中标
[GY202005298]脉冲激光沉积系统腔体
金额
28万元
项目地址
-
发布时间
2020/09/13
公告摘要
公告正文
脉冲激光沉积系统腔体（GY202005298）自购结果公示
发布时间：2020-09-13
该项目经自行采购程序，允许自购：
| 供应商： | 北京珀菲特科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | 280000 |
| 公示开始日期 | 2020-09-13 | 公示截止日期 | 2020-09-14 12:59:59 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 物理学院 | 付款方式 | 国产设备与家具：货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学环境楼217 | ||
采购清单
1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 脉冲激光沉积腔体系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 珀菲特 | 规格型号 | SPLD-14 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1. 腔体 ？ UHV兼容圆柱形腔体，直径400 mm，SS304材质， CF法兰口包括： - 观察窗法兰 1x DN 100CF, 1x DN 63CF - 激光入射法兰 1x DN 63CF - 样品台法兰 1x DN 160CF - 靶台法兰 1x DN 100CF - 分子泵抽气法兰 1x DN 160CF - 前级抽气法兰 1x DN 40CF，旁路抽气法兰 1x DN 40CF - 真空计法兰 1x DN 40CF, 1x DN16CF - 快开门法兰 1x DN 300CF - 气体通入法兰 2x DN 16CF - 电子枪法兰1x DN 63CF - 荧光屏法兰1x DN 100CF 可以根据客户需求额外增加预留的法兰口 ？ 抽气泵组包括中科仪FF-160/620风冷复合分子泵（600 L/s）和北仪优成TRP-24机械泵（6 L/s）及川北KF40电磁插板阀； ？ 背底真空度优于10-6 mbar（未烘烤），经过>48小时烘烤，背底真空度优于10-7 mbar； ？ 瑞士Inficon公司MPG400全量程真空计 （冷阴极/皮拉尼复合真空计，量程5X10-9 mbar-1 atm）； ？ 瑞士Inficon公司CDG025D薄膜真空计（10-4 mbar –1 mbar）； ？ 瑞士Inficon公司VGC502双通道真空计控制器； ？ 铝型材支架，所有电控部件集成在支架上； ？ 腔室内配有托盘和筛网，防止样品、靶材掉落损坏分子泵； ？ 300W机架式水冷机； 2. 靶台 ？ 4个2寸靶位； ？ 每个靶位都在自转，自转速度0-50 RPM可调，并通过公转切换选靶； ？ 靶位自转、公转均采用步进电机控制； ？ 国产CF16磁耦合旋转直通机构； 3. 压力控制 ？ 韩国DK-LOK截止阀、国产质量流量计及控制器； ？ 1路工艺O2，用于样品生长，通过流量计精确控制进气量； ？ 1路旁路O2，回充主腔室，用于样品高温氧化或退火； ？ 1路放气N2，用于系统破真空； ？ 腔室和分子泵之间通过手动闸板阀隔离； ？ 腔室和分子泵之间配有旁抽气路，可以用角阀手动调节腔室氧压； 4. 激光光路 ？ 英国TSL公司CF63石英入射窗口 ？ 1个2寸，焦距f=500 mm聚焦透镜及其支架 ？ 透镜组件支撑架 ？ 2个2寸，45°角反射镜及其支架 ？ 1个2寸，22.5°角反射镜及其支架 ？ 1个能量衰减器，可调范围10%-90% ？ 2个固定尺寸光阑 ？ 铝型材光路支架 5. 控制系统 ？ 所有电气控制盒都集成在铝型材框架内； ？ PLD控制软件及配套电脑； ？ 样品升降温、靶台自转/公转、准分子激光器外触发等均可以通过软件实现控制； ？ 客户订购的德国 Surface 公司加热器与系统配装， 我司负责整体调试和操作培训 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应时限:报修后48小时;供货时间要求:成交后3天内; | ||
资产与实验室管理部
2020-09-13
更多咨询报价请点击：
http://zcgl.sdu.edu.cn/sfw_cms/e?page=cms.psms.scatter.print&id=6a6a72f65d00b1d7ee570d10596a087c
;
解决方案
联系我们
返回顶部