中标
华南理工大学-竞价结果详情(CB105612018000754) —— 等离子体增强型化学气相沉积设备PECVD
金额
13万元
项目地址
广东省
发布时间
2018/06/23
公告摘要
公告正文
华南理工大学 - 竞价结果详情 （CB105612018000754）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 等离子体增强型化学气相沉积设备PECVD |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-06-22 11:40 |
| 竞价结束时间： | 2018-06-28 14:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | 1、必须提供原装原厂新货品； 2、以人民币报价的项目，必须含税；以外币报价的项目，必须按照CIF广州港进行报价； 3、办公家具、实验室家具等项目竞价完毕后，如用户单位如需要提供样品，竞价单位则必须要提供，因此，报价时必须考虑。 4、空调、监控等强、弱电安装项目，竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员（并能提供相关证明材料），严禁无证上岗。； 5、参与华南理工大学竞价采购项目的供应商需是已在华南理工大学招标中心备案过的供应商，未备案过的供应商报价不予接受。 6、供货完毕后，提供购销类发票（非工程类发票或服务类发票）给用户单位。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 自报价厂商：郑州科佳电炉有限公司 电话：18137195602 | 等离子体增强型化学气相沉积设备PECVD | 1 | 郑州科佳电炉有限公司 | KJ-T1200-S6014LC-H | 按行业标准提供服务 | 等离子体增强型化学气相沉积设备，由单温区滑轨管式、真空系统、气路系统和等离子电源系统组成。 （1）单温区管式炉： 加热元件：含钼电阻丝； 炉体结构：炉体带滑轨，可实现快速升温和降温；滑轨尺寸：镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度：1200mm； 炉管：石英炉管；炉管尺寸：Φ60mmX1400mm； 触屏操作：升温曲线实时显示，智能化PID多段程序控温，真空法兰密封； 工作温度：最高温度可达1200℃，长期使用1100℃，可抽真空通气氛，具有超温断偶报警功能； 温控方式： K 型热电偶；控温精度 ±1℃；温控保护：具有超温和断偶保护功能；加热功率3KW； 炉膛材料：氧化铝多晶纤维。 （2）真空系统： 采用进口旋片真空真空泵，真空度达可达5x10-1pa 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 采用防腐型进口inficon数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换； 真空泵厂家：国产飞越； 数显真空计厂家：进口英富康。 （3）气路系统： 四路质量流量，液晶触摸屏控制，数字显示，自动控制； 流量范围流量范围：50sccm-1000sccm可调； 4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体； 进出气口：4进1出； 流量控制：触屏设置，手动开关； 连接方式：双卡套连接； 流量计厂家：北京七星华创。 （4）等离子电源系统： 输出功率：0-500W±1%（连续可调）；功率稳定度 ≤2W；最大反射功率 70W； 射频频率：13.56 MHz±0.005% ； 匹配：自动； 射频接口：50Ω, N-type； 噪音：<50 dB； 冷却：风冷； 电源：AC187-253V, 50/60H；电源保护设置DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护。 电源厂商：中山酷美。 （5）随机配件： 2支石英管、石英舟、高温手套、坩埚钩、内六角扳手、炉塞、密封圈、说明书、保修卡等。 | 130000.0 | 总价低原则 |
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