“显微同轴光电检测系统拆装搬迁调试与维护” 单一来源采购公示 一、 项目概况 （一）主要功能：显微同轴光电检测系统是一种高精密贵重设备，主要 用于科学研究、材料分析、生物医学等领域。设备具有监视观察和激光引入 功能，配备多组滤光片和可调亮度的 10W 白光 LED 光源。具有 5 孔物镜切换器 和大靶面监视相机，具备高分辨率彩色 CMOS 和高帧率特性。显微镜可手动调 焦，具有 Z 轴移动行程和同轴旋钮调节，具备高精度的细调功能。手动晶圆 台可进行精确的 X/Y 轴移动，具备中心吸附孔和多圈吸附环，以及角度锁死 装置。探针座等部件提供了更多的实验功能。 （二）必要性：由于设备的高精密性和独特性，其内部光路、电路和机 械结构需要专业人员进行搬迁和调试。不同厂商的光学设计、电路设计、机 械设计等方面存在差异，需要原厂技术人员进行适配。设备的软件为完全封 装，非原厂人员难以进行修改和适配，因此需要原厂提供支持。 （三）项目调研情况： 调研了多家科研机构和公司，如德国的 Carl Zeiss AG、美国的 Thermo Fisher Scientific 等，发现各家的设备在光学设 计、电路设计、机械设计等方面均有不同程度差异。经过与几家公司的技术 人员沟通，确认只有原厂才能保证设备的搬迁调试效果不变。 （四）供应商资质：供应商为原厂，具备丰富的显微同轴光电检测系统 研发和生产经验。原厂技术人员具备专业的搬迁和调试能力，能够保证设备 的正常运行。 （五）运维保障：供应商将提供设备搬迁后的全面运维保障，包括定期 检查、故障排除、技术支持等。供应商将提供培训，确保操作人员能够熟练 使用和维护设备。 （六）预算说明：项目开发经费总额为:¥ 10.0 万元 。大写:人民币：壹 拾万 元整。 二、项目内容

申请单位	集成电路学院
项目名称	显微同轴光电检测系统拆装搬迁调试与维护
项目内容	1、光机引擎模组：此模组负责调控光路，确保光源与样品 之间的有效耦合。调试时需精确控制光机引擎的性能，包括 光源的稳定性、光束的平行度以及与样品相互作用的最佳 化。2、成像镜头模组：投影镜头模组负责将经过样品后的 光信号聚焦成像。调试过程中要优化镜头的焦距、景深和分 辨率，以获得清晰的图像。3、位移台模组：位移台模组用 于精确控制样品的位置，以便进行精细的光刻实测。调试时 需确保位移台的移动精度与稳定性，以满足高精度的测量需 求。4、硬件与软件同步调试：在硬件调试阶段，不仅要关 注各模组的独立性能，还需进行软硬件的协同调试。这包括 设备软件的更新与优化，以及画图软件的同步调整，确保软

	硬件之间的兼容性与协调性。
拟定供应商 (名称、地 址)	名称：赫智科技（苏州）有限公司 地址：中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 新平街 388 号 22 幢 5 层 08 单元
参考报价	100000 元
单一来源采 购理由	显微同轴光电检测系统属于高精密贵重设备，设备中包 含（1）一路监视观察，一路用于引入光纤激光；含 2 组滤 光片；10W 白光 LED 亮度，可调照明光源；5 孔物镜切换 器，95mm 齐焦；大靶面监视相机 : 1920*1200，1/1.2 寸靶 面，5.86um 像素大小高分辨率彩色 CMOS，40fps；显微镜整 体可以手动调焦：Z 轴移动行程 36 mm，同轴旋钮调节，细 调精度<5 微米；镜头倍率 5X，10X，20X，50X 可见光、长工 作距离测试镜头各一个；（2）手动晶圆台：4"卡盘，采用 中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制；卡盘平整 度:5µm，标准卡盘可 300 度旋转，带有角度锁死装置；卡盘 X/Y 轴采用舒适大手柄旋转控制，行程：4 英寸*4 英寸，每 个轴均带锁定旋钮；卡盘 X/Y 轴为无间隙移动，移动精度 1µm；卡盘电学独立悬空，带香蕉头插口，可以作为背电极 使用；（3）探针座等。设备内部都是自己搭建的光路，搬 迁不仅要重新组装，还要先进行拆卸，并且组装之后保证效 果不变。因此，必须找原厂家进行。
论证专家	姓 名	职 称	工作单位
	肖少庆	教授	集成电路学院
	万茜	副教授	集成电路学院
	吴宏荣	副教授	机械工程学院
备注

三、公示期为：2024.07.17—2024.07.24 提示：任何单位、组织或个人对本项目采用单一来源方式如有异议，请在 公示截止日期之前以书面的形式反馈我单位，非常感谢您的参与。 联系电话：0510-85913566 电子邮箱：cgzbzy@jiangnan.edu.cn 江南大学采购与招标管理办公室 2024 年 7 月 17 日