关于拟采购液体光学颗粒度仪进口产品的专家论证意见公示

招标

金额

60万元

项目地址

福建省

发布时间

2022/09/19

公告摘要

项目编号-

预算金额60万元

招标公司福州大学

招标联系人-

招标代理机构福州大学招标采购中心

代理联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

关于拟采购液体光学颗粒度仪进口产品的专家论证意见公示

一、项目信息

采购人：福州大学

项目名称：液体光学颗粒度仪

预算金额：600000元

拟采购进口产品的说明：为进一步推进福州大学化学及化学工程相关优势学科的进一步建设，依托福州大学石油化工学院及中国福建化学工程科学与技术创新实验室平台，建立超净高纯湿电子化学品实验室，形成具有优势学科特色与专业技能的研究方向。本实验室面向国家重大战略需求，针对超净高纯湿电子化学品技术开发前沿领域，发展面向超净高纯湿电子化学品制备等国家重点“卡脖子”技术。目前，本实验室正处于初期建设阶段，尚无液体光学颗粒度仪，学校目前也没有该仪器可以预约使用。购置该仪器可以对超净高纯湿电子化学品相关科研团队的研究进行有力的支持。在超净高纯湿电子化学品制备的研究工作中，需使用高精度液体光学颗粒度仪对产品的颗粒度进行测定和表征，以确定产品符合SEMI标准，因此，该设备对该实验室开展超净高纯湿电子化学品研究工作具有重要的作用，有助于解决国家“卡脖子”关键核心技术。按项目需要，要求购置液体光学颗粒度仪性能满足以下技术要求：（1）粒径范围：0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位；（2）粒径通道数不低于10个，并且需在粒径范围内任意选择；（3）可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀；（4）设备整体最好采用分体式设计，即有单独的侦测传感器、取样器、控制器，以利于后期产品升级以及减少化学品危害；（5）数据显示可以锁屏以利于保密性；（6）内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1: 2014 Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B 级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器多个，从而使侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒。经调研，目前鲜有符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪，只有PULUODY公司生产的液体光学颗粒度仪，但其检测灵敏度和精度无法达到本项目上述标准，并且，该厂家仪器在半导体领域应用案例基本没有。液体光学颗粒度仪已成为电子化学品实验室必不可少的分析工具，预期该仪器使用频率将会很高，拟购仪器性能属同档次领先水平，购置该设备将改善该学科的科研条件并提升科研水平，提高该实验室对外开放和合作能力，考虑创新型人才培养和学科建设的需要申请购置一台液体光学颗粒度仪。因此申请采购进口产品。

二、公示期限

2022年9月20日-2022年9月26日。

任何供应商、单位或者个人若对本项目的专家论证意见有异议，可以在公示期内将书面意见向我校反馈。

三、联系方式

地址：福州市福州地区大学新区学园路2号福州大学山北行政楼东104室

联系电话：0591-22865917，邮箱：64548690@qq.com

附件：专家论证意见表

福州大学招标采购中心

2022年9月19日

附件：

进口论证材料.pdf进口论证材料.pdf

附件1-6

政府采购进口产品申请表

申请单位	福州大学
申请文件名称	关于申请采购进口产品的请示
申请文号
采购项目名称	液体光学颗粒度仪采购项目
采购项目类型	鼓励类\限制类\其它类（其它类）
采购项目金额	60万
采购项目所属项目名称	液体光学颗粒度仪采购项目
采购项目所属项目金额	60万
项目使用单位
项目组织单位
申请理由	一、采购进口产品的必要性、现状及用途1、设备将来主要由福州大学石油化工学院进行超净高纯湿电子化学品制备过程研究使用，主要用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测等。2、现状：学校目前没有该仪器可以预约使用。并且，超净高纯湿电子化学品的各项指标纯要求极高，要求0.2微米以下颗粒度在5个以下。因此，其颗粒度的检测对仪器测量精确度和噪声值以及对检测环境要求极高。否则，样品颗粒度难以被准备测量，同时也极易被环境污染。因此，超净高纯湿电子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环境对样品的污染。因此，当前情况下，无法满足我们最新的研究方向——超净高纯湿电子化学品制备研发，函需要购买液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用3、为了满足超净高纯湿电子化学品的制备过程研究，要求液体光学颗粒度仪符合如下标准：1）粒径范围：0.2~2.0um；2）粒径通道数不低于10个，并且可以在粒径范围内任意选择；3）可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀4）设备整体最好采用分体式设计，即有单独的侦测传感器、取样器、控制器，以利于后期产品升级以及减少化学品危害；

