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项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统（重新招标）

招标项目编号：0709-244035614004

招标范围：设备名称：化学机械抛光系统 设备数量：1套 设备用途：新增化学机械抛光系统能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺，且相互之间不影响。

招标机构：中国仪器进出口集团有限公司

招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司

开标时间：2024-05-31 09:30

公示时间：-

中标结果公告时间：2024-06-17 16:47

中标人：上海涌盈信息科技中心

制造商：华海清科

制造商国家或地区：中国