中标
[B2022042704]低能离子注入系统网上成交公告
金额
38万元
项目地址
-
发布时间
2022/05/05
公告摘要
公告正文
[B2022042704]低能离子注入系统网上成交公告
成交信息
| 成交供应商 | 中核同创（成都）科技有限公司 | 成交金额 | 380000 |
| 成交理由 | 符合需求，价格最低 | ||
采购项目信息
| 项目名称 | 低能离子注入系统 | 项目编号 | B2022042704 |
| 开始时间 | 2022-04-27 15:29:23 | 截止时间 | 2022-05-02 15:29:23 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | 380000.0 |
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 规格型号 | 品牌 | 产地 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 低能离子注入机 | 无 | 定制 | 成都 | 1 | 台 | 380000.00 |
| 技术参数 | 技术标准： 1. 真空室：真空室内腔尺寸：？ 500*400mm;矩形前开门结构，方便样品取放；真空室顶部设有离子源安装及真空测量接口；真空室底部设有工件架支撑及传动接口；真空室侧壁设有离子束流检测接口；矩形前门设有观察窗接口1个，方便观察腔室内样品工作情况；配备真空室支架。 2. 抽气系统：配备一台分子泵作为系统的主抽泵，抽速大于1600L/S，一台国产直联泵作为分子泵的前级和真空腔室的粗抽泵，抽速大于9L/S；极限真空度：优于2×10-4Pa；压升率：达到极限真空度后，关闭阀门，12小时内压升小于5Pa。 3. 真空测量系统：一套数显复合真空计检测真空腔室的真空度。 4. 工件转架：4工位公自转转架；工作转架可公转，转速1转/分；工作转架可自转，可任意选定源口位置定位自转。 5. 低能气体离子源：用于气体离子低能注入，离子能量100-1500eV，离子束流0-20mA；可控最小注入剂量1010（n/cm2）；低能气体离子源电源采用全数字开关电源，触摸屏控制。 6. 循环冷却系统：冷水机制冷量1P；设有缺水报警和连锁控制。 7. 自动控制系统：采用触摸屏+PLC控制方式；实现真空系统及离子源运行状态的全自动控制及安全连锁保护；实现离子源运行参数设定、记录和保存。 | ||||||
| 相关材料 | |||||||
武汉大学采购与招投标管理中心
2022-05-05 09:52:02
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