5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况1.据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1：2014Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。3产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。4产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。5主要性能对照表以及注解	5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况1.据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1：2014Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。3产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。4产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。5主要性能对照表以及注解	5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况1.据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1：2014Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。3产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。4产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。5主要性能对照表以及注解	5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况1.据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1：2014Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。3产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。4产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。5主要性能对照表以及注解	5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况1.据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1：2014Class1，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。3产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。4产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。5主要性能对照表以及注解
品牌/产地	RION/日本	PULUODY/国备注产
型号	KS-42BF	PMT-2
激光光源	镭射二极管	第八代双激光窄光检测器	1双激光就意味着后续如需要更换光源的话，那么就要更换2个，维修成本就上升了2.双激光同时启动，那么应该是同时照射，不可能一道照射完毕了，另一道再照射，现在的仪器还没有办法做到这么智能化。
激光等级	ClasslIEC60825-1:2014	A级	激光没有A级

样品接触材质	人造蓝宝石（一体成型）、PFA、PTFE	人造蓝宝石PEEK、PFAPTFE	PEEK是无法耐强酸强碱的
光检知器	3B级PIN型，5通道，侦测视窗小	光电检测器
流量	10mL/min	5-150ml/min（其他流速可定制）	流量的每一次调整就意味着需要重新校准
操作	控制器操控，软件操控皆可	软件操控
保密性	可以锁屏	无法锁屏
测试方式	离线&在线	离线
产品应用	大于20年	低于10年
市占率	90%以上		半导体业界用的极少

现状：学校目前没有该仪器可以预约使用。并且，超净高纯

湿电子化学品的各项指标纯要求极高，要求0.2微米以下颗

粒度在5个以下。因此，其颗粒度的检测对仪器测量精确度

和噪声值以及对检测环境要求极高。否则，样品颗粒度难以

被准备测量，同时也极易被环境污染。因此，超净高纯湿电

子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同

时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同

一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环

境对样品的污染。因此，当前情况下，无法满足我们最新的

研究方向——超净高纯湿电子化学品制备研发，函需要购买

液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿

电子化学品实验室中使用。

三、进口产品具备的优势

进口产品内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、

毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和

采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测

达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达

100%。内部核心的激光光源产品波长可达780nm，强度可达

40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，

内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准

的侦测到颗粒。可测试的粒径0.2~2.0um可在此范围内任意

选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，

最多可以连续侦测99次。接触样品的毛细管材质为人造蓝

宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光

滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。

综上所述，国外的液体光学颗粒度仪在核心部件激光光

源等级、毛细管材质以及光检知器的构造和设计上都是国内

产品无法满足的。由于国外的研发制造开始久远，已经有了

将近40年。无论是技术工艺的成熟性、产品的稳定性、行

	业应用的广泛性上面都是国产的无法达到和比拟的。采购单位（盖章）年月日	业应用的广泛性上面都是国产的无法达到和比拟的。采购单位（盖章）年月日
采购单位经办人：		采购单位经办人联系电话：

