北京理工大学电子束图形化设备项目
投标邀请
项目概况
北京理工大学电子束图形化设备 招标项目的潜在投标人应在北京市
丰台区丰葆路 158 号院国信招标 获取招标文件，并于 2023 年 12 月 26 日
13 点 30 分（ 北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：GXTC-A1-23631034
项目名称：北京理工大学电子束图形化设备
预算金额：780.00 万元
最高限价（如有）：780.00 万元
采购需求：

序号	货物名称	主要规格	单位	数量	交货 时间	交货 地点	是否接受进 口产品投标
1	北京理工大学电 子束图形化设备	详见附件	台	1	签订合同之日起 10 个月内货到采购人 指定地点并安装调 试验收完毕	甲方指定 地点	是

其他：投标人必须对招标货物内所有货物进行投标，不允许只投标
其中的一部分，否则作为无效标处理。
合同履行期限：签订合同之日起 10 个月内货到采购人指定地点并安装调
试验收完毕 。
本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
3.本项目的特定资格要求：无
三、获取招标文件
时 间 ： 2023 年 12 月 05 日 至 2023 年 12 月 12 日 ， 每 日 0:00 至
23:59（北京时间，法定节假日除外）
地点：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标
方式：网上报名。
报名流程：
1、请在“国信招标集团单位入库在线申请系统”（http://
user.gxzb.com.cn/ztb/unit/login/register.jsp）注册并填报相关
信息（上述网址仅限电脑端浏览器使用，手机等移动端无法使用）。
2、在上述“国信招标集团单位入库在线申请系统”注册成功后，于
2023 年 12 月 05 日至 2023 年 12 月 12 日 （每日 0:00 至 23:59，周六、
周日及法定节假日除外），将材料发送至 guoxingcyjb@163.com ，材料
如下：
（1）法人代表证明书及法人代表授权及被授权人的有效身份证明
（加盖公章）扫描件
（2）报名信息编辑文字，包括：项目编号、项目名称、投标单位名
称、投标单位地址、投标单位对公账户信息、投标单位专票开票信息、纳
税人识别号、项目联系人、联系人手机号、邮箱。
（3）标书款付款截图。
（4）邮箱主题为：项目名称-投标单位名称。
标书款账户：
开户名称：国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司
开户银行：招商银行中关村支行
银行账号：1109090990102012300018845
3、特别提醒：投标单位在“国信招标集团单位入库在线申请系统”第一次注册时填报的人员，默认为该单位的主账号管理员。此次来报名的 人员如发现本单位已注册，则不需要再注册。
售价：人民币 500 元/本，售后不退。只有购买了招标文件并登记备 案的投标人才有资格参与投标。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
时间：2023 年 12 月 26 日 13 点 30 分（北京时间）
地点：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
1.采购项目执行政府采购政策
（1）对小微企业的产品给予价格扣除（监狱企业、残疾人福利性单 位视同小微企业；残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受 政策）。
（2）优先采购节能环保产品（注：所采购的货物在政府采购节能产 品、环境标志产品实施品目清单范围内，且具有国家确定的认证机构出具 的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书）。
2.被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）列入失信被执行 人 / 重 大 税 收 违 法 案 件 当 事 人 名 单 的 供 应 商 、 被 中 国 政 府 采 购 网（www.ccgp.gov.cn）列入政府采购严重违法失信行为记录名单中的供应商、被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范 围内），无资格参加本项目的采购活动；
3.单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时 参加本项目的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参加本项目投标。
