1. 超净间设计及建造应符合以下标准：《洁净厂房设计规范》 GB50073-2001；《洁净室施工质量验收规范》 GB50591-2010；《采暖通风与空气调节设计规范》 GB50019-2003；《通风与空调工程施工质量验收规范》 GB50243-2002；《建筑设计防火规范》 GB50016-2006；需采用≥50mm厚手工岩棉净化彩钢墙板（提供检测报告），钢板厚度≥0.5mm（宝钢单板，天津安美），岩棉容重为100公斤/立方，需提供耐火等级极限报告（耐火2小时）。 2. 超净间面积为65 m2，洁净度：10000级（国标ISO7级）即：≥0.5微米的尘埃粒子数量要小于10000个/立方英尺或者小于353个/升；照度 2；噪音：≤50db（A）；室内温度控制精度±2℃。洁净区正压≥非洁净区10Pa。超净间安装完毕后，供方持合格检测仪器，对进行以上内容的指标进行检测并出具相应检验报告，需方同时监测。 3. 电路建设需防爆等级ExdbIICT4，电线、电缆符合GB/T12706、GB12666等国家标准。应有国家认可的质量检测机构出具的检验合格报告和“3C”认证。气路采用钢瓶供气，包含氮气，氦气，氩气，空气，氢气，氧气，CH4 共7条主气路，34条进气支路，设置排气管道。气体主管道的直径为φ12.7、φ9.35，管路末端逐渐过渡到直径为φ9.35，材质为316L-BA的不锈钢无缝钢管采用轨道式自动焊焊接连接，三通以及变径焊接接头也是采用316L不锈钢光亮退火，母材符合BA级的高纯气路配件。各减压阀、球阀等配件满足设备进排气需求，管路测试包括强度测试、气密性测试、颗粒度测试提供质检报告，产品质保期为10年，终身维修。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）