附件1-7

政府采购进口产品所属行业主管部门

、基本情况	、基本情况
申请单位	福州大学
拟采购产品名称	液体光学颗粒度仪
拟采购产品金额	60万
采购项目所属项目名称	液体光学颗粒度仪采购项目
采购项目所属项目金额	60万
、申请理由	、申请理由
1.中国境内无法获取	1.中国境内无法获取
口2.无法以合理的商业条件获取：	口2.无法以合理的商业条件获取：
口3.其他。	口3.其他。
原因阐述：一、采购进口产品的必要性、现状及用途1、设备将来主要由福州大学石油化工学院进行超净高纯湿电子化学品制备过程研究使用，主要用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测等。2、现状：学校目前没有该仪器可以预约使用。并且，超净高纯湿电子化学品的各项指标纯要求极高，要求0.2微米以下颗粒度在5个以下。因此，其颗粒度的检测对仪器测量精确度和噪声值以及对检测环境要求极高。否则，样品颗粒度难以被准备测量，同时也极易被环境污染。因此，超净高纯湿电子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环境对样品的污染。因此，当前情况下，无法满足我们最新的研究方向——超净高纯湿电子化学品制备研发，函需要购买液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用。3、为了满足超净高纯湿电子化学品的制备过程研究，要求液体光学颗粒度仪符合如下标准：1）粒径范围：0.2~2.0um；2）粒径通道数不低于10个，并且可以在粒径范围内任意选择；3）可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀；4）设备整体最好采用分体式设计，即有单独的侦测传感器、取样器、控制器，以利于后期产品升级以及减少化学品危害5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况6．据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1:2014Classl，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的。7技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。	原因阐述：一、采购进口产品的必要性、现状及用途1、设备将来主要由福州大学石油化工学院进行超净高纯湿电子化学品制备过程研究使用，主要用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测等。2、现状：学校目前没有该仪器可以预约使用。并且，超净高纯湿电子化学品的各项指标纯要求极高，要求0.2微米以下颗粒度在5个以下。因此，其颗粒度的检测对仪器测量精确度和噪声值以及对检测环境要求极高。否则，样品颗粒度难以被准备测量，同时也极易被环境污染。因此，超净高纯湿电子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环境对样品的污染。因此，当前情况下，无法满足我们最新的研究方向——超净高纯湿电子化学品制备研发，函需要购买液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用。3、为了满足超净高纯湿电子化学品的制备过程研究，要求液体光学颗粒度仪符合如下标准：1）粒径范围：0.2~2.0um；2）粒径通道数不低于10个，并且可以在粒径范围内任意选择；3）可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀；4）设备整体最好采用分体式设计，即有单独的侦测传感器、取样器、控制器，以利于后期产品升级以及减少化学品危害5）数据显示可以锁屏以利于保密性。经调研，目前尚无符合上述要求的国产的液体光学颗粒度仪。二、国产同类产品情况6．据同行业专家介绍及调研：内部核心的激光光源产品等级为IEC60825-1:2014Classl，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒，国内目前能够在半导体领域达到此两项的没有。针对测试方式上面，可以离线也可以在线测试，这也是国内目前做不到的。7技术参数：可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，大大满足日常测试需求。

8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解	8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解	8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解	8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解	8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解	8产品设计：内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。它的设计是申请过日本专利（专利号：JPB0039639445）美国专利（专利号：US7733487）。产品外部采用分体式设计，分侦测单元、控制单元、取样单元，可在满足产品升级无需整套更换，也可以减少化学品危害。9产品材质：接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。10.主要性能对照表以及注解
	品牌/产地	RION/日本	PULUODY/国产	备注
	型号	KS-42BF	PMT-2
	激光光源	镭射二极管	第八代双激光窄光检测器	1.双激光就意味着后续如需要更换光源的话，那么就要更换2个，维修成本就上升了。2.双激光同时启动，那么应该是同时照射，不可能一道照射完毕了，另一道再照射，现在的仪器还没有办法做到这么智能化。
	激光等级	Class1IEC60825-1：2014	A级	激光没有A级
	光检知器	3B级PIN型，5通道，侦测视窗小	光电检测器
	样品接触材质	人造蓝宝石（一体成型）、PFA、PTFE	人造蓝宝石PEEK、PFAPTFE	PEEK是无法耐强酸强碱的
	流量	10mL/min	5-150ml/min（其他流速可定制）	流量的每一次调整就意味着需要重新校准
	操作	控制器操控，软件操控皆可	软件操控
	保密性	可以锁屏	无法锁屏
	测试方式	离线&在线	离线
	产品应用	大于20年	低于10年
	市占率	90%以上		半导体业界用的极少
现状：学校目前没有该仪器可以预约使用。并且，超净高纯湿电子化学品的各项指标纯要求极高，要求0.2微米以下颗粒度在5个以下。因此，其颗粒度的检测对仪器测量精确度和噪声值以及对检测环境要求极高。否则，样品颗粒度难以被准备测量，同时也极易被环境污染。因此，超净高纯湿电子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环境对样品的污染。因此，当前情况下，无法满足我们最新的研究方向——超净高纯湿电子化学品制备研发，函需要购买液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用。三、进口产品具备的优势进口产品内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。内部核心的激光光源产品波长可达780nm，强度可达40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能

