SIC衬底倒角检测仪(GY202305557)自购结果公示
发布时间：2023-10-12
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	上海谦视智能科技有限公司
中标金额：	285000

公示开始日期	2023-10-12	公示截止日期	2023-10-13 14:13:06
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	货到验收合格后付全款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学 新一代半导体材料研究院1楼

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
SIC衬底倒角检测仪	1	台

品牌	上海谦视	规格型号	EdgePro200
技术参数	？定制全自动运动载物台 ？X轴： 行程 200mm，定位精度 +/-5um，直线度 10um ？转轴： 360度直驱转轴 ？支持4-8寸Wafer ？倒角面幅、圆弧半径、精度误差+/-5um ？角度误差+/-1° ？直径误差+/-10um ？崩边提取精度50um ？6寸采集2条直径+缺口测量+6点位倒角测量：2分钟/片 ？定制检测软件系统，包含数据库管理系统 ？倒角形貌尺寸自动测量 ？平边/notch尺寸自动测量 ？晶圆直径自动测量 ？尺寸>0.05mm崩边检测 ？Excel报表/PDF报告生成功能 ？MES对接数据上传
售后服务	服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时;

资产与实验室管理部
2023-10-12