申购单号：CB105902020001058 成交总额：******
申购主题：微型PECVD系统 送货时间：合同签订后7天内送达
采购单位：深圳大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2020-09-30 14:38:34 收货地址：******
竞价截至时间：2020-10-21 12:00:00
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：微型PECVD系统 数量：1.0台
品牌： 不指定 型号： 不指定
单项预算：0.00 成交总价：50000.00
成交单价：50000.00 成交供应商：深圳后浪等离子体有限合伙企业（有限合伙）
质保及售后服务： 按行业标准提供服务
技术参数： 一、管式炉 1、电源：AC220V 2KW 2、炉管：？50mm，？60mm，？80mm都可用 3、温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器 4、加热区：200mm 5、恒温区：100mm 二、等离子射频电源 1、输入功率：187-264VAC, 47-63Hz 600W 2、最大输出功率：0-600W可调，1%，自动匹配 3、RF频率：13.56MHz+/-0.005% 4、噪声：≤45DB 5、冷却：风冷 6、保护：OTP,OVP,OCP 7、电源保护：<200W 8、电压驻波比：3:1 9、效率：>72% 三、真空泵和质量流量计 1、真空度：10-3torr 2、波纹管：KF25系列 3、质量流量计：0-200，误差0.02%，进气口采用国际标准双卡头 四、尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，供气及真空系统600mm×600mm×1250mm 五、供货期为10个工作日