专业领域：先进材料与制造

一、采购内容
     漏率综合检测装置加工共计1包，供应商须就整个包进行响应。该装置中分子泵、无油干泵、各种真空阀门、真空计、四极质谱仪、标准漏孔等设备由甲方提供，均不在此包内。供应商加工生产静态升压真空检漏系统、差分抽气系统、基于四极质谱仪的压差取样分析系统、控制系统，相关技术指标满足设计要求。

包号	产品名称	性能指标	数量
1	静态升压真空检漏系统	1. 适用包装袋尺寸：200×150×35mm铝塑复合包装袋，封装压力为大气压或正压。 2. 检漏室有效容积：不小于250×350×200mm（200×150mm包装袋四包/次）。 3. 检漏室采用铝合金整体加工，侧面平动式开门，气动驱动，设置位置开关，监测平动门的开关状态。 4. 进样操作高度：平动门高度距地面750mm（参考值，最终商定尺寸为准）。 5. 接口要求：真空泵接口，真空计接口以及预留的高真空检漏仪接口等连接法兰、连接孔等接口全部设置在检漏室的顶部。 6. 检漏室整体漏率小于5×10-9Pa∙m3/s（提供专业计量机构检测证书）。 7. 实现实现手动及自动两种进样模式，并确保大气状态进样后真空度达到5×10-2Pa的时间在20分钟以内。	1
	差分抽气系统	1. 研制基于双抽气口分流复合涡轮分子泵的差分抽气系统，主抽气口抽速≥50L/s，极限真空度≤1×10-5Pa，分流抽气口抽速不小于8L/s，极限真空度≤1×10-2Pa。 2. 冷却方式为风冷，带有控制接口。 3. 前级泵采用干式无油泵（抽速约30L/min，极限真空度20Pa，甲方提供）。 4. 提供由专业计量测试机构出具的差分抽气系统的抽气速率曲线、极限真空度、压缩比（至少包括氮气、氦气）的检测报告。	1
	基于四极质谱仪的压差取样分析系统	1. 通过仿真模拟对基于四极质谱仪的压差取样分析系统的取样室、流导元件及差分抽气系统进行计算、设计和加工，满足取样压力为（105～5×10-2）Pa时，质谱分析室真空真空度≤5×10-4Pa； 2. 质谱分析室接口和尺寸适合安装四极质谱仪。 3. 分析腔材质为316不锈钢。 4. 烘烤温度为80℃～150℃。 5.取样响应时间≤10s，清除时间≤2min。	1
	控制系统	1. 包含控制计算机、电源模块、微控制器、控制软件等； 2. 实现对分子泵、干泵、机械泵、电磁阀门的集成式供电及控制； 3. 实现对电容薄膜真空计、超高真空计的集成式供电、控制以及数据采集、存储、数据处理和报告输出； 4. 实现对四极质谱仪集成控制、数据采集，以及数据可视化比对处理和时间演进处理； 5. 负责现场装配、调试； 6. 提供详细电路图纸、软件源代码及说明书。	1

 
二、采购方式
    竞争性询价
三、资质要求
    1、注册资金100万元以上；
 2、具有独立承担民事责任的能力；
3、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
4、具有履行合同所必需的专业技术能力；
5、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
6、单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加响应；
7、本项目不接受联合体投标。
四、其他要求
    此次采购总价如高于我方预算，此次询价无效。
五、时间安排
    1、资质预审暨报名
    时间：2022年5月9日至5月16日，工作日上午8：00-11：30，下午14：30-17：00。
    地点：北京市海淀区北清路26号院。
    方式：报名请联系陈工提交电子版资质预审材料。资格预审确认报名通过后，请于评审当天将纸质版本资格预审材料由专人送达现场。
    要求：报名时需提供以下资料。
（1）   营业执照副本（经营范围与本采购项目相关，复印件加盖公章）；
（2）   组织机构代码证副本（复印件加盖公章，三证合一不需提供）；
（3）   税务登记证副本（复印件加盖公章，三证合一不需提供）；
（4）   法定代表人授权委托书原件；
（5）   被授权人身份证及复印件。
     2、响应文件递交暨评审
    时间：2022年5月17日上午9：00
    地点：北京市海淀区北清路26号院。
    要求：响应文件按《询价通知书》（报名时发出）要求填写详细清楚，并加盖公章；做好密封和保密工作；须通过资格预审。
六、联系方式
联系人：陈  工   电话：15810273635