本项目专门面对

中小微企业采购

中山大学物理学院离子束刻蚀设备升级采购项

目

招标文件

项目编号：中大招（货）[2022]679号

代理机构编号：0835-220Z13408971

广东元正招标采购有限公司

中山大学政府采购与招投标管理中心

2022年11月11日

中国·广州

温馨提示

一、本项目一律不接受纸质投标文件，只接受符合招标文件要求的电子投标文件。

投标人参加投标前，应当到依法设立的电子认证服务机构（GDCA证书）办理CA数字证

书和电子签章，已有CA数字证书的供应商须在投标前检查CA数字证书的有效性。

二、投标人需在提交投标文件截止时间前将投标文件完整上传到中山大学智能电子

采购系统（https://www.zhizhengyun.com）。逾期上传或错误投递方式送达的投标文

件恕不接收。

三、开标支持远程解密，投标人须使用制作投标文件的电脑或安装GDCA客户端在

投标截止时间后30分钟内登录系统完成解密（如因系统原因无法正常解密，采购人可

延长解密时间）,若开标时未能按时进行解密则视为无效投标人。投标人可通过中山大

学智能电子采购系统参与开标，无需现场参加。

四、加★号的条款的指标要求和有盖章、签署要求的带★格式文件，必须一一响应。

若有一项带“★”的指标要求未响应或不满足，将按投标无效处理。

五、电子投标文件编制格式见第五部分，投标人应该按照相关格式要求制作投标文

件并加盖电子签章后上传至中山大学智能电子采购系统，建议投标人对电子投标文件进

行电子签章时使用多页签章。

六、如投标人以非独立法人注册的分公司名义代表总公司盖章和签署文件的，须提

供总公司的营业执照副本扫描件及总公司针对本项目投标的授权书。

七、本次招标向中标人收取的采购服务费，按招标文件规定执行。

八、公开招标失败后，评标委员会可根据项目情况建议重新招标或建议依法变更为

竞争性谈判、竞争性磋商、单一来源采购等其它法定采购方式继续进行采购。

九、技术服务费发票联系电话：020-84158040，中山大学智能电子采购系统技术支

持电话：020-84121131，CA数字证书（GDCA）办理联系电话：020-83487228-890。

十、本项目签署《中山大学国内采购合同》，需开具增值税专用发票，如无法开具，

需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。

（本提示内容非招标文件的组成部分，仅为善意提醒。如有不一致，以招标文件为准）

目录

第一部分投标邀请函

第二部分用户需求书

一、本项目详细技术参数及配置要求如下：

二、售后服务：

三、本项目其它需要特别说明的情况：

第三部分投标人须知

投标须知前附表

一、说明

二、招标文件

三、投标文件的编制

四、投标文件的提交

五、开标、评标与定标

六、合同的授予

第四部分合同条款

一、国内采购合同格式

第五部分投标文件格式

一、投标文件封面格式

二、投标文件目录格式

三、投标函格式

四、投标人声明函格式

五、投标明细报价表格式

六、配置清单格式

七、售后服务承诺书格式

八、实质性响应条款一览表格式

九、法定代表人身份证明格式

十、法定代表人授权书格式

十一、投标人的资格声明格式

十二、与投标人存在关联关系的单位名称说明格式

十三、业绩一览表格式（如有）

十四、法人证书等资格证明文件格式

十五、信用查询资料

十六、中小微企业声明函等

十七、投标人认为有必要说明的其他商务文件资料

十八、产品适用政府采购政策情况表

十九、技术规格/要求偏离表格式

二十、安装调试验收方案

二十一、其它材料

二十二、中标服务费发票开具须知

二十三、投标人认为有必要说明的其他技术文件资料

第一部分投标邀请函

投标邀请函

中山大学根据国家招投标法律法规和学校管理要求,拟以公开招标方式采购

下列货物及其相关服务。欢迎符合资格条件的供应商投标。

一、项目编号：中大招（货）[2022]679号

二、项目名称：中山大学物理学院离子束刻蚀设备升级采购项目

三、招标采购项目内容及数量：离子束刻蚀设备升级，1套（本项目不允许

产自中华人民共和国关境外的进口货物投标；本项目属于专门面向中小企业采购

项目。本项目所属行业为工业。具体内容及要求详见公告附件招标文件）。

四、项目预算及经费来源：

项目预算1500000.00元人民币。经费来源为财政性资金。

五、投标人的必备资格要求：

（1）具备投标条件的中华人民共和国的法人或其它组织；

（2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条相关规定；

（3）投标人未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）“失

信被执行人”、“重大税收违法失信主体”、“政府采购严重违法失信名单”；

不处于中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记

录”中的禁止参加政府采购活动期间；（以代理机构于评标当天在“信用中国”

