折射率no=2.55，ne=2.59"
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 107,067.50
技术参数及配置要求	0200-23002,EDGE RING, 300MM OXIDIZED UNIRING,AMAT Vantage；"功能及用途：在反应腔体中承载硅片，为得到更好的退火均匀性，边界环在反应腔体中需以特定旋转速率旋转。因碳化硅极强的热传导性能才能保证硅片与边界环接触的部分不会被传导热量。 规格：厚度0.1cm*内径29cm*外径33cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m·K)，晶格常数a=3.07？，c=15.117？，折射率no=2.55，ne=2.59"
售后服务

采购清单2

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
石英窗	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	0200-07958,Ouartz Window(ISSG),AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝灯泡和工艺腔体，高纯石英利于热传导。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 16,837.00
技术参数及配置要求	0200-07958,Ouartz Window(ISSG),AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝灯泡和工艺腔体，高纯石英利于热传导。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
售后服务

采购清单3

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
石英阀板	2	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	0041-07783,Slit Valve PlateW/O-ring,AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝外界和工艺腔体，在工艺开始前和结束后，打开阀板以便机械手臂刀板传送硅片进出反应腔体。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%。
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 14,644.80
技术参数及配置要求	0041-07783,Slit Valve PlateW/O-ring,AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝外界和工艺腔体，在工艺开始前和结束后，打开阀板以便机械手臂刀板传送硅片进出反应腔体。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
售后服务

采购清单4

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
石英高温计	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	AMAT Centura ACP,0010-44213,Pyrometer；"功能及用途：通过探针收集黑体辐射数据再调节灯泡功率以达到精准控温。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 104,864.00
技术参数及配置要求	AMAT Centura ACP,0010-44213,Pyrometer；"功能及用途：通过探针收集黑体辐射数据再调节灯泡功率以达到精准控温。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
售后服务

采购清单5

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
石英探针	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	0041-12192,REFLECTOR PLATEPROBE INJECT,AMAT Centrua ACP ISSG；"功能及用途：腔体进入快速热退火工艺后，灯泡快速升温照射，收集透过硅片后产生的黑体辐射。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 110,288.00
技术参数及配置要求	0041-12192,REFLECTOR PLATEPROBE INJECT,AMAT Centrua ACP ISSG；"功能及用途：腔体进入快速热退火工艺后，灯泡快速升温照射，收集透过硅片后产生的黑体辐射。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
售后服务

采购清单6

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
石英顶针	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	AMAT Centura ACP,0041-04435,ASSY, BELLOWS, LIFT PIN；"功能及用途：硅片进入反应腔体时承载硅片，通过垂直下降将硅片落入边界环中，通过垂直上升举起硅片，以便于机械臂刀板抓取硅片。 规格:长度 20cm*直径0.3cm，表面磨砂处理，减少光反射。 材料纯度:高纯度99.9999%，莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 6,774.35
技术参数及配置要求	AMAT Centura ACP,0041-04435,ASSY, BELLOWS, LIFT PIN；"功能及用途：硅片进入反应腔体时承载硅片，通过垂直下降将硅片落入边界环中，通过垂直上升举起硅片，以便于机械臂刀板抓取硅片。 规格:长度 20cm*直径0.3cm，表面磨砂处理，减少光反射。 材料纯度:高纯度99.9999%，莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm ？ °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m ？ °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C "
售后服务

采购清单7

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
碳化硅反射板	1	件	其他矿与矿物 无 无

品牌 品牌1
型号	0041-12156,REFLECTOR PLATE,INJECT, 300MM RADIANCE,AMAT Vantage；"功能及用途：置于反应腔体底部，表面特殊的热反射涂层（主要含无机材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通过精确控制涂层的厚度和折射率，可以使得不同波长的光线在涂层表面发生相消干涉，从而减少反射光的强度，提高透光性能。 规格：厚度2.2cm*直径32cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m·K)，晶格常数a=3.07？，c=15.117？，折射率no=2.55，ne=2.59"
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 121,757.50
技术参数及配置要求	0041-12156,REFLECTOR PLATE,INJECT, 300MM RADIANCE,AMAT Vantage；"功能及用途：置于反应腔体底部，表面特殊的热反射涂层（主要含无机材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通过精确控制涂层的厚度和折射率，可以使得不同波长的光线在涂层表面发生相消干涉，从而减少反射光的强度，提高透光性能。 规格：厚度2.2cm*直径32cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m·K)，晶格常数a=3.07？，c=15.117？，折射率no=2.55，ne=2.59"
售后服务

浙江大学
2024-12-16 08:14:03

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