项目名称：高真空热蒸发沉积系统
项目编号：ZBZXJJ20230254
采购单位：四川大学
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签约时间要求：
到货时间要求：
预算总价：330000
收货地址：四川大学望江校区一环路南一段24号
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:高真空热蒸发沉积系统
采购数量:1
计量单位:台
预算单价:330000
技术参数及配置要求:1. 设备名称：高真空热蒸发沉积系统
2. 主要功能：该系统配备2组有机束源式蒸发源炉+4组舟式蒸发源蒸发金/银/铜/铝等（升级膜厚仪后可实现3组材料共蒸发），可蒸镀切换最多6种有机材料如：C60、NPB、TPBi等材料；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，采用前滑动开门结构。该系列设备应用于薄膜太阳能电池、发光材料和器件等光电器件的制备，太阳能电池/锂离子电池研发及生产、物理化学研究 、金属有机、聚合材料等行业以及高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
3. 主要技术参数及要求
3.1. 真空腔室
真空专用304不锈钢腔室镜面抛光处理，前门导轨采用进口双导轨设计，避免右侧导轨伸出到手套箱一侧，节省手套箱空间的同时外观更协调。后门采用手动铰链结构；前后门带玻璃观察窗，含防污挡板，真空室内外表面抛光处理。腔室预留有照明和膜厚仪等设备接口；整体占用手套箱宽度位置小于650mm；尺寸约 400×400×H450mm；（投标时提供实物图片佐证并加盖投标人公章）
3.2. 真空极限
真空系统采用知名品牌真空泵+分子泵+超高真空阀门，可实现分子泵不停机恢复抽真空功能；优于3.0×10-7torr；漏率：优于5×10－9Torr*L/S；关机12小时后，真空度≤5Pa；(手套箱环境)；
3.3. 抽速抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于20min；（手套箱环境）
3.4. 基片台
抽屉式结构，承载最大小于 160*160MM 样品，配气动基片大挡板。样品台可水冷。基片与蒸发源距离可调，可调节最大距离 0～50mm 可调。 样品台旋转：样品片台可旋转，0～30 转／分连续可调。
3.5. 蒸发源及电源
配4组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构（钨舟；舟容积0.3mL）；配TDK备高级精度蒸发电源，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带数显。配备2套有机蒸发束源炉，2套TDK有机蒸发电源。有机蒸发源带温度显示功能，有机束源炉用日本导电温控仪,可实现C60蒸发自动升温控制功能。（束源炉提供相关专利技术证书）
3.6. 膜厚控制仪
采用知名品牌高精度石英晶振膜厚控制仪，带2套水冷探头；显示及控制精度：0.01埃；4通道，可扩容8通道。可实现共蒸发，可控制电源实现自动镀膜功能。膜厚测量仪需是：Inficon（型号SQC310）
3.7. 控制方式
采用西门子PLC+西门子10寸触摸屏实现一键式全自动控制系统；可输入工艺参数速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出等。（投标时提供实物图片佐证并加盖投标人公章）
3.8. 报警及保护
缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；
完善的逻辑程序互锁保护系统。
3.9. 细节设计
金属蒸发源位置设计合理，最大程度节省贵金属金的消耗量；降低设备使用成本；
蒸发源分区域设计，源间配有隔板，源上配独立挡板减少相互污染；
抽气口加装过滤网保护分子泵，气路设计避免扬尘；
3.10. 关键配备及配件
设备主要部件如：金属及蒸发电源、膜厚仪等均为进口最优品牌。以保障设备的整体关键性能指标及耐久性。
设备的细节配件：1.电气部分PLC及触摸屏采用知名品牌PLC；继电器等原件采用施耐德品牌。2.所有挡板等动密封部位均采用日本磁流体密封以保证真空的长期可靠性。3.水路部分采用不锈钢水排分水器，水管采用台湾雷朋耐高温尼龙水管。以保障设备的稳定可靠性。
3.11. 膜厚均匀性参数
160*160mm 方形基片成膜不均匀性：优于±4%。
3.12. 腔体洁净环境测试
系统钢材表面析出物少确保成膜的洁净度；（投标时提供腔室真空状态下腔内气体分析检验报告并加盖投标人公章）
★3.13. 通过质量体系9001认证，高新企业认证等等（附证书扫描件）。
4. 交货时间：四川省成都市四川大学望江校区，合同生效后50个工作日以内。
5. 付款方式：货到验收通过后付全款。
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