热蒸发镀膜系统(GY202404460)自购结果公示
发布时间：2024-10-14
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	苏州光拓科技有限公司
中标金额：	360000

公示开始日期	2024-10-14	公示截止日期	2024-10-15 14:14:08
采购单位	国家胶体材料工程技术研究中心	付款方式	货到验收合格后付款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
热蒸发镀膜系统	1	台

品牌	光拓	规格型号	GT600
技术参数	极限真空，3.5*10-5pa，抽真空速度，30分钟达到5*10-4pa，氮气环境时间缩短一半。 腔体保压，12小时小于5pa。 蒸发源数量，8组金属源，并配备相应源挡板，开关方式为左右旋转。 基片盘大小，210mm*210mm，向下兼容，带水冷，旋转速度0-30转/分钟可调，掩膜与基片对位精度可以达到+/-50μm。 蒸镀速率，可蒸金属：以Ag为标准，蒸镀速率：速度稳定性：≤±10%（0.1-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤± 4%（＞10A/s）； 单片内膜厚匀性：±5%,测试方法：有效区范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大 值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于15 mm×15 mm
售后服务	服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后2小时;

资产与实验室管理部
2024-10-14