招标项目编号：0610-2340IH011069
招标范围：1 抗反射层涂胶机 2台 该设备主要用于BARC匀胶工艺 2 KrF涂胶显影机 2台 该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺 3 I-Line涂胶显影机 4台 该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺 4 刷片清洗机 1台 该设备主要用于硅片刷洗工艺
招标机构：北京国际招标有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-09-08 10:00
公示开始时间：2023-09-11 16:52
评标公示截止时间：2023-09-14 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 中国 |
