项目编号：XC23000377
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购光刻胶刻蚀可靠性分析设备。
【迅采公告特别提示】
1、所有响应供应商所提交的支撑材料均须加盖红色供应商公章（供应商公章为黑色复印件、加盖合同专用章等其他印章的均不予认可），否则视为无效材料。
2、如货物生产商与响应供应商不一致的，响应佐证材料可仅加盖响应供应商公章且保障售后服务能力。不得仅加盖生产商公章，否则不予认可并视为无效响应，可同时加盖生产商与响应供应商公章。
3、所有响应供应商如对于已发布的迅采公告中的技术参数、服务需求、公告附件中的内容有疑问的，请在响应前联系采购需求联系人进行充分的沟通和交流。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付或完成的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于除家具以外的货物类与服务类项目）
4、由于家具类项目较为特殊、如本项目为家具类项目，响应供应商原则上应当在响应前主动联系采购需求联系人，充分了解项目相关需求，必要时采购需求联系人可要求潜在供应商在响应前现场实地踏勘或测量等。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付并完成安装验收的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于家具类项目）
5、如本迅采项目需求文件中提到公告附件的，供应商需要先在采购管理系统中进行注册，注册成功并报名本项目后，可在本项目的响应界面查询并下载其公告附件。
6、若本项目需要采购的是仪器设备的，供应商所提交的仪器设备清单中不得包含有最新版上海市政府集中采购目录内商品，若有则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。
7、若本项目需要采购的是仪器设备的，所采购的仪器设备均为国产设备，无进口设备。如供应商提交响应的仪器设备包含有进口设备的，视为无效响应，将被判定为未实质性响应。（无论该设备现在何处，需要经过海关清关结算的均判定为进口设备）。
8、供应商所有提交的响应材料均须为中文文件，若原为外文说明书等佐证材料的，供应商需要同时附上中文翻译件。如供应商仅提交外文响应文件的，该指标视为未实质性响应。
9、供应商所有提交的响应文件落款日期均需要在本项目公告期内，否则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。情节严重的将被认定为提前泄露项目信息并严肃处理。（若本项目非第一次公告的，响应文件落款日期以本公告为准，不得直接使用往期落款日期的响应文件）。
10、供应商响应时的响应操作、响应说明、加盖公章的附件证明须保持完全一致。
11、本项目若由采购代理机构承办的，项目服务费需要由成交供应商直接向采购代理机构支付，计费依据与采购代理机构支付信息详见本公告下方内容。
一、供应商资质要求
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
二、项目概况
项目编号： XC23000377项目名称：光刻胶刻蚀可靠性分析设备 预算金额：283000元
第一轮公告及报价响应时间：2023-12-01 17:00:00 ~ 2023-12-06 17:00:00
第二轮公告及报价响应时间：2023-12-06 17:00:00 ~ 2023-12-09 17:00:00（如有）
（以上海大学采招办官网首页各项目显示的倒计时截止时间为准，如第一轮已完成响应提交的，无需在第二轮重复提交）
交货期：7日 交货地点：上海大学嘉定校区
采购需求联系人：陶大燎 联系电话：17665204089
采购代理机构：中金招标有限责任公司
联系人：郭婷婧联系电话：021-66059798-103
联系地址：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室
采招办监督员：谢金印 监督电话：66130721
采购清单

采购内容/设备名称	参考品牌	规格配置	明细预算（人民币/元）	采购数量	计量单位	总价
光刻胶刻蚀可靠性分析设备		*腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm*靶材尺寸：直径57mm*0.1mm适用靶材：贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pd、Pt-Pd等样品台可调高度：20-50mm *样品台尺寸：直径65mm	283000	1	台	283000

技术参数

参数名称	是否需要附件证明	评分等级	参数说明
匀胶模块	是	核心指标	1）转速范围：20-10000RPM范围，转速精度及重复性：≤±1RPM；2）加速度可控范围：20-50000RPM/S（空载）；3）可处理基片尺寸范围：≤1CM至8寸圆形底物区间；4）旋涂均匀性：≤±3% ；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
加热（烤胶）模块	是	核心指标	1）控温精度：≤±0.2℃；温度均匀性：200℃以下≤±1%，200℃~300℃≤±1.5% ；2）处理基片尺寸：可以处理≤8英寸基片；3）电动顶针调节高度：0-20mm；顶针高度分辨率：≤0.1mm；顶针可使用底物直径≥40mm/120mm圆晶，特殊要求可定制 ；4）外型尺寸：≥360mm(W)*530mm(D)*415mm(H)；5）带抽风、充氮气或HMDS预处理等功能；6）带线性升温功能；7）触屏控制和可带plc 远程控制设备；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
磁控溅射模块	是	核心指标	1）腔体尺寸：石英玻璃，直径≥150mm，高度≥130mm；2）供电规格：AC220V，200W；电压：Max 500V；电流：Max 60mA；3）靶材尺寸：≥直径57mm*0.1mm；适用靶材：贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pd、Pt-Pd等；4）样品台可调高度：20-50mm区间；样品台尺寸：≥直径65mm；工作真空度：1-10Pa区间；5）气体路数：单路；补气流量：手动调节；6）需配备真空泵； 7）控 制:触屏控制和可带远程PLC控制设备；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
紫外臭氧清洗模块	是	核心指标	1）灯管寿命：≥8000h；2）灯管光谱：185nm+254nm；4）可处理基片尺寸：≥200*200mm；照射高度≥35mm；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
人机界面模块	是	非核心指标	显示触控面积≥7寸；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
真空管路模块	是	非核心指标	匀胶仅在真空负压≤-0.04MPA 时才允许电机进行旋涂工作，确保底物在高速旋转过程中被真空载物盘牢固吸附。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
干燥模块	是	非核心指标	1）控温范围：室温-300℃区间；2）温度分辨率：≤0.1℃；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)

资质要求

要求名称	是否需要附件证明	要求说明
营业执照（三证合一）	是	请上传相关证明材料(须加盖供应商公章)
信用中国证明	是	信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章)

商务要求

要求名称	是否需要附件证明	要求说明	评分内容
同类业绩	是	供应商需提供自2020年1月起至今的同类货物的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售货物名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。
培训计划	是	到货后14天内供应商提供面向不少于5人、不低于48小时的线上或现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。
质保期	是	自到货并验收合格之日起，最低要求质保期3年。	3年 4年 5年及以上
付款方式	是	合同签订后支付20%，货到学校，验收合格并签署验收报告后支付80%
交货期	是	在签订合同后7日内交货。

三、质量保证与售后服务（货物类）
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
四、供应商须知
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
五、汇款信息与代理服务费收费标准
1、汇款信息
     采购代理机构名称：中金招标有限责任公司
     采购代理机构开户银行（人民币）：中国建设银行上海斜桥支行
     账号（人民币）：31001514800050010790
     户名：中金招标有限责任公司上海分公司
2、代理服务费收费标准
     1980号文下浮37%，每个项目下限为2500.00元人民币，具体金额以成交公告为准，由成交供应商直接向代理机构支付。
上海大学
2023-12-01