够更加精准的侦测到颗粒。可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次。接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。综上所述，国外的液体光学颗粒度仪在核心部件激光光源等级、毛细管材质以及光检知器的构造和设计上都是国内产品无法满足的。由于国外的研发制造开始久远，已经有了将近40年。无论是技术工艺的成熟性、产品的稳定性、行业应用的广泛性上面都是国产的无法达到和比拟的。

三、进口产品所属行业主管部门意见

盖章年月日

三、专家论证意见

根据该校对拟采购设备的技术要求，结合该院的需求以及对市场调研以及国内产品目前的现状，认为其申请理由合理，论证理由如下：一采购液体光学颗粒度仪的重要性和采购需求：液体光学颗粒度仪主要用于该校石油化工学院建设，该设备可用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测等。超净高纯湿电子化学品颗粒度需要使用具有较高精度的仪器进行测试，同时需要尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一实验室中，且实验室纯净级别须达到千级以上，以降低环境对样品的污染，目前，超净高纯湿电子化学品制备研发，可采用液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用。所以购置该设备是必要的，购置需求是合理的二与科研需求和关联性；拟采购的液体光学颗粒度仪所具备的超净高纯湿电子化学品颗粒度的检测特性，使其可以满足该校石油化工学院在同一实验室中，用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测，对超净高纯湿电子化学品的各项指标纯要求极高，对仪器测量精确度和噪声值以及对检测环境要求也极高。而液体光学颗粒度仪可满足以上实验要求。目前该校没有类似设备，该设备的引进可以提高该校石油化工学院测试超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测需求。三采购进口产品的必要性与科研的相关性由于液体光学颗粒度仪主要用于超净高纯湿电子化学品颗粒度的检测特性，要求采用光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，并通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，有效侦测率达100%。内部核心的激光光源产品波长可达780nm，强度可达40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个及以上，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒。可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。离线测试模式下，最多可以连续侦测99次。接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。国内液体光学颗粒度仪：目前国产液体光学颗粒度仪未采用3B级PIN型光电二极管作为光源组件，而是采用双激光窄光检测器，由于无法双源多角度检测，使得样品颗粒度难以被100%测量，也就无法做到高纯湿电子化学品颗粒度的精准检测。国外液体光学颗粒度仪接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径较小，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品：而国内液体光学颗粒度仪接触样品采用PEEK人造蓝宝石，不耐酸碱，不能用于氢氟酸类产品的检测。综上所述，由于进口的液体光学颗粒度仪可以满足超净高纯湿电子化学品颗粒度的检测特性研究。进口的液体光学颗粒度仪可用于氢氟酸类化工产品的检测，故建议允许采购进口产品专家签字：年月日

