型号E70.D3S-H 功能：数字与模拟集成式控制器 驱动通道数：3 标称模拟输入范围（V）：-1.6~10(恒压版±10) 标称输出电压范围（V）：-20~120(可选-20~100/150V,可选第三通道恒压输出) 输入功率（W）：56 峰值电流（A）：1.1/通道 平均电流（mA）：70/通道 放大器带宽（Hz）：10k/通道 放大器1/10带宽（Hz）：10k/通道 放大器（-3DB）带宽（Hz）：37k/通道 放大器（-3DB）1/10带宽（Hz）：54k/通道 输出电压纹波（mV）：5/通道（2.2μF） PZT连接器：ECG.2B.312.CLV 控制输入连接器：SMB

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运动自由度X、Y、Z 标称行程范围（0~120V） 80μm±10%/ 轴 行程范围（0~150V） 100μm±10%/ 轴 传感器类型SGS 闭环分辨率3 nm 闭环线性度0.1 %F.S. 闭环重复定位精度0.05 %F.S. 俯仰/ 偏航/ 滚动<10 μrad 推/ 拉力30/5 N 运动方向刚度X0.25/Y0.3/Z0.2 N/μm±20% 空载谐振频率X0.2/Y0.3/Z0.18 kHz±20% 闭/ 开环空载阶跃时间20 ms±20% 承载能力0.6 kg 静电容量1.8/ 轴 μF±20% 工作温度范围[1] -20~80 ℃ 材质钢、铝 外形尺寸（长× 宽× 高） 40×40×36.5 mm 重量230 g±5% 出线长[2] 1.5 m±10mm

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