网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询结果

为准，同时对信用信息查询记录进行存档。如相关失信记录已失效或查询不到，

则必须出具其信用良好的承诺书原件扫描件）

（4）本项目不允许联合体投标。不接受中标备选方案。

（5）本项目属于专门面向中小企业采购的项目。所有货物的制造商应为中

小微企业。投标人应按要求出具《中小企业声明函》；属于监狱企业的，提供由

省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的

证明文件；属于残疾人福利性单位的，提供《残疾人福利性单位声明函》。

六、交货时间：签订合同后120天内交货并完成安装。

交货地点：中山大学广州校区南校园。

七、招标文件获取方式：本项目以电子招投标形式进行，投标人可于中山大

学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网

（http://www.ccgp.gov.cn）及代理机构网站（http://www.gdbidding.com）浏

览招标公告，确认参与项目的合格投标人应登录中山大学智能电子采购系统，缴

纳系统技术服务费400元/标段，在网上获取采购文件及其它招标资料。

八、报名方式及时间：2022年11月12日08:30:00至2022年11月18日

17:30:00；登录中山大学智能电子采购系统，在网上报名获取招标文件及资料，

否则不能参与本项目的投标。本项目不需要现场报名确认，若报名期限届满后，

获取招标文件的潜在投标人不足三家的，采购人将可能顺延报名期限并予公告。

请各投标人留意网上公告，采购人不再另行通知。

九、电子投标文件的递交：投标人须凭企业数字证书（GDCA）在提交投标

文件截止时间前完成电子投标文件的上传，递交网址：

https://www.zhizhengyun.com。无中山大学智能电子采购系统企业数字证书（CA）

的投标人需按该平台电子认证的要求，提前办理企业数字证书（GDCA）。如果

投标文件于递交投标文件截止时间未能上传完毕，该投标文件将视为无效投标文

件。投标截止时间前未完成投标文件传输的，视为撤回投标文件。在递交投标文

件截止时间前，投标人可以替换投标文件。

十、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

（1）提交投标文件截止时间和开标时间：2022年12月02日09:00:00（北

京时间）。

（2）投标文件解密时间：2022年12月02日9:00至12月02日9:30（如

因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）。

（3）解密完成后及时公布开标结果，投标人可登录中山大学智能电子采购

系统查看开标情况。

（4）开标地点：在线开标。

十一、招标公告期限为自发布公告之日起5个工作日，即自2022年11月12

日00:00:00至2022年11月18日23:59:59止。

十二、本项目的发布、修改、澄清和补充通知将在中山大学智能电子采购系

统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）

及代理机构网站（http://www.gdbidding.com）发布，敬请各投标人留意，采购

人不再另行通知。

十三、联系事项

获取文件开始时间：2022年11月12日08:30:00

获取文件截止时间：2022年11月18日17:30:00

投标截止时间：2022年12月02日09:00:00

采购人：中山大学

采购人地址：广州市新港西路135号

采购人联系人：柯老师

采购人联系电话：020－84115084转803

采购人传真：020－84115092

采购人邮编：510275

采购代理机构：广东元正招标采购有限公司

采购代理机构地址：广东省广州市越秀区先烈中路102号之二26楼自编2608

房

采购代理机构联系人：孔嘉欣、何法岚、华雪怡

采购代理机构联系电话：020-87258495-108、103

采购代理机构传真：020-87284598

采购代理机构邮编：510075

特别提示：

投标人须对其所提供资料的真实性负责，如有作假，一经发现立即取消

投标资格。投标人在本项目中存在下列行为的，将被列入失信记录，并视情

节情况在网上进行实名通报：

1.从开标之日起到投标有效期满前，投标人撤回投标；

2.中标后无正当理由放弃中标或不与采购人签订合同的

3.中标人未能按招标文件的要求在规定期限内提交履约保证金（如

需）；

4.投标人在采购或合同签订过程中存在欺诈行为（包括但不限于拖延

签订、提供虚假证明材料、不按采购人要求做履约准备）；

5.将中标项目转让给他人，或者在投标文件中未说明，且未经采购人

同意，违反招标文件规定，将中标项目分包给他人的。

6.投标人放弃投标，未在开标时间前在中山大学智能电子采购系统的

中山大学投标书编制软件中操作撤标的；

7.投标人存在串通投标、围标的情况；

8.法律、法规或本招标（采购）文件规定的其他情形。

中山大学政府采购与招投标管理中心

广东元正招标采购有限公司

2022年11月11日

第二部分用户需求书

(用户需求书中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致投标

无效；标有“▲”的为重要技术指标，负偏离（不满足要求）将在技术评分中按照评分细

则进行扣分，但不会导致投标无效。)