4.本项目若接受联合体投标，联合体各方均应满足《中华人民共和国政 府采购法》第二十二条规定及本条第 2、3 款要求。
5.请投标人在汇款时务必注明所投标项目的招标编号及款项用途，否则，
因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担。
6.接收标书款、服务费的银行账户信息：
开户名称：国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司
开户银行：招商银行中关村支行
银行账号：1109090990102012300018845
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京理工大学
地 址：北京市海淀区中关村南大街 5 号
联系方式：免费注册即可查看 免费注册即可查看
2.采购代理机构信息
名 称：国信国际工程咨询集团股份有限公司
地 址：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标
联系方式：免费注册即可查看； 免费注册即可查看
电子邮箱：guoxingcyjb@163.com
3.项目联系方式
联 系 人：免费注册即可查看
联系方式： 免费注册即可查看
附件：
采购需求
（注：★号条款为实质性条款，不满足★号条款将导致投标无效。）
一、货物清单
北京理工大学电子束图形化设备：1 台；
主要技术指标
1.采用肖特基热场发射源，可实现高分辨光刻和成像功能。
2.加速电压为 20V-30kV，并在此范围内可以灵活调节。
3.电流范围：5pA - 20nA。
4.实验室温度波动± 0.5℃的情况下，电流稳定性不大于± 0.5%/ 小时。
5.配备轴向和非轴向两个二次电子探测器，实现高分辨成像和测量功能，成像 放大倍数满 足 20 - 1,000,000 倍。
6.配备系统专用图形发生器，扫描频率不小于 20MHz。
★ 7.写场尺寸调节范围 0.5um-2mm。
8.提供水冷机以及常用工具箱。
9.束斑尺寸：1kV 加速电压下不大于 4nm；20kV 加速电压下不大于 1.6nm 。10.束斑位置稳定性：不大于±400nm/小时。
★ 11.最小验收线宽：不大于 8nm。
12.光栅验收尺寸：光栅周期≤40nm，线宽≤20nm。
★ 13.100um 写场，同一写场内的套刻精度：不大于 50 nm (|mean| + 3 ·sigma)。
14. 集 成 GDSII 编 辑 器 ， 可 对 图 形 进 行 分 层 设 计 ， 允 许 导 入 GDSII、DXF、ASCII、CIF 等多种格式的文件。
15.具有多种扫描方式，使用者可根据曝光图形任意设定，如： 矢量扫描模式，线性扫描或蛇形扫描。
 可曝光任意形状的单像素点或线。
圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充，保证图形边缘的光滑，以 及低数据量的快速处理。
 纵向、横向，或按照任意角度的方向扫描。
16. 配备邻近效应修正软件。
17.片内、片间的膜厚均匀性优于±4%；（以铜膜标定），φ100mm 范围内，厚
度 300nm。
18.基片参数：
尺寸不小于 4 英寸，数量 1 片。
自转速度 0～50 转/分连续可调。
19.具有气动控制样品挡板组件。
20.样品台安装-200V 偏压电源。
21.加热炉温不低于 800℃。
22.质量流量控制器不少于 3 路：氩气氮气氧气的流量不低于 100SCCM。
23.全量程真空测量范围不小于 1x105Pa-6.6x10-7Pa。工艺真空测量范围：
13.3Pa～0.0665Pa。
三、其他要求
★ 1、质保期：提供 1 年质保，质保期自验收合格之日起计算。
2、交货时间（交货期）：签订合同之日起 10 个月内货到采购人指定地点并安
装调试验收完毕；
3、售后服务要求：
3.1 安装调试：在接到采购人通知后 1 周内执行安装调试直至达到验收指标。3.2 维修响应时间：投标人应在 2 小时内对采购人的服务要求做出电话响应，一 般问题应在 48 小时内到场解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周
内解决或提出明确解决方案，否则投标人应赔偿相应损失。
4、培训要求：
4.1 在采购人所在地对采购人进行为期不少于 3 天的使用维护培训。培训内容包
括操作、数据处理、基本维护等。
4.2 在采购人所在地对采购人进行为期不少于 3 天的应用培训。培训内容主要包
括数据采集、功能模拟等。
★ 5、本项目合同条款中的付款方式为实质性条款，不允许偏离，投标人须在“商
务、合同条款偏差表”中进行响应。
四、验收标准：
采购人在验收时将对每一项技术、服务、安全标准的履约情况进行确认并出具 总体评价。验收时以中标人的投标文件应答及招标文件的要求作为验收标准及 依据。
计划财务部
2023 年 12 月 05 日