[BA202400364]紫外光刻机采购项目备案公示公告
发布时间：2024-04-22 09:06:16
采购信息

项目编号	BA202400364	项目名称	紫外光刻机采购项目
经办人单位	电子科学与工程学院	经办人	董鑫
预算金额	265000.00 人民币	成交金额	265000.00 人民币
成交供应商	成都市诺壹科学仪器有限公司	质保期	12 月
联系地址	四川省-成都市-成都市青羊区同善桥横街10号附4号	采购单位	吉林大学电子科学与工程学院
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13541355104	交货时间	成交单签订后30天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号，吉林大学南校区唐敖庆楼D240室
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	（1）紫外光刻机产品为全新。生完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态； （2）提供产品出厂检验方法及报告、检验合格证，使用操作与维护说明书， 配合用户现场验收。验收标准按合同验收条款执行； （3）设备现场安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训， 培训时间及人员据用户需求确定； （4）对提供产品实行壹年质保期和永久的跟踪维护服务； （5）设备技术响应时间在 2小时内，现场技术支持响应间在24小时内， 72 小时内排除设备故障； （6）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，应免费维修、更换。 （7）质保期满后负责长期按成本价提供所需配件，以保证设备的后期使用，发现问题需要及时处理排除，并免收维护工程人员劳务费用。

明细清单

采购品目	电子工业生产设备	品牌名称	IOE
名称	紫外光刻机	产地及生产商	中国-中国科学院光电技术研究所
规格型号	URE-2000/30AL	数量	1
计量单位	台	保修年限	1 年
单价	265000.00 人民币	总价	265000.00 人民币
主要技术参数	1、外形尺寸：约 1400mm（长）900mm(宽)1500mm（高）； 2、曝光面积：160mm×160mm； 3、曝光波长：365nm； 4、分辨力：≤1 µm；5、对准精度：1 µm； 6、对准系统扫描台运动范围至少满足：Y:10mm； 7、对准系统左右光管可单独XYZ向运动，X向：±5mm ,Y向：±5mm, Z向：±5mm； 8、掩模尺寸：7 寸（向下兼容）； 9、样片尺寸：6 寸（向下兼容）；10、适应样品厚度：0.5-3mm，最大可支持20mm的样片（定制）； 11、曝光方式：定时（倒计时方式）； 12、照明不均匀性：＜3 %；13、双视场 CCD 对准显微镜：变倍镜头（1-5 倍）+显微物镜；14、掩模相对于样片运动行程至少满足：X:5mm, Y:5mm, θ:±6º； 15、曝光能量密度：>35mW/cm2；16、对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换；17、调平接触压力通过传感器保证重复性；18、可数字设定对准间隙和曝光间隙；19、触摸屏操作。

信息咨询

吉林大学招标与备案(采购)管理中心	设       备       类：林老师:   0431-85167310 工       程       类：白老师:   0431-85167313 服务及其他货物：李老师:   0431-85167309