项目名称:快速退火炉
项目编号:XF-WSBX-2200584
采购单位:浙江大学
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预 算: ￥ 450000
供应商资质要求: 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品:快速退火炉
采购数量:1
计量单位:台
所属分类:其他特种设备
品牌:
型号:
技术参数及配置要求:1．基本原理：镜面反射炉膛内部结构为高精度镜面曲面，镜面曲面抛光后镀金，红外光反射性能增加并抑制衰减。红外光来源于密封在石英腔中的高能流密度红外灯管，经镀金的镜面反射后聚焦到样品。
2．温度范围：RT-1200℃；
3．温控方式/精度：PID程序控制，定点控温精度±0.5℃；
4．最大升温速率：150 ℃/s （真空）（提供相关证明）；
5．降温速率：双石墨盘 130℃/min;（裸片 600℃/min）；
6．测试气氛：真空、氮气、氩气、氧气、氢氦混合气体；
7．样品尺寸：4英寸（100mm）；
8．温场均匀性：≤ 1% (载台) /≤1.5% (裸硅片）出具TC-wafer验证报告及数据图谱；
9．温度传感器：标准K型热电偶；
10．MFC空气气体回路：四路（氮气、氩气、氧气、氢氦混合气体）；
11．衬底冷却方式：氮气吹扫；
12．处理材料类型：薄膜、粉体、块体、液体；
13．相同工艺下同一晶圆的位置，温差不超过 2℃；出具TC-wafer重复性报告及图谱，至少10个位置。
14．采用知名品牌部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光；
15．快速控温：高能流密度红外灯设计，8秒内仪器可快速升温至1200℃；同时，炉体的热容小，配合先进的冷却系统，可实现快速降温；
16．可加载光学、电学测试模块，拓展测试薄膜材料 的相变温度、及结晶动力学的研究等 (提供相关证明材料)，可加载泽贝克系数与电导率测试模块
17．洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用；；
售后服务:服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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