中山大学物理学院离子束刻蚀设备升级采购项目

项目要求：本项目采购离子束刻蚀设备升级，1套，预算：150.0000万元。

一、本项目详细技术参数及配置要求如下：

（一）技术参数

★1、为解决现有北方华创GSEC200型感应等离子刻蚀机（具体设备参数）使用

中的剧毒工艺气体储存和尾气排放问题，需进行如下升级。按规划要求满足工艺

设备对气体系统需求，完成工程所需气体（Ar，O2，SF6，Cl2，BCl3，SiH4，CHF3，

H2，NH3，N2）供应系统设计、供应、基础要求、安装、测试、调试、验收等系统

工程，各部分配件之间及与等离子刻蚀机之间采用不锈钢气体管道封闭连接，保

证设备正常运行(适合北方华创GSEC200型感应等离子刻蚀机的气路尺寸、控制

等)。

2、GC气瓶柜

2.1包含但不限于：柜体、柜门、透明视窗、供气盘面、控制箱、触摸屏、排风

阀以及其它必需之组件；

2.2底板厚度应不小于3.4mm，外壳须有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是

非易燃的；门须具有自动关闭，及可上锁的的功能；

2.3透明视窗可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。操作窗口的玻璃必须是厚

度不小于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃；

2.4全自动气柜，须具有自动切换、自动吹扫的功能，能连续为生产设备供气；

须具有防倒灌及交叉污染功能；盘面的排气管必须配置保护气体，具备压力监控

来确认排放管是否正常有效；

2.5气瓶架均须具备低压、高压保压功能，须保证在供气或备用状态中，吹扫管

路始终为真空状态；盘面管路设计时要有防止部件被冷凝水滴到引起系统故障的

保护措施；配置设备需满足所承载气体的工艺特性；

2.6系统配置要求：触摸屏为TFT真彩LCD，10英寸及以上，支持RS232\RS485\

以太网接口；PLC能自动及手动控制并能与本次申购的气体侦测监控系统（具体

要求见“气体监控及侦测报警系统”部分）兼容；

法定代表人（电子签章）：，日期：

投标人（全称及电子签章）：

说明：

投标人须对照招标文件技术规格，将自己所投的所有货物的功能、技术性能、配置、

用途等内容按照上表格式与招标要求逐条填写，说明所提供货物和服务已对招标文件的

技术规格做出了实质性响应，申明与技术规格条文的偏差和例外，提供厂家产品彩页或

厂家官方网站公布的资料截图作为佐证并在备注栏注明该项资料所在的投标文件页码，

因未备注页码或备注页码错误造成投标无效或影响评审得分的，其责任由投标人全部负

责。若有负偏离而未如实填写的可视为虚假投标；若有正偏离而未如实填写的将视为没

有优于招标要求；无论是正、负偏离，还是无偏离，未按上表格式逐条填写的，可视为

无效投标。对有具体参数要求的指标，投标人必须提供所投设备的具体参数值，并在偏

离简述栏中标明技术及配置的实际响应情况：

1.用户需求书中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导

致投标无效；标有“▲”的为重要技术指标，如不满足将在技术评分中按照评分细

则进行扣分，但不会导致投标无效。

2.偏离简述栏中必须标明技术及配置的响应情况，整项货物及该项货物各部分响应情