备注：专家组应当由五人以上单数组成，其中包括一名法律专家，产品技术专家为非本单位并熟悉该产品的专家，采

购人代表不得做为专家组成员参与论证；参与论证的专家不得参与本项目的采购评审工作。

专家意见：

经论证认为：福州大学石油化工学院，因应开展超净高纯湿电子化学品制备研究之需，拟采购进口“液体光学颗粒度仪”，用于超净高纯湿电子化学品的表征和颗粒度检测等。经过使用方市场调研和对国产同类产品技术性能的比较以及结合自身科研工作需求，所做的进口原因阐述合理，现论证如下：一、重要性与采购需求该学院最新的研究方向：超净高纯湿电子化学品制备研发。湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料，是电子技术与化工材料相结合的创新产物，该院的研究契合当下我国作为制造大国迈向制造强国，解决“卡脖子”创新性研究的前沿。工欲善其事必先利其器，超净高纯纯度大于99.99%，“液体光学颗粒度仪”是超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测的必备仪器。二、与科研业务需求的关联性该院超净高纯湿电子化学品实验室，在湿电子化学品制备过程的研究中使用该仪器，对化学品的表征和化学品颗粒度进行高精度检测。超净高纯要求0.2微米以下颗粒度在5个以下，需要使用具有高精度的仪器进行测试：同时应尽可能保证超净高纯湿电子化学品制备与检测均在同一实验室环境中进行，以降低环境对样品的污染。实验室函需购置“液体光学颗粒度仪”，用于超净高纯湿电子化学品制备研发，其仪器关键技术参数需满足以下要求1、粒径范围：0.2~2.0Mm；2、粒径通道数不低于10个，并且可以在粒径范围内任意选择3、可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀4、整机采用模块化设计，便于后期产品升级以及减少化学品危害；三、采购进口产品的必要性和不可替代性1、国产与进口产品的比对：国内生产PULUODY（普洛帝）PMT-2液体颗粒计数仪，其核心技术源自英国，陕西西安为代工工厂，该产品不具有自主知识产权，产品适用范围极少用在半导体业界。进口产品光检测器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒；离线测试模式下，最多可以连续侦测99次；接触样品的毛细管为圆柱状一体成型人造蓝宝石材质，内部样品通道的直径W7mm，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。2、进口产品的不可替代性国外产品在核心部件激光光源等级、毛细管材质以及光检测器的构造和设计的先发优势，技术壁垒高。经调研，目前尚无符合上述要求的国产产品面世，因此采购进口产品具有必要性和不可替代性。四、其它情况：目前该校未采购过同类“液体光学颗粒度仪”。五：综上所述，建议采购进口“液体光学颗粒度仪”。专家签字：年月日

备注：专家组应当由五人以上单数组成，其中包括一名法律专家，产品技术专家为非本单位并熟悉该产品的专家，

采购人代表不得做为专家组成员参与论证：参与论证的专家不得参与本项目的采购评审工作

专家意见：

福州大学拟采购的液体光学颗粒度仪主要用于石油化工学院的超净高纯湿电子化学品制备过程研究，以便对超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度的检测。石油化工学院暂无该仪器可预约使用，购置液体光学颗粒度仪确有必要液体光学颗粒度仪主要技术参数、功能要求接液材质：PFA，人造蓝宝石：激光光源产品等级为IEC60825-1:2014Classl，波长780nm，强度40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，且可以离线或在线测试：粒径区分：0.2μm~2.0um可任意设定10个channel；定格流量：10mL/min：最大定格粒子个数浓度：1，200/mL目前，国内产品无法同时满足液体光学颗粒度仪主要技术参数、功能的需求。而进口产品的液体光学颗粒度仪核心部件的激光光源等级、毛细管材质以及光检知器的构造和设计，技术工艺成熟，产品相对稳定，行业应用广泛。综上，国内产品主要技术参数稍逊，为满足科研要求，建议允许采购进口产品。专家签年月日

