复旦大学微区光电子能谱采购-国际招标公告
上海沪港建设咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2022-11-
27在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:复旦大学微区光电子能谱采购
资金到位或资金来源落实情况:已到位已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:2000-224HG2206003
招标项目名称:复旦大学微区光电子能谱采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	微区光电子能谱	1	3.1 主要技术参数 3.1.1 仪器的分辨率及灵敏度 1） 大束斑条件下的能量分辨率和灵敏度达到或优于：2.0Mcps@0.6eV、10.0Mcps@1.0eV； 2） 小束斑20m条件下的能量分辨率和灵敏度达到或优于 ：30kcps@0.6eV、300kcps@1.0eV。 3.1.2 真空系统 1） 分析室配置前级机械泵、涡轮分子泵和钛升华泵，要求分析室极限真空度应≤5×10-9 mbar； 2） 快速进样室：具有涡轮分子泵和前级机械泵； 3） 真空测量系统：具有皮拉尼计和离子规； 4） 要求具备自动烘烤系统。 3.1.3 能量分析器 1） 半球型能量分析器：双极性，可分析电子和分析离子； 2） 能量扫描范围：0-1500 eV，最小能量步长 ≥3 meV； 3） 能量传输透镜：要求采用静电传输透镜； 4） 通过能设置范围达到或优于：1-400 eV； 5） 通过能调节模式：连续可调，最小调节步长不大于1 eV或更优； 6） 检测器：要求配置≥128物 理通道微通道板探测器。 3.1.4 X射线光源 1） 射线源类型：单色化Al Kα X射线源，电子束需具备聚焦功能； 2） 单色化Al Kα X射线光源最大功率达到或优于：120W； 3） 要求最小聚焦获得束斑 （非成像模式）≤10 µm； 4） 源束斑规格：在无选区光阑的条件下可选规格达到或优于10档； 5） 要求阳极靶工作点可移动，应提供≥16个工作点使用； 6） 要求靶点更换由软件自动控制，无需人工操 作且不会破坏真空； 7） 要求提供非线性最小二乘拟合功能。 3.1.5 多功能样品停放台 1） 多轴样品台：要求由计算机全自动控制X、Y、Z 方向移动，围绕Z轴旋转； 2） 样品台的移动范围：X方向≥60 mm，Y方向≥60 mm和Z方向≥20 mm，中心旋转：0~360； 3） 标准样品台摆放面积需要≥3600 mm2，最大测试样品厚度需要≥20mm； 4） 进样室样品控制、观察和调整；需提供定位相机：要求在抽真空时 对分析样品定位，真空度达到后样品台自动转入分析室实施无人值守的全自动分析（包括全谱、高分辨谱和自动确定样品最佳分析高度）； 5） 提供多种类使用的样品台，包括粉末专用样品台、纤维样品 专用样品台、高度可调节样品台和面内旋转样品台等； 6） 进样系统：全自动进样系统。 3.1.6 样品观察、定位和照明系统 1） 分析室中配置高分辨彩色光学系统，需包含水平放置和斜插放置的光学相 机，同时搭配水平放置和斜插放置的照明光源，实现清晰观察样品位置及精准定位样品高度的功能； 2） 可精准自动定位样品台高度，实现照射和获谱的精确聚焦； 3） 系统应配备指示灯显示当前仪器的 真空系统、X光系统等关键部件的工作状态。 3.1.7 自动化荷电中和系统 1） 类型：配置双束中和源，同时具备电子和离子中和能力，且电子和离子来源于同一中和源； 2） 荷电中和效果 ：15kcps@0.82eV或更优； 3.1.8 离子枪系统 1） 用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源，计算机控制，在低束能下保持高通量，能自动校准束斑、能量等参数； 2） 离子源类型：复合离子源同时具备单 Ar原子和团簇Ar双模式； 3） 可使用气体：Ar/Ar团簇（XPS深度剖析）； 4） 单Ar离子能量可调范围：0.5~4.0 keV； 5） 团簇Ar离子能量可调范围：2.0~8.0 keV，团簇Ar离子团簇数目可调范围 ：75~2000；单个团簇Ar离子能量可调范围：1~100 eV； 6） 气体控制：软件控制，配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。 3.1.9 紫外光电子能谱附件 1） 光源：He紫外光源； 2） 最佳能量分辨率 和灵敏度要求：Ag费米边的能量分辨率≤120 meV，灵敏度（Ag4d）需≥2,000,000 cps； 3） 系统配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的静电模式中和源。 3.1.10 原位真空拉曼功能 1） 提供原位 真空拉曼信息，配合XPS获取同斑同源的分析键和结果信息； 2） 可以分析样品最小区域优于15μm； 3） 激发光源可选，至少配置532nm激光器； 4） 光谱分辨率：≤5cm-1； 5） 四种光阑可选，包括两 种孔径光阑和两种狭缝光阑。 