(一)建设项目概况
项目名称:LCD驱动IC封测生产线技术改造项目;
建设性质:扩建项目;
建设单位:江苏汇成光电有限公司;
建设地点:扬州国家高新技术产业开发区;
投资总额:38000万元;
建设规模及内容:在汇成光电现有生产车间内建设LCD驱动IC封测生产线技术改造项目,新增生产设备,年产晶圆凸块19.2万片、玻璃覆晶40800万颗、薄膜覆晶12000万颗,年测试晶圆15.36万片。项目达产后,一期+三期形成年产晶圆凸块43.2万片、玻璃覆晶55200万颗、薄膜覆晶14400万颗,年测试晶圆34.56万片的生产能力。同时配套建设相关的辅助及公用工程。
(二)建设项目对环境可能造成的影响
(1)环境空气
三期项目废气主要为工艺废气(酸性废气、有机废气),通过采取各项治理措施后,废气中各种污染物均可达标排放。经预测,三期项目排放的各废气污染源排放的污染物对周边大气环境中污染物浓度贡献值较小,项目对大气环境的影响是可接受的。
(2)地表水环境
三期项目废水主要为晶圆凸块生产过程的清洗废水和洗槽废水(包括晶圆清洗废水、废显影液和冲洗废水、光显影洗槽废水、含金水洗水、电镀洗槽废水、去光阻冲洗废水、去光阻洗槽废水、金蚀刻冲洗废水、金蚀刻洗槽废水、钛钨蚀刻冲洗废水、钛钨蚀刻洗槽废水)、废气处理废水、研磨废水、切割废水、过滤反冲洗废水。
三期项目废水采用“分类收集、分质处理”的方法进行处理。含金水洗水和电镀洗槽废水经离子交换回收金后与晶圆凸块生产过程中的其它废水(包括晶圆清洗废水、废显影液和冲洗废水、曝光显影洗槽废水、去光阻冲洗废水、去光阻洗槽废水、金蚀刻冲洗废水、金蚀刻洗槽废水、钛钨蚀刻冲洗废水、钛钨蚀刻洗槽废水)、废气处理废水一起进入现有BUPM系统经“电解絮凝沉淀+一级好氧”处理后接管至六圩污水处理厂。研磨废水、切割废水、过滤反冲洗废水一起进入一般废水处理系统经“中和+絮凝沉淀”处理后接管至六圩污水处理厂深度处理最终排入京杭大运河,对京杭大运河水质影响较小。
(3)声环境
三期项目主要新增噪声设备为超纯水设备、泵、风机等,各高噪声设备经过隔声、减振等措施处理后厂界噪声可达标,对周围环境影响较小。
(4)固废
三期项目产生的废纸箱、废晶圆盒、废胶带、一般废水处理污泥交由环卫部门统一集中处置,废光阻剂和废清洗液、废去光阻剂、BUMP废水处理污泥、废活性炭、废包装容器、废电镀液、洗槽王水、废蚀刻液、废树脂、废汞灯委托有资质的单位处置,废金属靶材由厂家回收。各类固体废弃物均得到妥善处置,对周围环境影响较小。
(三)预防或减轻不良环境影响的对策和措施
(1)废气
三期项目废气主要为工艺废气(酸性废气、有机废气),其中酸性废气主要污染物有HCl、硝酸、硫酸雾、碘等,有机废气主要污染物有四甲基氢氧化铵、VOCs等。
三期项目酸性废气经“一级碱洗”处理后通过1#排气筒排放。有机废气经“一级活性炭吸附”处理后通过2#排气筒排放。
(2)废水
三期项目废水主要为晶圆凸块生产过程的清洗废水和洗槽废水(包括晶圆清洗废水、废显影液和冲洗废水、光显影洗槽废水、含金水洗水、电镀洗槽废水、去光阻冲洗废水、去光阻洗槽废水、金蚀刻冲洗废水、金蚀刻洗槽废水、钛钨蚀刻冲洗废水、钛钨蚀刻洗槽废水)、废气处理废水、研磨废水、切割废水、过滤反冲洗废水。
三期项目废水采用“分类收集、分质处理”的方法进行处理。含金水洗水和电镀洗槽废水经离子交换回收金后与晶圆凸块生产过程的其它废水(包括晶圆清洗废水、废显影液和冲洗废水、曝光显影洗槽废水、去光阻冲洗废水、去光阻洗槽废水、金蚀刻冲洗废水、金蚀刻洗槽废水、钛钨蚀刻冲洗废水、钛钨蚀刻洗槽废水)、废气处理废水一起进入现有BUPM系统经“电解絮凝沉淀+一级好氧”处理后接管至六圩污水处理厂。研磨废水、切割废水、过滤反冲洗废水一起进入一般废水处理系统经“中和+絮凝沉淀”处理后接管至六圩污水处理厂深度处理最终排入京杭大运河。
(3)噪声
本项目生产过程新增噪声源包括超纯水设备、泵、风机等,主要采用隔声、减振等措施来降低噪声。
(4)固体废物
本项目产生的废纸箱、废晶圆盒、废胶带、一般废水处理污泥交由环卫部门统一集中处置,废光阻剂和废清洗液、废去光阻剂、BUMP废水处理污泥、废活性炭、废包装容器、废电镀液、洗槽王水、废蚀刻液、废树脂、废汞灯委托有资质的单位处置,废金属靶材由厂家回收,固体废物零排放。
综上所述,本项目对所排放的污染物采取了有效的污染控制措施,可做到污染物达标排放。
(四)环境影响评价结论要点
本报告经分析论证和预测评价后认为,本项目符合国家产业政策的要求,与区域规划相容、选址合理,污染防治措施技术及经济可行,可满足总量控制的要求。在落实本报告书提出的风险防范措施、环境污染治理和环境管理措施的情况下,污染物均能实现达标排放且对环境影响较小,不会改变拟建地环境功能区要求。从环保角度来讲,本项目在拟建地建设是可行的。
(五)公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限,以及公众认为必要时向建设单位或者其委托的环境影响评价机构索取补充信息的方式和期限
本公示10个工作日之内,如需要查阅环境影响报告书简本或需索取补充信息,可与联系人联系。如公众有意见,可以采用电子邮件、电话、传真、信函或者面谈等形式提出您们的意见,以便我们及时、准确的反映到环评报告书中去。同时请您留下您的联系方式,以便我们能够及时答复您的意见。
(六)征求公众意见的范围和主要事项
征求公众意见的范围:位于评价区域内的企业、单位、居民。
征求公众意见的主要事项:公众对建设项目所在地目前的环境质量状况是否满意;公众对建设项目的了解状况及反应;建设项目建成后对环境的影响程度;公众了解建设项目情况后,从环保角度考虑,对该项目建设持何种态度;公众对该建设项目环保方面有何建议和要求。
(七)征求公众意见的具体形式
公众可以在本公告发布后的10个工作日内,以信函、传真、电子邮件或者其它便利的方式,向建设单位或者环境影响评价单位提交书面意见。
(八)联系方式
建设单位:江苏汇成光电有限公司
联系人:朱经理
联系电话:152-5276-0028
E-mail:mingyue.zhu@unionsemicon.com.cn
评价单位:南京大学环境规划设计研究院股份公司
联系人:周工
联系电话:025-83686095-6008
E-mail:tzhou@njuae.cn
联系地址:南京市鼓楼区汉口路22号逸夫管理科学楼14层