况须按下述规定填写，任何不真实响应都将导致投标无效：

1对应项中的所有技术参数、性能和配置全部符合招标文件要求的才能填写“符合”；

2对应项中的所有技术参数、性能和配置全部符合招标文件要求并且其中有一个或以

上指标优于招标文件要求的，可填写“正偏离”；

3对应项中的所有技术参数、性能和配置中有任何一项不能达到招标文件要求的，必

须填写“负偏离”；

4“正偏离”、“负偏离”两者中偏离的情况必须在备注栏中说明对使用的影响。

3.投标响应的实际情况中涉及技术参数和性能指标具体数值的，供应商必须说明产品

厂家达到该技术参数与性能指标所需测试条件、环境、样品等的要求及成功机率。不提

供的，按照国家公认程序和标准及用户要求进行验收，未达到投标承诺的，视为不合格

和虚假投标。

二十、安装调试验收方案

格式自拟，应根据学校的货物验收要求提供有针对性的以下方案：（1）货

物的开箱清点方案，包括发生开箱异常情况的解决措预案等；（2）开箱后产品安

装、调试方案，包括安装环境要求等内容；（3）产品技术质量验收的标准、方法

等方案，包括提供出厂检测报告、出具第三方检测报告、现场检测的方案和预算

等。方案内容应尽可能详细，流程清晰合理，应急预案可行。

二十一、其它材料

(一)经营许可证或产品销售许可证复印件加盖法人印章（第二、三类医疗器械

采购项目，投标人必须提供“医疗器械注册证书”“医疗器械生产许

可证”或“医疗器械经营许可证”）

(二)安全生产许可证复印件、产品代理资格证明文件复印件加盖法人印章

(三)“特种设备制造许可证”复印件加盖法人印章（投标货物属于《特种设备

目录》的采购项目必须提供）

(四)“辐射安全许可证”复印件加盖法人印章（投标货物属于辐射仪器的采购

项目必须提供）

(五)自主品牌、投标人的信誉、荣誉证书或文件复印件加盖法人印章

(六)投标人质量管理和环境认证体系等方面的资质证书或文件复印件加盖法

人印章

(七)医疗器械注册证明及其附表（适用于医疗器械）复印件加盖法人印章

(八)报价成本的明细说明文件（格式自拟，如招标文件有要求时提供）

(九)产品出厂标准、质量检测报告及精度检测报告或数据（格式自拟）

(十)须提供列有技术参数且完整的厂家产品彩页（厂家官方网站公布的截图）

和厂家产品说明书，以佐证所投产品的主要技术参数及功能，如上述

资料未能体现招标需求的所有参数，投标人应出具经厂家确认的证明

材料作为补充

(十一)投标人介绍及认为应提交或可以证明其能力或业绩的其他材料（格式

自拟）

注：以上材料由投标人根据项目实际情况自行选择提供，如因遗漏材料造成投标

无效或影响评审得分的，其责任由投标人全部负责。

二十二、中标服务费发票开具须知

致：广东元正招标采购有限公司

本公司(投标人名称)在参加在贵公司举行的，项目(项目编

号：，)的招标中如获中标，则开票类型选择□增值税普通发票□

增值税专用发票（请在对应的“□”打“√”，且只能选择其中一项），以及我

司的开票资料如下：

发票领取方式（请在对应的“□”打“√”，且只能选择其中一项）：□现

场领取□快递邮寄，邮寄地址：，，联系人及电话：，。

开标当日，如我公司未按该要求填写、未提供有效的开票资料、未确认开具发票

类型或确认的发票类型有误，则视为开具增值税普通发票。同意广东元正招标采

购有限公司不予更换发票类型。并愿承担由此引起的一切后果。

二十三、投标人认为有必要说明的其他技术文件资料