紫外光刻机(GY202309962)自购结果公示
发布时间：2023-12-16
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	三河建华高科有限责任公司
中标金额：	402000

公示开始日期	2023-12-16	公示截止日期	2023-12-17 20:31:06
采购单位	集成电路学院	付款方式	100%预付款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东省济南市高新区舜华路1500号山东大学软件园校区教研楼3B-B104

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
紫外光刻机	2	台

品牌	三河建华	规格型号	BG-401B
技术参数	简要技术要求： 1．曝光类型：单面；2．曝光面积：100×100mm；3．曝光照度不均匀性：≤3%；4．曝光强度：≥20mw/cm2，可调；6．紫外光中心波长：365nm；7．紫外光源寿命：≥2万小时；8．曝光分辨率：1μm；9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；10．显微镜扫描范围：X：±50mm Y：±50mm； 11．对准范围：X、Y±5mm；θ±12°；12．套刻精度：1μm；13．显微系统：三目头显微镜，双视场CCD系统，目镜10X，物镜10X，物镜分离距离：28～90mm；扫描范围：50×50mm；调焦范围：8mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；14．基片厚度：≤5 mm；15．曝光定时：0～999.9秒可调；16．配套掩模版架：3英寸、5英寸；17．配套承片台：2英寸、3英寸各一个；18.配套真空泵一台19.配套光强计一台 交货期：合同签订后60日内.
售后服务	服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时;

资产与实验室管理部
2023-12-16