3.1.11 反射电子能量损失谱 1） 功能要求：需同时满足氢元素的定性定量及半导体材料带隙测试的要求； 2） 激发源：提供与静电传输透镜同轴的高能电子枪，且激发能量 大小可调； 3） 能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率≤0.5 eV时，灵敏度应≥1000 kcps。 3.1.12 角分辨XPS功能 1） 角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨1 °； 2） 内置角分 辨XPS数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。 3.1.13. 离子散射谱 1）功能要求：实现材料表面1-2个原子层的元素检测； 2）能量分辨率和灵敏度：在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨 ≤12eV时，灵敏度应≥25,000 cps/nA； 3.1.14. 多系统数据互通联用功能 1）功能要求：实现XPS光学图与电子显微镜或光学显微镜光学图的完全关联； 2 ）测试完成后可离线或在线同时获取同一样品同 一区域的高分辨率化学态信息和形貌相信息； 3.1.15 系统自动化功能 1） 系统集成需配置可自动标定的硬件和软件功能； 2） 系统可实现自动化控制的烘烤功能； 3） 系统可实现自动化除气功能； 4） 分析室中内置带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，并可通过软件一键功能完成系统自动标定。 3.1.16 计算机硬件及软件系统 1） 仪器控制计算机一台：配置不低于：Windows 10系统/i3处理器/8GB内存/1TB硬盘/23英寸显示器； 2） 供应商需提供数据处理计算机一台：配置达到或优于Windows 10系统/i5处理器/8GB内存/2TB硬盘/23英寸显示器； 3） 供应商需提供嵌入系统数据 分析软件中的XPS谱库, 实现直接从软件中调用标准谱库的标准谱图原始数据的功能。 3.1.17 备件耗材及其他附件 1） 耗材备件包，一套。至少包含：阳极靶、X-光源灯丝、中和枪灯丝组件、离子枪灯丝 组件、升华泵灯丝、常用垫圈等密封套件等； 2） 冷却循环水系统，一套：需满足仪器水冷流量要求的水冷机； 3） 不间断电源，一套：需满足待机后备时间6小时，工作后备时间2小时； 4） 惰性气体 氛围样品传送管，一套：可在真空或惰性气体环境下从其它设备或手套箱中转移样品，送入分析室进行分析，保护样品表面在分析前不受环境气氛影响； 5） 粉末压片机，一台； 6） 预安装包，一套。包 含：Office正版软件*1，各尺寸的不锈钢管若干，各尺寸的接头若干，各尺寸的黄铜球阀若干，流量计*1，5微米滤芯若干等。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或
其他组织；
2)投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目
的正式授权；
3)投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电
产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；
4)本项目不允许联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-11-27
招标文件领购结束时间:2022-12-02
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：邮件报名hugangzhaobiao@yeah.net
招标文件售价:免费
其他说明:有兴趣的潜在投标人应于2022年11月27日起至2022年12月2日16:00止（北京时间），通过
邮箱hugangzhaobiao@yeah.net，并电话联系招标代理机构（联系电话：17740887667）获取采购文
件，逾期不再办理。电子招标文件售价零元。未按规定从招标机构处获取招标文件的潜在投标人将
不得参加投标。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2022-12-2010:00
投标文件送达地点:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）7楼
开标地点:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）7楼
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（
https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公
示。
7、联系方式
招标人:复旦大学
地址:中国上海市杨浦区邯郸路220号
联系人:卜老师
联系方式:86-21-65645530
招标代理机构:上海沪港建设咨询有限公司
地址:上海市徐汇区斜土路2358号（车行入口）斜土路2364号（人行入口）
联系人:戚老师、陈老师
联系方式:17811909079、17740887667
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）