二标段：

设备名称

功能与指标

IBS光 学 镀 膜机

用于半导体激光器端面光学镀膜的离子束溅射设备。 真空系统 真空室尺寸：不小于Φ1100 * 900 (mm) 极限真空：<4.0e-5 Pa(12H以内) 抽速：60分钟内达到1.1e-3 Pa (洁净，冷态） 真空泵：冷泵 泄漏率：< 3.0e-5 Pa m³/s 离子源 辅 助 离 子 源 ： PPG或 Veeco 12cm射 频 离 子 源 （ 弧 面 ） 1 套，含中和器电源 电压50 - 1500V 电流25- 400mA 溅 射 离 子 源 ： PPG或 Veeco 16cm射 频 离 子 源 （ 三 焦 点 ） 1 套，含中和器电源 电压100 - 1500V 电流100 - 600mA 支持气体：Ar, N2, O2, Xe 加热系统 加热范围： ≤ 150℃ 加热时间： 40min 内> 120℃ 温度均匀性： > 120℃时±5℃ 翻转基板结构 转速： 10-600rpm 无极可调，转轴跳动< 0.025mm 双面镀膜： 支持自动翻面镀膜。 基板尺寸：可搭载不少于8个50 x 45(mm) Laser Bar 治具 溅射靶系统 换位切换：支持 定位摆动：支持小角度摆动 位置可调：手动左右调整（±25mm） 数量：配备3块直径14英寸靶材背板 材 料：钛，铝（厚 度 1/4英 寸）； SiO2，五氧化二钽（厚度1/2 英寸） 光控/控制系统 光控系统：PEAKTRA透射式光学膜厚自动监控系统 波长范围：400-700 nm (白光光控） 控制系统：PEAKTRA

工艺验证 AR性能验证 1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.1%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.05%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率；0.01%反射率验证：FP上镀膜实现要求的反射率。 AR重复性验证 0.01%反射率重复性验证： ① 每个镀膜炉次，选择2个相对位置，各放置1根巴条(FP)；每根 巴条选择首尾2颗芯片，拟合AR值＜0.01%；即共计4颗芯片AR 拟合值均＜0.01%； ② 按照上述操作，重复3个镀膜炉次；每个炉次取4颗芯片，AR拟 合值均＜0.01%。 HR性能验证 选择2个相对位置，放置Si/InP片均可，利用分光光度计测试，波长1240~1300nm范围内HR反射率93±0.5%； 重复3个炉次，两个对角测试，波长1240~1300nm范围内HR反射 率93±0.5%。 粘附性验证 在BK7和Si片沉积AR/HR薄膜后，用划刀进行田子格测试，3M胶带粘三次无脱膜现象。 应力验证 在2寸Si基底上沉积AR膜和HR膜； AR、HR膜层进行应力测试，应力值满足＜±300Mpa@0°和90°。 非气密性验证 带有AR/HR膜层的陪片(BK7)，在沸水煮72H后，水煮前后监控 片的透过率变化＜0.5%。 设备高度：厂房高度2.8米，设备进厂房时，高度不能超过2.6米； 交期：2024-5-15前，需交付； 交付地：鹤壁。

其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国 家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。五标段：

设备名称

功能与指标

自 动 楔 形 球焊机

设备功能：实现球焊、楔焊功能，球焊、楔焊切换时间控制在 30分钟以内。 设备指标：有效XY工作区域尺寸200mm*200mm；Z轴行程50mm工 作台可升降，加热台温度：0—300±0.5 ℃可调。 固定方式：真空吸附&夹持 腔深设备指标： 球 焊-- 标准劈刀（19mm），常规腔深≤10mm；极限腔深≤11.5mm。 楔焊--标准劈刀（25mm），≤15mm。 焊接精度： 焊点对位精度自动机对位精度设备指标±3um@3s,±0.1°@3 s（离散度考量），考虑尾丝偏摆，断丝尾丝末端形态影响，指标 可根据实际结果评估。 技术中心测试以极大值不超金丝半径为标准范围内离散分布。 键合压力：1-300g精度0.1g,在线可编程 Theta旋转轴行程：楔焊-360°--360°；球焊-90°--90° 软限位行程。 相机视场范围：4.2mm*3.5mm UPH:2-7线/秒 线轴：要求2英寸标准线轴 可键合材料：金丝 尾丝： 尾 丝 长 度 要 求 1- 2倍引线直径，尾丝长度影响焊点长度最终占比，行业内尾丝要求：金丝尾 丝 长 度 以 1/2- 1倍引线直径，例25μm金丝按12.5~25um范围实施；铝丝尾丝长度以1- 1.5倍引线直径。 特殊线弧：具备三点两弧 弧度：弧高弧形要求一致且外观美观。 断尾：断尾一致，二焊点被带走部分面积占比＜6%。

丝外观：外观无明现损伤，无金屑掉落。 推拉力：球焊拉力≥6g且不能脱点，推力≥22g；楔焊拉力≥6g且不能 脱点。 上料模式：人工手动上料。 配件：球焊劈刀20个，楔焊劈刀10个。 配备：TO夹具、COC夹具、蝶形夹具、BOX夹具，夹具具备灵活可调。 220AC±10%@50Hz，10A。 质保服务：要求不低于3年。 人员培训：要求设备供方现场培训1-2人，设备功能操作及维护。

其他要求：
1、供应商负责将货物按时按量送达采购人指定地点。
2、供应商提供的产品除需满足采购方招标文件中的相关要求外，其余应遵循最新版本的国 家标准。
3、设备电源接口符合中国电力标准及安全环保要求。
三、项目要求
1、本项目投标供应商的报价为含税报价（含13%增值税专用发票）。
2、标2需要甲方验厂通过后，合同生效。
3、本项目如投标设备为国产设备只允许生产商投标，进口设备可以接受代理商。各潜在 投标人参与投标时需提供相关身份证明材料，否则投标无效。