发布时间：2022-09-06 08:55:21
截止时间：2022-09-09 17:00:00
申购单号：CB105932022000271 签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同
申购主题：化学气象沉积用等离子增强系统 送货时间：合同签订后7天内送达
采购单位：广西大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：广西壮族自治区/南宁市/西乡塘区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：89100.0
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：申请单号：CS22080052
申购明细：
序号：1
采购内容：化学气象沉积用等离子增强系统
数量：1
预算单价：套
品牌：哈腾科技
型号：HTGL-1200
规格参数： 电源要求： 电压：AC220V 50/60Hz； 混气部分： 六路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 各路气体及量程: NH3：200sccm；N2：200sccm；Ar：200sccm；N2O：200sccm；H2：200sccm;CH4：200sccm； 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量精度：±1.5% 气体控制示意图： 等离子增强部分： 输出功率:0-500W；功率稳定度：≤2W；射频电源频率:13.56MHz；最大反向功率:70W；射频电源电子输出端口:N-type,female； 冷却:风冷； 电源:AC187-253V 50/60Hz 需配备尾气处理装置和混气罐
质保及售后服务：1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务；
附件：