大连鑫邦项目管理有限公司受大连理工大学 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对大连理工大学等离子体电学在线诊断设备采购项目进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：大连理工大学等离子体电学在线诊断设备采购项目

项目编号：DUTASD-2022687

项目联系方式：

项目联系人：张哲华

项目联系电话：0411-62636163

采购单位联系方式：

采购单位：大连理工大学

采购单位地址：辽宁省大连市高新园区凌工路2号

采购单位联系方式：李老师0411-84709969

代理机构联系方式：

代理机构：大连鑫邦项目管理有限公司

代理机构联系人：张哲华0411-62636163

代理机构地址： 辽宁省大连市中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室

一、采购项目内容

拟采购的等离子体电学在线诊断设备1套，用于在线同时诊断射频功率、射频电流、射频电压、射频阻抗分析、等离子体密度、刻蚀率等，并实时动态显示和分析实验数据，比如等离子体密度随着射频电流的动态演化规律。

1.拟定的唯一供应商名称及其地址：

供应商名称：上海广道电子有限公司

供应商地址：上海市松江区永丰街道玉树路269号5号楼33760室

2.单一来源采购原因及相关说明：

大连理工大学拟开展芯片工艺中等离子体在线诊断方面的研究，研究等离子体刻蚀过程中等离子体电学参数的演化规律。基于该项目研究内容，提出需采购等离子体电学在线诊断设备，以实现在线同时高精度测量射频功率、射频电流、射频电压、射频阻抗分析、等离子体密度、刻蚀率等，最大测量功率≥10kW，功率分辨率1W；电压分辨率0.1V，最大电压：2.5kV；电流分辨率3mA、最大电流>15A；覆盖频率：60MHz、13.56MHz、400kHz；波形显示及阻抗分析；等离子体密度测量区间1E9cm-3—1E12cm-3；电子能量分布函数、离子密度；刻蚀率；大于60-Bit数据采集分析同步工作，软件二次开发，实现系统数据处理及分析。经调研，针对以上技术参数，针对部分参数某些产品能实现，如电压探头只能满足电压的测量参数标准、高频电流探头只能满足电流的测量参数标准，但是同时在线实现以上全部参数的联动测量分析，只有上海广道高度集成化的等离子体电学在线诊断设备能满足本项目的要求。

二、开标时间：2022年11月29日 09:30

三、其它补充事宜

无。

四、预算金额：

预算金额：185.0000000 万元（人民币）

公告概要：