日 期：2023年 2 月 13 日

招标编号：0722-234FE3403CQF

项目名称：光学缺陷检查显微镜采购项目

中国远东国际招标有限公司受联合微电子中心有限责任公司委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023年 2 月 13 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况：光学缺陷检查显微镜1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 项目实施地点：重庆市沙坪坝区西园南街20号

2.2设备用途及主要功能：

（1） 用途：八英寸晶圆缺陷的光学定位拍照。

（2） 主要功能：

a） 适用于200 mm notch晶圆的明场和暗场光学缺陷手动及自动定位及拍照；

b） 具有非接触式预对位功能；

c） 可定义特定图形（如十字mark，die corner等）以完成晶圆精对位；

d） 支持KLARF 1.2版本. 软件内可由用户自主设置指定的路径以获取KLARF文件，且缺陷检查拍照的照片可自动上传至指定路径；

e） 机台读取KLARF后，可按defect size，location等信息进行分类或排序，并提供筛选功能，以便选择性对特定的或一定数量的缺陷进行检查；

f） 具有亚微米级最高光学分辨率；

g） 软件系统易于操作，可按产品编辑不同的菜单，菜单内可以对缺陷进行定位补偿，且软件参数内提供对不同scan机台的坐标补偿功能；

h） 报警可自动记录详细报错信息并具有明确指向性。

具体详见技术要求。

2.3交货时间：自合同签订后6个月内完成交货，交货后设备装机与调试不超过30个工作日。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2投标人所竞标的同型号机台需在中国大陆集成电路前道生产工艺工厂内安装且验收合格数量不少于5台，提供产品的销售合同、验收报告复印件（上述材料中如涉及相关分项报价金额等商业机密的可以做相应遮盖处理，但必须保留采购单位名称、供应商名称、销售产品名称及相关型号等关键证明资料）。

3.3本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2023年 2 月 13 日

4.2 招标文件领购结束时间：2023年 2 月 20 日

4.3 招标文件领购地点：重庆市江北区五里店嘉景园B座14-1

4.4 招标文件售价：500人民币/套

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2023年 3 月 6 日14：00 分,投标文件递交时间：2023年 3 月 6 日13 ：30分－2023年 3 月 6 日14 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点：重庆市沙坪坝区西园南街20号联合微电子中心有限责任公司会议室

5.3 开标地点：重庆市沙坪坝区西园南街20号联合微电子中心有限责任公司会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.cetceg.com）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台（www.cetceg.com）”上公布。

7.联系方式

招标人：联合微电子中心有限责任公司

地址：重庆市沙坪坝区西园南街20号

联系人：汪老师

电话：15696897617

招标机构：中国远东国际招标有限公司

地址：重庆市江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静

电话：023-67095002、18680888091

传真：023-67095001

8.其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国远东国际招标有限公司

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国建设银行股份有限公司北京玉泉支行

行号：105100006030