申购单号：CF105902022001242成交总额：64800.0
申购主题：基于绝缘衬底上硅（SOI）的两维声子晶体纳米制造加工服务 送货时间：合同签订后10天内送达
采购单位：深圳大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2022-11-03 10:23:08 收货地址：
竞价截至时间：2022-11-11 12:00:00
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：计算机时服务竞价
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：基于绝缘衬底上硅（SOI）的两维声子晶体纳米制造加工服务 品牌： / 型号： /
成交总价：64800.00
成交供应商：苏州米芯半导体有限公司
质保及售后服务： 按行业标准提供服务
技术参数： 1.接收由甲方提供的光刻胶样品，并将其置放于光线暗/黄环境下，以避免样品损坏。 2.对SOI的顶层硅进行RIE刻蚀，直至露出氧化硅层。 3.去除光刻胶。 4. 通过VHF蒸汽处理去掉氧化硅层，直至纳米结构全部呈现。 5.通过扫描电子显微镜SEM对处理后的纳米结构样品进行质量检查，确保无SiO2层残留。 6. 将完成后的样品（检查合格品）妥善包装后寄回甲方。 7. 本次技术服务所有产权归甲方所有。