深圳国际量子研究院全自动涂胶显影机意向公开

招标

金额

1150万元

项目地址

广东省

发布时间

2024/09/12

公告摘要

项目编号-

预算金额1150万元

招标联系人王老师0755-88397970

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

采购单位:	深圳国际量子研究院
项目名称:	全自动涂胶显影机
预算金额（元）:	11,500,000.000
采购品目:	其他机械设备
采购需求概况:	本次拟采购一台全自动涂胶显影机，该设备由主控制器、开放式载体站模块、工艺模块、交流电源箱、不带WEE单元的接口模块、外部化学品柜、温度控制柜、杯温湿度控制器、机械单元、匀胶单元、显影单元、增粘单元、热板单元（包括低温热板、高温热板、高精度热板）、冷板单元等组成，并且可以与光刻机联机，以实现6英寸和8英寸晶圆全自动、无接触、高质量的涂胶、烘烤和显影工艺。全自动涂胶显影机是大规模高性能量子器件的工艺开发和小批量生产的核心设备。该设备将用于我院超导量子计算芯片、硅基量子点芯片、微光机电传感器芯片和超低损耗氮化硅光子集成芯片等器件的制备，实现量子计算、量子传感的片上应用。
预计采购时间:	2024-11
联系人:	王老师
联系电话:	0755-88397970
备注:	无