招标
高精度紫外曝光机（XF-WSBX-2400259）采购公告
金额
48万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/06/28
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 高精度紫外曝光机 | 项目编号 | XF-WSBX-2400259 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-06-28 08:50:28 | 公告截止日期 | 2024-07-05 10:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后30个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后30个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ 480000.00 + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高精度紫外曝光机 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 无 无 |
| 品牌 品牌1 | MIDAS |
|---|---|
| 型号 | MDA-400M |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 480000.00 |
| 技术参数及配置要求 | A.光源模块 -紫外线光源：350nm至450nm -365nm强度：20~30mW/cm2 -最大光束：4.25“x 4.25” -光束均匀度：±2%（4“晶圆） B. 显微镜 - * 2个连接透镜 -* FOV：5710~890（um） -* DOF：950~100（um） -* W.D: 37.5~93（mm） -双CCD变焦显微镜 -手动移动台：双X、Y、Z轴 -* 物镜间距：50～120mm -移动范围：Y轴±20 mm -* 双监视器 -放大倍数（范围）：90x~480x - *含LED照明器控制器 C. 样品台和控制器模块 -曝光定时器：0.01秒至999.9秒 -样品台移动：X、Y、Z和Theta X、 Y: 10mm， θ：±5° Z运动行程：15 mm -接触方式：软、真空、硬、接近 * 真空和硬接触力可调节 -对准精度：<1.0微米 -* 真空/气动控制：基板、掩模版、接触、样品吸盘锁 -* Z轴内置数字式千分尺，显示高度位置，可计算样品和掩模版间距 * 硬接触时压力读数显示 1） 当SAMPLE VACUM打开时：WAFER上的固定真空压力 2） 当硬接触打开时：接触压力 样品吸盘水平调节：楔形错误补偿Wedge Error Compensation *空气吸收器压力读数显示，用于楔块锁（WEDGE LOCK）的操作 （始终高：110-130；低：80-100） *包含真空泵 真空度：≥-550mmHg（随设备本体提供一个） |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后8小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2024-06-28 08:50:28
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