周婷

88661921

武汉市武昌区友谊大道118号学

武汉普迪真空科技有限公司

主要技术指标 （1）真空腔室 真空专用304不锈钢腔室，300×300×H400mm；前开门结构。配内衬防污板； （2）真空系统 300L/S脂润滑分子泵+4L/S进口德国莱宝干泵真空系统，“一低一高”数显复合真空计； （3）真空极限 优于5.0×10-5Pa；漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）； （4）抽速 抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于40min； （5）基片台 最大可镀基片尺寸/面积：定制；可翻转样品台。 （6）蒸发源及电源 独立蒸发源2组；蒸发电源，数量：1台； （7）膜厚控制仪 配备INFICON SQM-160膜厚控制仪一套，含一支水冷探头；监测膜厚。 （8）控制方式 PLC+触摸屏手自动控制； （9）报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。

高真空蒸发镀膜设备对学院科研发展有重要作用，此设备是非标定制，根据外专千人Kevin教授的特殊要求进行专业设计定制。主要定制方案如下：采用特殊的样品台翻转技术实现对器件正面和反面在腔内不开腔一次性沉积完成，解决了样品表面无开腔反转样品的二次污染和套刻沉积的无法对准的问题。因为为非标特殊设计，只有武汉普迪真空科技有限公司有很强的设备设计能力，能按我们的要求进行特殊设计，并达到我们的要求。这里申请单一来源采购高真空蒸发镀膜设备，全新设计的系统，参数指标都能达到我们的试样要求，并且设备安装和维护都是有原厂来完成，因此经济型也佳。

1-售后服务承诺： 1.1产品免费质保期为1年（整机）。 1.2质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。 1.3质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由我公司承担。 1.4建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行。 1.5在接到用户要求本公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员 1.6于12小时内，赶到技术服务现场。 1.7对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费。 1.8所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 2-验收 2.1依据合同相关供货清单及技术说明书进行检验验收。 2.2当货物到达需方指定的交货地点后，供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。如需方发现所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时，或有明显损坏，需方有权向供方提出更换或维修。 2.3如设备安装有特殊要求，供方应在设备安装之前向需方提出安装场地环境要求，并对需方就安装场地环境的咨询提供技术支持。 2.4在设备到达需方场地后，供方应尽快组织完成整套设备的安装调试。 2.5在安装、调试过程中，供方应对需方技术人员所提出的技术问题给予满意的答复，并向需方提供安装调试过程中的各种文档资料,以便需方今后能掌握操作方法和维护方法。 2.6安装调试完毕通过验收后，供方可向用户提出验收申请，由用户组织有关人员进行验收，用户根据测试结果提交验收报告，并在验收报告上签字确认。 2.7安装和调试期间发生的费用由供方承担。 3-培训 3.1供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。 3.2供方应提供详细的培训课程讲义及培训。 3.3安装验收完毕后对需方 不少于 2 人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。 3.4培训地点： 用户现场。 3.5培训费用：所发生的培训费用由供方承担。 4-文档资料 4.1设备相关的技术资料提供：文档语言为中文或英文。 4.2设备操作、维护使用说明书（1 套） 4.3设备结构原理图（1 套） 4.4设备外购件、易损件清单（1 套） 4.5装箱单 4.6设备出厂合格检验证明

理由充分，对于这种特殊需求，必须进行特殊定制，以满足科研应用的要求。同意进行单一来源采购。 专家1：施德安 材料学院教授 专家2： Kevin Homewood 国家外专千人 专家3：夏晓红 材料学院教授

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