备注：专家组应当由五人以上单数组成，其中包括一名法律专家，产品技术专家为非本单位并熟悉该产品的专家，

采购人代表不得做为专家组成员参与论证：参与论证的专家不得参与本项目的采购评审工作。

专家意见：

采购人拟采购液体光学颗粒度仪，现就采购人的申请理由，提出如下意见：、采购的必要性液体光学颗粒度仪主要用于超净高纯湿电子化学品表征、超净高纯湿电子化学品颗粒度高精度检测等。超净高纯湿电子化学品的各项指标极高，要求0.2微米以下颗粒度在5个以下，因此，超净高纯湿电子化学品颗粒度的测试过程需要保证超净高纯湿电子化学品制备、检测均在同一间纯净级别达到千级以上的实验室中进行，以最大限度地降低环境对样品的污染目前该学校还没有该仪器，无法满足该校最新的研究方向一一超净高纯湿电子化学品制备研发，所以函需要购买液体光学颗粒度仪，投入到石油化工学院建设的超净高纯湿电子化学品实验室中使用。为了满足超净高纯湿电子化学品的制备过程研究，要求液体光学颗粒度仪达到如下指标：1）粒径范围：0.2--2.0um；2）粒径通道数不低于10个，并且可以在粒径范围内任意选择3）可测的样品范围包含：强酸强碱，溶剂，纯水包含氢氟酸或含氟产品，能够耐腐蚀4）设备整体尽量采用分体式设计，即有单独的侦测传感器、取样器、控制器，以利于后期产品升级以及减少化学品危害；5）数据显示可以锁屏以利于保密性。二、进口产品的优势进口产品内部核心部分，采用光散射原理，由激光光源、毛细管、光检知器、光电信号转换模块组成了主要的侦测和采集数据系统，通过不同的角度来使得各个组件之间的侦测达到最优状态，保证测试的数据最真实，有效侦测率可达100%。内部核心的激光光源产品波长780nm，强度可达40mW，收集散射光的光检知器采用3B级PIN型光电二极管，内部采用多通道检测器有5个，侦测视窗小，能够更加精准的侦测到颗粒。可测试的粒径0.2~2.0um，可在此范围内任意选择10个粒径通道，小数点后面2位。接触样品的毛细管材质为人造蓝宝石，圆柱状一体成型，内部样品通道的直径7mm，并且光滑毫无痕迹，耐腐蚀性强，可测包含氢氟酸类的产品。测试方式可以离线和在线两种方式进行，离线测试模式下，最多可以连续侦测99次，软件操作保密性强。三、国产产品的现状目前国产的设备的激光光源发生器一般采用双激光管，在后期维保上负担比较重：检知器采用光电检测器，性能比进口产品弱；样品接触部分的材质一般采用人造蓝宝石PEEk、PFA等，但PEEK无法耐强酸强碱：测试方式只能离线操作，软件操作的保密性比较弱。综上所述，国产液体光学颗粒度仪系统在性能、精度、操作便利性等方面暂时不能满足采购需求，因此，建议采购进口液体光学颗粒度仪产品，以满足该校的研究工作需要。专家签字：33年月日

备注：专家组应当由五人以上单数组成，其中包括一名法律专家，产品技术专家为非本单位并熟悉该产品的专家，

采购人代表不得做为专家组成员参与论证；参与论证的专家不得参与本项目的采购评审工作

专家意见：

本次论证符合政府采购法等相关法律法规的规定，程序合法专家年月日

备注：专家组应当由五人以上单数组成，其中包括一名法律专家，产品技术专家为非本单位并熟悉该产品的专家

采购人代表不得做为专家组成员参与论证；参与论证的专家不得参与本项目的采购评审工作。

附件1-9

专家组成员情况表

姓名	电话	职称	专业	单位
俞兰	13509365573	高工	技术	福建医科大学
郑永	13675076187	高工	技术	福建省西湖宾馆
张秀玉	13959188423	教授	技术	福建信息职业技术学院
陈景瑞	13003883101	高工	技术	福州市第八医院
黄津钟	13328217399	律师	法律	福建博世律师事务所
专家签字：	专家签字：	专家签字：	专家签字：	专家签字：