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公告正文

滨州魏桥国科高等技术研究院 - 竞价公告 (CBBZWQGK2023000107)
发布时间:2023-10-23 16:09:17 截止时间:2023-10-26 16:19:13
基本信息:
申购主题:热蒸发镀膜机
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
付款方式:货到验收合格后付90%,留10%质保金。
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
预算:****** 人民币

收货地址:山东省/滨州市/滨城区/****
备注说明:
采购明细:
序号
采购内容
数量/单位
预算单价
品牌
型号
规格参数
质保及售后服务
附件

1
热蒸发镀膜机
1/台



1、真空腔室:ф300×H360mm,304优质不锈钢真空腔室;
2、真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统,数显复合真空计;
3、真空极限(空载):8.0×10-5Pa;
4、漏率:≤0.8Pa/h;
5、抽速:(空载)从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min;
6、基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
7、基片台加热及旋转:加热温度250℃,旋转速度:0-20 转/分钟;
8、蒸发源及电源:2对水冷式蒸发电极;1台3kw金属蒸发电源;
9、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ80mm 范围内);
10、控制方式:PLC+触摸屏控制方式;
11、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。
12、辅助设备:冷却循环水机1台;
13、安装调试:设备厂家必须提供相应金属电极制备工艺参数。
14、售后服务:产品保质期为1年;保质期内设备免费维修;对质保期以外设备的维护,只收取成本费。
15、其他要求:
1)提供详细的用户手册及相关机械、电控等装配图纸;
2)设备出厂前需提供详细的设备检测数据,包含极限真空、抽速、均匀性等;
3)不接受没有生产厂商授权的投标行为;
4)必须有生产厂商签字盖章的彩页作为技术参数的支撑,技术参数中与签字盖章彩页中不符的条目按负偏差处理;
按行业标准提供服务


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