[GY202203487]KOH腐蚀炉
KOH腐蚀炉（GY202203487）自购结果公示

供应商：	山东晶升电子科技有限公司
中标金额：	90000

公示开始日期	2022-08-15	公示截止日期	2022-08-16 08:09:02
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	货到验收合格后付款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学

采购物品	采购数量	计量单位
KOH腐蚀炉	1	套

品牌	晶升	规格型号	KOH-300
技术参数	镍蓝可放最大晶圆片尺寸 215mm。 一次可腐蚀 5 片晶圆片。 炉膛内径 300mm。 镍坩埚尺寸：内径 238mm，高度 255mm，带法兰盘,坩埚壁厚 3mm。 双热偶，一路热偶控温加热丝，一路热偶检测坩埚底部温度。 提拉速度：100mm/min-2000mm/min 旋转速度：1-30r/min 恒温区长度 120mm（加热器长度 300mm） 最高温度：700℃,工作温度 500℃ 温度精:±1℃ 升温速率：5-10℃/min 旋转采用步进电机+减速机 设备功率：AC380 伏，频率 50HZ,功率 7.5Kw 整机尺寸：长宽高 960*958*2100（mm）
售后服务	服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时;

资产与实验室管理部

2022-08-15